MaskAlign掩模对准系统

描述

Aerotech公司的MaskAlign系列是一种高性能的光刻对准系统，旨在满足先进半导体和平板书写系统的严格要求。MaskAlign整合了专有的驱动技术，提供一流的速度、分辨率、准确度和可重复性。

MaskAlign有一个内置的对准系统，保证以最小的努力正确放置蒙版。固定销用于设置掩模位置，同时两个定位机构将掩模推到其最终位置。一旦掩模正确对齐，一个完整的真空通道将掩模固定在适当的位置。所有这些特性都确保了掩码在写入过程中正确对齐和保留。

只有非接触直接驱动技术提供必要的大规模生产精密仪器的可靠，精确和高速的定位。X和Y轴采用Aerotech的无刷电机线性对于非齿槽，非接触式的，高性能的定位。的θ轴使用基于Aerotech的世界级的线性电动机的专有曲动马达。这个完整的直接驱动解决方案能够确保一个强大的系统提供尽可能高的性能。

紧凑的集成设计与堆叠系统相比有一个固有的优势——因为整体高度降低了，Abbe误差的影响也降低了。但即使是一个紧凑的设计，MaskAlign仍然提供高达150毫米的xy运动和20度的运动。

MaskAlign还使用了非常灵活的电缆管理系统(CMS)。水平的CMS允许更大的弯曲半径，显著增加电缆寿命，同时最小化总高度。这个系统也使所有的互连非常简单和直接。这是完成与一个单一的支架，保持所有电气和气动连接器在一个方便的位置。

艾特航空拥有设计和构建的运动控制和定位组件的悠久历史，以及完整的定位系统。新万博英超h这方面的知识应用到我们每一个部件和系统，导致该是为了在生产环境中持续发挥稳定的设计。

Aerotech制造的产品范围很广伺服放大器和先进的控制器提供一个完整的、集成的包。此外，定制系统是常规设计、制造、测试和认证的客户规格。

MaskAlign 100	轴1（X）上线性轴	轴2（Y）低线性轴	轴3(θ)
旅行	100毫米(上轴)	100毫米(下轴)	20度
孔径	120平方毫米，中间为XY级;70平方毫米与XY阶段在旅行的范围
准确性⁽¹⁾	±1µm	±1μm的	±1.5弧秒
可重复性⁽¹⁾	±0.5µm	±0.5µm	±0.5弧秒
平直度	±1.5µm	±1.5µm	N/A
平整度	±1.5µm	±1.5µm	N/A
音高(弧秒)	±4弧秒	±4弧秒	N/A
偏航(弧秒)	±4弧秒	±4弧秒	N/A
最大负载	2公斤
XY正交性	5弧秒
移动质量	8.8公斤	14.6公斤	NA
阶段质量	19公斤

MaskAlign 150	轴1（X）上线性轴	轴2（Y）低线性轴	轴3(θ)
旅行	150mm(上轴)	150毫米(下轴)	20度
孔径	170平方毫米与XY阶段在旅行中;70平方毫米与XY阶段在旅行的范围
电机类型	blmuc - 111 a(单电机)	blmuc - 143 a(单电机)	自定义blmuc - 111 a（曲线）
准确性⁽¹⁾	±1µm	±1µm	±1.5弧秒
可重复性⁽¹⁾	±0.5µm	±0.5µm	±0.5弧秒
平直度	±2.5µm	±2.5µm	N/A
平整度	±2.5µm	±2.5µm	N/A
音高(弧秒)	±6弧秒	±6弧秒	N/A
偏航(弧秒)	±6弧秒	±6弧秒	N/A
最大负载	5公斤
XY正交性	5弧秒
移动质量	9.2公斤	15.7公斤	N/A
阶段质量	22公斤

选项	描述
MaskAlign	直驱XYT掩模对准阶段

选项	描述
-100年	100毫米XY行进
-150年	XY行程150mm

选项	描述
-LI1	旅行限位开关的常闭端(标准)
-LI2	行程限位开关的常开端

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。

选项	描述
助教	集成 - 测试的系统将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac	集成——作为组件进行测试将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。