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平面式开放式框架,XY,直接驱动,机械轴承平台
Aerotech的planardla系列平台在紧凑、低调的封装中提供了清晰的孔径、高动态和卓越的几何性能。从需要高动态和微米级直线度的双面LED晶片处理,到需要高精度和精确几何性能的准静态光学计量,这些平台都是必不可少的应用。无论应用程序是什么,PlanarDLA的设计都是为了满足各种应用程序的需求,有一系列可配置的选项。
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