平面HDX - 双轴超精密平面空气轴承级

Aerotech在半导体制造等高科技领域提供超精密定位系统的历史，使得关键运动技术的持续发展和改进。通过建立这些技术，Aerotech开发了PlanArhdx，是市场上最先进的市售平面空气轴承平台。使用FEA优化的碳化硅结构和优化的空气轴承补偿技术设计，PlanArHDX提供了最高的动态性能，同时保持无与伦比的几何特性和定位精度。

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