Pro-SV长行程升降阶段

Pro-SV是唯一可以移动高达60公斤质量的长行程升降阶段，同时提供出色的有效载荷可访问性和动态性能。它还提供最短的高度可用的最长旅行范围。和Pro-SV是最精确的螺旋驱动的升降阶段（Min。步长10 nm）。适用于任何高度限制的应用程序或情况，当多个定位级堆叠时，Pro-SV支持光束线/同步调整定位和操作，晶片检测和表面计量。

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