描述

设计特点

• 集成薄型XY线性电机级
• 纳米级性能，大行程格式
• 高分辨率（1nm），可重复性（75nm）和精度（250nm）
• 在1nm的位置稳定性
• 抗蠕动crossed-roller轴承
• 采用直接驱动技术的高动态性能
• ULTRA性能等级选项

极其精确的舞台设计

Ant130xy设计允许优化诸如正交性，直线度和平坦度的关键元件，从而产生具有卓越几何公差的阶段。Aerotech的直接驱动技术没有滞后或间隙，在X和Y尺寸中能够精确和可重复的纳米级运动。所有旅行选项（60 mm x 60 mm，110 mm x 110 mm，160 mm x 160 mm）配有85 mm型材高度。集成的电缆管理系统专为长寿命而设计，并最大限度地减少阻力。

非接触直接传动

只有非接触式直接驱动技术才能提供大规模生产精密设备所需的可靠、精确和高速定位。ANT130XY级利用先进的直接驱动技术，由Aerotech率先实现最高水平的定位性能。这种直接驱动技术具有高性能、无齿槽、非接触、高速、高分辨率和高精度。这种独特的驱动和轴承组合，封装在一个非常小的外形和占地面积，在高精度定位、磁盘驱动器制造、光纤校准、光学延迟元件驱动、传感器测试和扫描过程中提供了明显的优势，这些都需要平稳和精确的运动。

多轴配置

Ant130xy可以与其他Aerotech Ant系列产品（垂直升降阶段，直接驱动旋转梯形和测电仪）相结合，以创建独特，高性能，多轴系统。

超便宜等级选项

为了实现我们的多轴纳米定位系统的最高可能的系统精度，Aerotech开发了一种先进的动态轨迹校准系统。新万博英超h为了充分利用这种精密的校准系统，机械系统必须在我们最好的计量实验室中进行完整的组装、功能测试和校准。纳米级的系统精度只能在严格的环境条件下实现，使用最好的测试设备进行校准，使用精度最高的机械元件，并利用Aerotech行业领先的控制系统的ULTRA软件能力。通过ANT130XY实现ULTRA动态轨迹校准，我们能够产生保证的二维精度±250 nm或更好。

规范中提供的图表说明了标准ANT130xy和超版本之间的性能差异。几乎消除了由舞台偏航引起的直线度误差，正交错误和准确性错误。