描述

设计特点

• 设计成包括客户电气设备上的连续旋转旋转轴的顶端运动子系统
• 集成的低噪声滑环通过旋转台通过电信号
• 不锈钢力学用于改善稳定性和可重复性在延长的时间周期
• 高精度空气轴承垂直阶段，以减少整个平台移动的几何误差
• 直接驱动旋转平台和线性电机垂直阶段高精度定位
• 集成气动平衡以支持垂直定向的线性电动机和客户有效载荷
• 低噪声线性放大器，使客户的设备的隔离测量
• 应用包括测量和检测