描述

设计特点

• 移动到240µm × 240µm
• 大方形透明孔径可达70毫米x 70毫米
• 通过并行运动设计实现卓越的多轴精度
• 高刚度和高动态性，实现高处理量
• 高精度、无摩擦挠性制导
• 正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能
• 长设备生命周期
• 卓越的定位分辨率和线性度，可选择直接计量电容传感器
• 开环和真空版本

标准的QNP2压电级带有一个大的，清晰的孔径，闭环行程可达200µm × 200µm(开环行程到240µm × 240µm)。该设计是光学显微镜，扫描探针显微镜，x射线透射显微镜和其他需要双面零件访问的检测或制造应用的理想选择。

精密并联运动设计

QNP2压电级采用平行运动挠曲和计量设计，确保最高水平的多轴精度。QNP2压电级在经过FEA优化以确保高刚度和较长设备寿命的精密挠曲的指导下，提供同类最佳的刚度和共振频率，实现高处理量和快速闭合-循环响应。

使用正在申请专利的驱动器设计，偏航误差最小化，同时仍保持符合阿贝标准的计量系统。该设计可在整个XY移动空间内实现无与伦比的定位性能。

事实上性能

所有的QNP2压电级可提供闭环反馈(-C)或开环(无反馈)。独特的电容式传感器并联计量设计可测量定位小车的输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.01%，单位数纳米重复性。

超精密控制

当与Aerotech公司的q系列控制器和驱动器相结合时，QNP2级表现出亚纳米级的定位分辨率、位置稳定性(抖动)和高定位带宽。软件选项，如Aerotech的动态控制工具箱和运动设计师软件包提供了大量高级但易于使用的工具，如学习控制，谐波抵消，及命令成形，提供了改进的跟踪误差和更快的步进和调整时间。OEM驱动选项也可用。Aerotech的控制器架构可以轻松实现压电级、伺服、步进和galvos之间的高速、严格控制的协调运动。

设计选项

可选安装板提供直接安装到英制或公制面包板光学表。一个坚实的桌面选项也是可用的。QNP2压电工作台可根据要求定制材料和真空制备版本。