工程和制造真空能力

Aerotech的巨大应用体验，无与伦比的产品范围和广泛的工程能力使我们成为真空兼容运动系统的首选合作伙伴。自成立以来，Aerotech设计和制造了可用的最高性能运动控制和定位系统，我们的真空兼容平台也不例外。新万博英超hAerotech一直在建造标准和定制的真空系统，超过30年。我们的真空应用体验涵盖军事/航空航天，研究，半导体和材料加工。典型的应用包括：

• EUV光刻
• 扫描电子显微镜（SEM）
• 离子束分析
• 沉着
• 卫星组件测试
• 透射电子显微镜（TEM）
• 离子植入
• 光学抛光
• 科学研究
• X射线断层扫描

真空工程专业知识

我们广泛的测试能力在发货前提供了全动系统的全部资格。Aerotech是一个高度集成的运动系统供应商 - 我们能够完全优化完整的运动系统。对于高动态系统，Aerotech具有几种基于热建模和实践经验的主动冷却选项。

对于对磁场敏感的应用，Aerotech在磁场屏蔽和容纳方法具有广泛的体验。Aerotech的才华横溢和专业的工程人员在所有核心运动技术领域拥有专业知识：

• 精密机器设计
• 振动和控制
• 磁路设计
• 电力电子设计
• 伺服系统
• 软件开发

真空制造设施

Aerotech拥有广泛的制造工厂，包括ISO 3级洁净室，这是建立UHV系统的理想控制环境。我们的机器商店完全有资格制造真空兼容组件。我们维持真空测试室，全部内部清洁设施，齐全的装配和测试人员。

真空分期设计元素

各种标准的Aerotech阶段产品可用于真空制备的版本。除标准平台外，Aerotech还经常制造旨在满足专用需求的定制系统。所有Aerotech的真空兼容运动平台最小化了增加时间，室内污染和热问题。此外，这些系统可以包含像磁场的减少的关键应用考虑因素。

Aerotech很精通：

• 材料选择
• 表面处理
• 消除虚拟泄漏
• 润滑剂选择
• 打扫
• 培训
• 处理
• 热管理
• 磁场控制
• 包装

Aerotech提供的真空选项

等级	托尔	曼巴里	KPA.
低真空（VAC3）	1.0 x 10-3	1.3 x 10-3	1.3 x 10-4
高真空（VAC6）	1.0 x 10-6	1.3 x 10-6	1.3 x 10-7
超高真空（UHV）	≤1.0x 10-7	≤1.3x 10-7	≤1.3x 10-8

材料选择

由于Aerotech可接受的材料根据真空水平，应用，操作温度等而变化，因此Aerotech提供了广泛的选择，可控制总质量损失（TML）和可收集的挥发性可冷凝材料（CVCM）。

• 润滑剂：选择低蒸气压润滑剂与真空水平和客户的过程兼容。
• 电缆管理系统（CMS）：CMS建筑和材料通常利用Teflon®绝缘电线（MIL-C-27500）或Kapton以及使用各种材料的专用电连接器，包括PEEK™。可以使用多种连接选项。
• 表面光洁度：表面光洁度选项包括裸铝，无电镍，不锈钢或真空兼容涂料（Aeroglaze Z306）。
• 硬件：系统使用通孔或通风不锈钢紧固件，用于所有盲孔。

Aerotech始终与客户密切合作，以确保系统满足或超过夸张要求。

热管理

热管理是真空系统中的关键，因为它们不能依赖于从电动机和轴承去除热量的对流。没有热管理方法，可以从大气中操作的等效系统的阶段性能和寿命减少。这就是为什么Aerotech在热隔离方法和被动和主动冷却技术的发展中提出了相当大的努力。这些技术有助于最大化冷却的传导和辐射模式，帮助减少或消除腔室内的热源的影响。

伺服电机

线性和旋转伺服电机的设计对于真空系统操作至关重要，因为它们是主要热源。这就是为什么Aerotech设计和建造电机，专门解决与真空电机相关的问题。从施工的特殊材料到磁路设计，Aerotech伺服电机经过优化，针对最小的放气，高力/扭矩和长寿命。

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广泛的电机选择

Aerotech完整的真空阶段系列包含跨越压电，旋转步进，旋转伺服，线性和曲线电机的驱动技术。我们的直接驱动解决方案延长了机械动新万博最新版本态性能，同时由于其非接触式设计而最小化污染。特殊电机设计和屏蔽可用于衰减敏感应用中的杂散磁场。

调整和故障排除

Aerotech控制器提供广泛的诊断，以允许调谐和排除运动系统而不打开真空室。数据采集​​包括位置，速度，电流和频率响应图，以及执行FFT的能力。

具有隔离系统的前馈界面

可用的选项可允许在AeroTech控制器和主动隔离系统之间直接通信运动命令。隔离馈电显着降低了阶段诱导的真空室运动，从而提高了系统吞吐量。

直接激光干涉仪输入

Aerotech运新万博英超h动控制器可以直接接受激光编码器反馈，以进行直接工作点定位。作为定制制造商，Aerotech可以与VME式激光干涉仪反馈系统连接。

Aerotech控制解决方案新万博最新版本

Aerotech有两个运动控制平台新万博英超h，可供选择，为真空系统提供最佳性能。自动化3200多轴机器控制器是基于软件（无需PC插槽），并在一个统一的编程环境中使用Vision，PLC，机器人和I / O与VieSion，PLC，机器人和I / O绑定的强大的高性能运动引擎。Ensemble®Motio新万博英超hn控制器是Aerotech的多轴独立控制器，通过10/100基础T以太网或USB接口高速通信。两个控制选项都包括高功率PWM放大器选项以及低噪声线性放大器。根据要求提供定制控制电子产品。

Aerotech Advanced Controls.

通过Aerotech的动态控制工具箱（DCT）显着提高真空系统的运动性能。DCT提供了控制算法，可提高系统性能，例如稳定时间，准确性，位置稳定性和/或速度稳定性。这些包括谐波消除，阈值，动态增益调度，命令整形和横轴馈送。Aerotech控制器还提供了一个直接的馈电接口，用于腔室主动隔离系统。

磁场管理

某些真空应用需要非常低的幅度磁场以及系统工作点的最小场波动。这些条件中的任何一个都可能导致过程相关问题。Aerotech通过使用专门的屏蔽技术，特殊磁铁轨道设计和非磁性材料来解决这些“交流”和“直流”领域问题。此外，机械系统设计用于使电动机线圈和磁铁远离工艺工作点。

处理/清洁

处理对于维持真空阶段系统的完整性至关重要。真空系统在Aerotech的膨胀洁净室中通过精密瓶子穿着聚乙烯，粉末自由手套。彻底清洁所有部件以除去油和其他污染物。清洁后，组分包装在热密封的尼龙或无颗粒聚乙烯袋中。如果需要，可以使用组件级别烘烤。有关Aerotech真空优势的更多信息，请联系我们知识渊博的销售人员的成员。