描述

设计特点

• 10轴加工站
• 压电纳米的三个轴，伺服定位的五个轴，和手新万博英超h动定位的两个轴
• 所有定位从利用的Aerotech运动控制器的单个控制结构控制新万博英超h
• 集成电缆管理，以保持电缆拖动的影响在最低限度，以使纳米级定位
• 花岗岩底座设计和艾特供给
• 通过执行的Aerotech精度比对，以确保适当的系统操作
• 应用包括纳米和微组件，先进的激光加工，样品表征，和许多