描述

设计特点

• 完全集成的串行运动尖端和倾斜运动子系统
• 能够通过伺服运动和定制弯曲轴承进行小角度调整
• 在长时间举行的过程中设计的稳定性设计
• 可以为空气额定或真空环境设计和准备
• 示例应用包括样品操作，光学和镜像调整，以及更多
• 通过利用Aerotech强大的运动控制器协调两轴新万博英超h