SMP表面测量运动平台
SMP是一个集成的多轴运动系统,专门设计用于为表面测量应用提供理想的平台。SMP经过优化,可在二维和三维轮廓绘制中提供最大的灵活性、更高的精度和纳米分辨率、显著缩短处理时间和最小的占地面积。
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更大的灵活性
- 2D和3D轮廓
- 球形、非球面和圆柱形的测量(应用示例:精密光学元件测量)
- 扫描或点对点运动轮廓
- 可用于多种配置
- 通用的运动和传感器控制器之间的高速电接口
- 开放的架构软件集成大量的传感器,如白光或多波长干涉仪,相机系统,或电容探头
- 易于使用,先进的运动算法简化运动轮廓生成
更高的精度
- 低纳米范围内的轴重复性
- 纳米级最小增量运动(分辨率)
- 即使在非常低的速度下也能实现超平滑运动
- 减少处理时间
- 与传统的笛卡尔系统相比,节省高达40%的测量时间
- 运动和传感器控制器之间的实时通信提供测量和位置数据的同步
- 测量过程中快速的数据存取和智能的数据管理
最小的足迹
- 与笛卡尔系统相比,节省60%的占地面积