AHL9000混合轴承直接驱动线性XY舞台
描述
设计特点
- 空气轴承扫描轴;机械轴承步骤轴
- 双直线电机驱动步进轴
- 旅行至1.2米乘1.2米
- 线性编码器或激光干涉仪反馈
该AHL9000是最新加入到艾特航空的家庭空气轴承阶段，是需要价格和性能的谨慎权衡应用的绝佳选择。这个阶段是专为要求苛刻的要求优异的步进扫描性能的应用。应用包括晶片检查，平板显示器制造和光学检测和制造。
混合轴承设计
该AHL9000的扫描线用的ABL9000平面空气轴承开发成熟的空气轴承技术设计。该轴中使用的垂直和水平表面上都活性预加载，以提供优异的硬度和动态性能。所述AHL9000还需要一个机械轴承步骤轴的成本效益的优势。在一个阶段这两个轴承技术的组合提供了用于步骤和扫描操作而优化的系统。
直线电机驱动
后面这个阶段的驱动力是Aerotech的BLM系列无刷线性伺服电机。艾特航空的悠久历史和作为电机制造商的经验体现在这个最新的设计。所述BLM利用无铁心动子，这意味着存在零齿槽和没有吸引力，从而导致运动的无与伦比的平滑度。能够产生高的力和速度，则BLM表示功率和性能的最佳组合。
高性能
亚微米重复性非接触式直线光栅尺上的所有AHL9000系列平台标准。可选的2D工厂校准可进一步提高标准精度，直线度和偏航规范，更精细的精度。
电缆管理
我们仔细优化了电缆的弯曲半径，以保证多年无故障运行。在出现故障的异常情况下，艾特航空的模块化设计使得电缆更换快捷方便用最少的停机时间。
为了便于集成到最终系统中，我们在CMS包中包括了所有客户需要的电缆、空气软管等。两端完全连接，以便简单地集成到客户的机器中。
产品规格
AHL9000规格
| 基本模型 | ahl90350 - 350 | |
|---|---|---|
| 旅行 | 350毫米X350毫米 | |
| 驱动系统 | 线性伺服电机无刷 （桥轴：BLM-264-A; 龙门轴：BLM-203-A） |
|
| 母线电压 | 高达160 VDC | |
| 连续电流 （桥轴） |
一种pk | 高达5.10 |
| 一种rms | 高达3.61 | |
| 连续电流 （龙门轴） |
一种pk | 至5.30 A |
| 一种rms | 一直到3。75 A | |
| 反馈 | 非接触式线性编码器（LT或LN） | |
| 决议 | 0.0005微米 - 1.0微米 | |
| 最高行驶速度（1） | 千毫米/ s的 | |
| 最大加速度 | 将1.0克（无负载） | |
| 最大负载（2） | 30.0公斤 | |
| 精度（3） | LT | ±1.5微米 |
| LN | ±1.0μm的 | |
| 重复性（3） | LT | ±0.5微米 |
| LN | ±0.2微米 | |
| 平直度(Y轴) | 最大偏差 | 0.6微米 |
| 平面度 | 最大偏差 | 0.6微米 |
| 俯仰/滚动/偏航 | 3弧秒 | |
| 级质谱 | 535公斤 | |
| 移动质量 | 桥 | 9.7公斤 |
| 龙门 | 34.0公斤 | |
| 正交 | 2弧秒 | |
| 运营压力（4） | 551.6千帕+ 0，-34千帕 | |
| 空气消耗量（5） | 33 SLPM (1.17 SCFM) | |
| 材料（6） | 铝 | |
| 完成 | 硬涂层(62洛氏硬度) | |
- 基于阶段能力最大速度;最大应用速度可由系统的数据速率和系统分辨率的限制。
- 根据承载能力最大负载;最大应用负载可通过加速度要求的限制。
- 可用艾特航空控制器和HALAR校准选项。
- 为了保护空气轴承对下压，绑运动控制器ESTOP输入直列压力开关建议。新万博英超h
- 空气供应必须保持清洁，干燥至0°F露点，并过滤到0.25微米或更好;在纯度99.9％的氮气推荐。
- 可选建筑材料包括陶瓷，不胀钢，不锈钢和钛。
- 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。