真空

主要行业专业知识

材料选择
表面处理
消除虚拟泄漏
润滑剂选择
打扫
培训
处理
热管理
磁场控制

Aerotech真空优势

导航
第1页 - erotech真空优势
 第2页 - 系统级能力
 Page 3 - 磁场管理
 Page 4 - 真空阶段示例

Aerotech的巨大应用体验，无与伦比的产品范围和广泛的工程能力使我们成为真空兼容运动系统的首选合作伙伴。自成立以来，Aerotech设计和制造了可用的最高性能运动控制和定位系统，我们的真空兼容平台也不例外。新万博英超hAerotech一直在建造标准和定制的真空系统，超过30年。我们的真空应用体验涵盖军事/航空航天，研究，半导体和材料加工。典型的应用包括：

EUV光刻
扫描电子显微镜（SEM）
离子束分析
沉着
卫星组件测试
透射电子显微镜（TEM）
离子植入
光学抛光
科学研究
X射线断层扫描

Aerotech：真空运动平台选择的合作伙伴

真空工程专业知识

我们广泛的测试能力在发货前提供了全动系统的全部资格。Aerotech是一个高度集成的运动系统供应商 - 我们能够完全优化完整的运动系统。对于高动态系统，Aerotech具有几种基于热建模和实践经验的主动冷却选项。

对于对磁场敏感的应用，Aerotech具有磁性方法的广泛体验

现场屏蔽和遏制。Aerotech的才华横溢和专业的工程人员在所有核心运动技术领域拥有专业知识：

精密机械设计
振动和控制
磁路设计
电力电子设计
伺服系统
软件开发

真空制造设施

Aerotech拥有广泛的制造工厂，包括ISO 3级洁净室，这是建立UHV系统的理想控制环境。我们的机器商店完全有资格制造真空兼容组件。我们维持真空测试室，全部内部清洁设施，齐全的装配和测试人员。

真空分期设计元素

各种标准的Aerotech阶段产品可用于真空制备的版本。除标准平台外，Aerotech还经常制造旨在满足专用需求的定制系统。所有Aerotech的真空兼容运动平台最小化了增加时间，室内污染和热问题。此外，这些系统可以包含像磁场的减少的关键应用考虑因素。

Aerotech很精通：

材料选择
表面处理
消除虚拟泄漏
润滑剂选择
打扫

培训
处理
热管理
磁场控制
包装

Aerotech提供的真空选项

等级	托尔	曼巴里	KPA.
低真空（VAC3）	1.0 x 10.^-3	1.3 x 10.^-3	1.3 x 10.^-4
高真空（VAC6）	1.0 x 10.^-6	1.3 x 10.^-6	1.3 x 10.^-7
超高真空（UHV）	≤1.0x 10.^-7	≤1.3x 10.^-7	≤1.3x 10.^-8

材料选择

由于Aerotech可接受的材料根据真空水平，应用，操作温度等而变化，因此Aerotech提供了广泛的选择，可控制总质量损失（TML）和可收集的挥发性可冷凝材料（CVCM）。

•润滑剂：选择低蒸气压润滑剂与真空水平和客户的过程兼容。
•电缆管理系统（CMS）：CMS建筑和材料通常利用Teflon^®绝缘电线（MIL-C-27500）或Kapton以及专用电连接器，可利用各种材料，包括PEEK™。可以使用多种连接选项。
•表面光洁度：表面光洁度选项包括裸铝，无电镍，不锈钢或真空兼容涂料（Aeroglaze Z306）。

•硬件：系统使用通孔或通风不锈钢紧固件，用于所有盲孔。

Aerotech始终与客户密切合作，以确保系统满足或超过夸张要求。

设计元素

热管理

热管理是关键真空网页11. 真空系统，因为它们不能依靠对流从电动机和轴承中移除热量。没有热管理方法，可以从大气中操作的等效系统的阶段性能和寿命减少。这就是为什么Aerotech在热隔离方法和被动和主动冷却技术的发展中提出了相当大的努力。这些技术有助于最大化冷却的传导和辐射模式，帮助减少或消除腔室内的热源的影响。