QNPHD系列单轴,高动态压电纳米定位台新万博英超h
QNPHD系列单轴,高动态压电纳米定位台新万博英超h
我们的QNPHD压电纳米定位工作新万博英超h台在一个紧凑、高刚度的封装中提供了工作台和驱动器的优点。具有直接计量、电容式传感器反馈选项、高谐振频率和高负载能力,QNPHD是广泛高速和高精度应用的理想选择,如扫描探针显微镜、磁盘驱动器测试和半导体晶圆连接。
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设计特点
- 闭环行程从10 μm到40 μm
- 直接驱动驱动能够快速响应时间和更高的吞吐过程
- 高精度、无摩擦柔性导引
- 长设备生命周期
- 优越的定位分辨率和线性直接计量电容传感器选项
- 开环和真空版本
QNPHD采用了直接驱动驱动设计和优化结构,可实现毫秒级响应和移动-稳定时间。
采用有限元分析优化的精密挠曲,确保高刚度和长设备寿命,QNPHD提供高动力学,同时保持卓越的几何性能(直线度和角度误差)的关键纳米定位应用。新万博英超h
高分辨率和定位精度
QNPHD具有闭环反馈(-C)选项,使用独特的电容传感器设计,允许亚纳米分辨率和个位数纳米线性误差。电容式传感器直接测量定位架的输出,使其具有更高的精度和重复性。
超精密控制
当与Aerotech的q系列控制器和驱动器结合时,QNPHD显示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。软件选项,如Aerotech的动态控制工具箱和运动的设计师软件包提供了许多高级但易于使用的工具,例如学习控制,谐波消除,命令塑造,提供了改进的跟踪误差和更快的步进和调整时间。
自动参数和校准识别是利用Aerotech的FlashConfig功能完成的。工作台会自动识别,所有操作参数(包括轴校值数据)都会上传到控制器,确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。
越来越多的灵活性
QNPHD可提供后方和侧电缆出口选项以及安装功能,为水平和垂直方向。这种灵活性允许用户以最优的安排来定位和包装舞台,而无需设计各种适配器板和支架,增加尺寸和设计复杂性。
可选安装板提供直接安装到英制或公制光学面包板表。定制设计和真空准备版本可根据要求。
订购信息
旅游(必需)
选项 | 描述 |
-10 | 10µm闭环行走,12µm开环行走 |
-25年 | 25µm闭环行走,32µm开环行走 |
-40 | 40µm闭环行走,50µm开环行走 |
反馈(可选)
选项 | 描述 |
- c | 电容传感器的反馈 |
电缆出口(必需)
选项 | 描述 |
-1 | 后电缆出口 |
-5 | 左侧电缆出口 |
安装板(可选)
选项 | 描述 |
国会议员 | 英制和公制光学面包板表的安装板 |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制的集成服务,以帮助您的系统尽快全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么样的集成级别,或者您希望为您的系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。
选项 | 描述 |
助教 | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和文档化,并一起使用(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置的文档。 |
tac | 集成—作为组件进行测试 将单独的项目作为单独的组件进行测试和集成。这通常用于备件、替换部件或不会一起使用的物品。这些组件可能是更大系统的一部分,也可能不是。 |