ATS5000HD定制线性定位
描述
设计特点
- 600毫米1000毫米，1500毫米旅行尺寸
- 685毫米正方形滑架
- 910千克负载能力
- 一个是真空10-6托额定
- 波纹管盖从颗粒保护，激光渣
- 精度±8μm的校准时，±50微米的未校准
- 空气吹扫空气正压
产品规格
机械规格
| ATS5000HD | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 定位 | 旅行 | 600/1000/1500毫米 |
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| 准确性 | LT标准 | ±40.0微米 | ||||
| HALAR（1） | ±1微米 | |||||
| 重复性 | ±0.5微米 | |||||
| 几何 |
直线 | ±9.0微米 |
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| 平整度 | ±9.0微米 |
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| 沥青 | ±121微弧度（±25弧秒） | |||||
| 滚 | ±121微弧度（±25弧秒） | |||||
| 偏航 | ±121微弧度（±25弧秒） | |||||
| 动态 | 最大速度（2） | 为200mm / s | ||||
| 最大加速度（2） | 3克 | |||||
| 其他 | ||||||
| 装载能力（3） | 轴向 | 910公斤 | ||||
| 垂直 | 300公斤 |
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| 级质谱 |
120公斤（1000毫米的行程与电动机） |
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| 材料 | 铝体/阶段;硬涂层桌面 |
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- 可用Aerotech控制器。
- 速度和加速度取决于负载。
- 根据承载能力最大负荷。最大应用负载可通过加速度要求的限制。
- 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。多轴系统的性能是有效载荷和与工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
外形尺寸
-
ATS5000HD 
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