真空级例子
特高压QNP-500L闭环压电纳米定位
特高压（10-7托）ADRS-100直接驱动旋转平台用无限旅行
用100毫米的行程高真空MPS75SL阶段
定制低真空（10-3托）的三轴系统，XY和Z关节运动
低真空（10-6托）两轴AOM130M AZ-EL万向节与590毫米清净孔径
高真空（10-6托）三轴（XYZ）系统（ATS2000级）在真空离散部件的测试
在高真空（10-6托）离子束光学抛光四轴（XYZθ）螺杆驱动的系统
高真空（10-6托）三轴（XZθ）与ATS2000s和APR200用于同步加速器样品操纵应用
自特高压（10-7托）离散部件检测三轴系统
定制高真空（10-6托）离散部件测试五轴系统
特高压（10-8托）平面DL与XY行程为200毫米
定制直接驱动UHV（10-7托）为XY电子束检查系统
特高压（10-7托）扫描电子显微镜的两轴载物台
高真空（10-6托）六轴离子束分析系统，其包括两轴万向节
定制高真空（10-6托）光学抛光系统
高真空（10-6托）六轴离子束分析系统，其包括两轴万向节