描述

设计特点

• 旅行范围从100μm到600μm
• 长设备寿命
• 高精度，无摩擦挠性引导系统
• 具有直接计量电容传感器选项的卓越定位分辨率和线性度为0.007％
• 与其他qnp系列压电纳米定位器的安装兼容性
• 开环和真空版本

紧凑型包装中的高品质

QNP压电工作台由精密弯曲引导，采用有限元分析优化，以确保高刚度和长设备寿命。结果设计提供卓越的刚度和共振频率，使高工艺吞吐量和快速闭环响应。此外，这些阶段的设计提供了优良的几何性能(直线度和角度误差)，同时最小化整个阶段包的尺寸。

高分辨率和定位精度

所有的QNP压电级都有闭环反馈的选择，使用独特的电容传感器设计，允许亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位架的输出，使其具有更高的精度和重复性。

超精密控制

当与Aerotech公司的q系列控制器和驱动器相结合时，QNP压电纳米定位平台显示出亚纳米定位分辨率和位置稳定性(抖动)，以及高定位带宽。新万博英超h软件选项，如Aerotech的动态控制工具箱和运动的设计师软件包提供了许多高级但易于使用的工具，例如学习控制那谐波消除,命令塑造，提供了改进的跟踪误差和更快的步进和调整时间。

自动参数和校准识别是利用Aerotech的FlashConfig功能完成的。该阶段是自动识别和所有的操作参数，包括轴校准数据上传到控制器，确保安全，准确和真正的“即插即用”操作。

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设计灵活性

Aerotech的QNP压电阶段可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。Open-Loop为需要紧凑尺寸，高动态和子纳米定位分辨率的应用提供了成本效益的选择，但不需要绝对定位精度和可重复性。也可以使用开环设计，其中通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置。

可选安装板提供直接安装到英制或公制面包板光学表。qnp系列还包括-L和-XY级，其中共同旅行与适配器板安装在一起。

所有的QNP压电级可在真空准备版本的要求。