描述

设计特点

• 平面XY空气轴承系统产生极低的平面外几何误差的最小的俯仰，滚转，偏转和直线度误差
• 高力输出线性马达被定位靠近重力的用于在动态应用中的最大吞吐量优化系统的中心
• 安装数Z轴仪器级是理想的，以允许在一个平台上的串行处理
• 完全整合，并利用刚性花岗石结构对准系统
• 精心设计的线缆管理系统，空间客户过程电缆和软管
• 被动隔离和钢焊件设计成保持在精确的制造应用运动规格
• 内的钢焊件是用于运动主动，IO设备，安全电路和AC / DC电源的控制面板
• 示例性应用包括玻璃划刻，显示处理，平面部分检查，以及其它