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Aerotech Hexgen Hexapod Six-Dof定位系统

Aerotech的Hex500-350HL Hexapod非常适用于X射线衍射,传感器测试,高力器件操作,同步rotron样品或光学调节,半导体制造和检查或卫星传感器测试中的应用。HEX500-350HL提供高达±0.5μm的线性/±2.5μRAM角定位精度和20nm线性/0.2μR角定位分辨率。

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