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许多微机械加工系统依赖于高精度扫描仪,以产生微米级特征尺寸的部件。虽然这些系统自然应具有微米级(或更好)的精度,但通常扫描仪性能不合格在这种精度级别。该网络广播将确定减少整体错误的最重要的系统级别考虑因素,并调查如何最大限度地减少它们中的每一个。
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