描述

设计特点

• 自定义工程分裂轴笛卡尔子系统
• 经过深思熟虑的指定，以减少由多种工具和工作地点造成的定位错误
• 机械轴承轴的高负荷能力和动态处理
• 花岗岩基座采用被动隔离系统和钢焊接件，减少外部干扰
• 四架空处理工具车厢，为更多的灵活性和吞吐量
• 大型工作平面在X和Y为大的衬底或多个工作地点
• 简化的编程界面，利用先进的运动控制器从Aerotech新万博英超h