ABL9000二轴空气轴承直接驱动线性级

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描述

设计特点

所有轴上的全预载
双线性电机驱动的Y轴
行驶到1.2米乘1.2米的距离
线性编码器或激光干涉仪反馈
主动偏航控制

Aerotech在设计和制造世界上最高性能的运动系统方面有着悠久的历史，可以直接满足客户的关键应用需求。这些努力已经帮助许多行业的关键技术，包括半导体、医疗和军事/航空航天。这种广泛的历史和经验已经达到了顶峰，在发展的ABL9000空气轴承运动平台。ABL9000为满足晶圆、平板显示、光学检测和制造的严格要求，制定了新的性能标准。

空气轴承设计

ABL9000在垂直和水平表面都采用了主动预载。相反的薄膜压力保持轴承的公称间隙公差。这种设计，除了大的空气轴承表面，分布在一个大的表面面积的负荷，结果在一个阶段具有突出的刚度，是理想的重型或偏置负荷。

专有的制造技术导致了一个无与伦比的几何特征的阶段。空气轴承有一个内在的平均效应，使性能最大化。薄膜将填补小的表面空隙，并允许其他不规则。这一特点产生了优越的俯仰，滚，偏航，直线度和平面规格。

直线电机驱动

这一阶段的驱动力是Aerotech公司的BLM系列无刷直线伺服电机。Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验在这一最新设计中得到了体现。BLM采用无铁forcer，这意味着零齿槽和没有吸引力，导致无与伦比的流畅的运动。BLM能够产生高的力和速度，代表了功率和性能的最终结合。

零维护

我们完全非接触式空气轴承，非接触式直线电机驱动器和非接触反馈装置确保年内免维护操作在预期的艾特航空设备的卓越性能。因为活动元件之间没有机械接触，所以ABL9000经历随时间的性能没有磨损或减少。使用寿命几乎是无限的，并因为没有润滑性 - 只有清洁，干燥的气体 - 空气轴承是理想的洁净室和医疗应用。

有线电视管理

我们精心优化电缆弯曲半径，确保多年无故障运行。在不太可能发生的故障情况下，Aerotech的模块化设计使电缆更换快速简单，停机时间最少。为了便于集成到最终系统中，我们在CMS包中包括了客户所需的所有电缆、空气软管等。两端完全连接，以便简单地集成到客户的机器中。

规范

ABL9000规范

规格		ABL9000-0300-0300	abl9000 - 0500 - 0500	ABL9000-0750-0750	ABL9000-1000-1000	abl9000 - 1200 - 1200
旅行⁽¹⁾		300毫米×300毫米	500毫米x500毫米	750毫米x750毫米	千毫米X千毫米	1200毫米x1200毫米
母线电压⁽²⁾		高达160伏直流电
反馈		非接触式线性编码器
最大的旅行速度⁽³⁾		500毫米/秒
最大加速度		将1克（无负载）
最大负载⁽⁴⁾		30.0公斤		125.0公斤
准确性⁽⁵⁾	高精度线性编码器反馈	±0.5µm	±0.75µm	±0.85µm	±1.0µm	±1.25微米
准确性⁽⁵⁾	激光干涉仪反馈	标准±10ppm的;补偿 ±1.5 ppm⁽⁶⁾	联系航空技术应用工程师了解更多细节
重复性⁽⁵⁾		±0.1µm		±0.2µm
直线度、平面度	最大偏差	±0.5µm	±1.5µm	±2.0微米	±2.5微米	±3.0微米
俯仰/滚动/偏航		2弧秒	3.5弧秒	4.5弧秒	5.5弧秒	6弧秒
阶段质量		320公斤	690公斤	3200公斤	4130公斤	5200公斤
移动质量	桥	9.5公斤		35.0公斤
移动质量	龙门	44公斤	57公斤	120公斤	130公斤	140公斤
正交性		2弧秒	3弧秒	3.5弧秒	4弧秒	5弧秒
操作压力⁽⁷⁾		551.6千帕+ 0，-34千帕
耗气量⁽⁸⁾		45 SLPM（1.6 SCFM）		85 SLPM (3.0 SCFM)
材料		铝
完		硬涂层（62级洛氏硬度）

差旅可以定制，以满足特定于应用程序的需求。咨询Aerotech，了解其他旅行选择。
带标准带状电缆的80vdc总线限制。高达320伏直流电可与圆电缆。
基于级能力的最大速度;最大的应用程序速度可能受到系统数据速率和系统分辨率的限制。
基于承载能力的最大负荷;最大的应用程序负载可能会受到加速度要求的限制。
可用Aerotech控制器和校准。
需要环境补偿。
为了保护空气轴承不受压力影响，建议在运动控制器ESTOP输入端安装一个在线压力开关。新万博英超h
空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。
的规格是对于单轴系统，测量25毫米桌面的上方。多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。

ABL9000-spec

订购信息

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