描述

设计特点

• 移动范围从100µm到600µm
• 长设备生命周期
• 高精度、无摩擦柔性制导系统
• 优越的定位分辨率和线性度0.007%直接计量电容传感器选项
• 将兼容性与其他QNP系列压电纳米定位器安装
• 开环和真空版本

高质量的紧凑包装

QNP压电工作台由精密弯曲引导，采用有限元分析优化，以确保高刚度和长设备寿命。结果设计提供卓越的刚度和共振频率，使高工艺吞吐量和快速闭环响应。此外，这些阶段的设计提供了优良的几何性能(直线度和角度误差)，同时最小化整个阶段包的尺寸。

高分辨率和定位精度

所有QNP压电级都可以选择使用独特的电容传感器设计选择允许子纳米分辨率和高线性度的闭环反馈。电容传感器测量定位托架的输出直接实现卓越的精度和可重复性。

超精密控制

当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器相结合时，QNP压电纳米定位级展示子纳米定位分辨率和位置稳定性（抖动）和高定位带宽。新万博英超h软件选项，如Aerotech的动态控制工具箱和运动设计师包提供了一系列高级但易于使用的工具，如学习控制，谐波取消和命令整形，提供改进的跟踪误差和更快的步骤和解决时间。

使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别阶段，并将包括轴校准数据的所有操作参数上载到控制器中，确保安全，准确和真正的“即插即用”操作。

了解有关我们的控件和软件的更多信息。

设计的灵活性

Aerotech的QNP压电阶段可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。Open-Loop为需要紧凑尺寸，高动态和子纳米定位分辨率的应用提供了成本效益的选择，但不需要绝对定位精度和可重复性。也可以使用开环设计，其中通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置。

可选的安装板可直接安装到英语或公制面包板光学表。QNP系列还包括XY和Z级，其中普通的行程与适配器板一起安装。

所有QNP压电阶段可应要求提供真空准备的版本。