PlanarHD双轴空气轴承直接驱动直线工作台
描述
设计特点
- 以2 m/s的扫描速度和5g的加速度最大限度地提高吞吐量
- 更快的周转速度和最短的安置时间
- 主动偏航控制
- 线性编码器或激光干涉仪反馈
- 乘1.2米乘1.2米
Aerotech拥有悠久的工程和制造世界上最高性能的运动系统的历史，可以直接满足客户的关键应用需求。这些努力有助于在包括半导体、医疗和军事/航空航天等众多行业实现关键技术。这种广泛的历史和经验在平面的发展中达到了顶峰高清“高动态”空气轴承运动平台。每个组件和设计特性都被选择为需要极高吞吐量的应用程序提供尽可能高的动态性能，同时保持非常紧密的几何特征。
平面高清设计特点
的平面高清空气轴承阶段已专门设计，以最大的吞吐量提供高达2米/秒扫描速度和5g加速度。该设计采用高度工程化的机械结构，增加空气轴承刚度，减少移动质量。此外，对力心和质心的位置进行了优化，以消除可能导致吞吐量减少误差运动的寄生力。
进一步提升舞台表现，平面化高清在X轴和Y轴上使用空气对空气的横向预紧力。这种预载方法利用相反的正压空气膜来平衡轴承的升力和预载力。动态支承力平衡法给出了平面高清最大刚度，提供更快的周转和最小的沉降时间。
与单片l型设计不同，这种设计只依赖于一个真空预加载龙门轴，Aerotech龙门轴是一个双空气轴承h桥设计，包含双线性电机和双线性编码器。这进一步提高了周转性能，同时提供了额外的好处正交/偏航控制。更快的旋转意味着更高的吞吐量和更小的阶段足迹，而正交性控制意味着整个晶圆表面上的过程路径是平行的。
反馈系统
线性编码器和激光干涉仪选项都是可用的。的平面高清采用三个高精度线性编码器，一个用于桥轴，两个用于龙门轴，作为标准。每个编码器被安装，使缩放中心线尽可能接近工作平面，以减少阿贝误差。编码器的材料和安装方法都已被选择，以具体解决由热引起的精度误差。
驱动系统
平面的关键高清性能是采用Aerotech公司的BLM系列无刷直线伺服电机。BLM系列直线电机采用无铁forcer提供零齿槽运动没有吸引力，导致极其平稳的运动。此外，BLM系列直线电机每单位体积产生的力是所有竞争性电机设计中最高的。的平面高清还包括空气和水冷却热管理选项。
先进的控制体系结构
的平面高清与Aerotech公司先进的自动化3200控制系统相结合。自动化3200是一个100%的数字系统与高性能火线®网络驱动器。全数字化的结构使得优化电流、速度和位置伺服回路以获得最佳性能成为可能。先进的轨迹生成功能，如多块前瞻最小化几何误差在快速转向，而我们的位置同步激光发射输出(PSO)功能自动调整激光脉冲频率匹配阶段的速度，以保持最佳的系统性能。
Aerotech的ETM(增强型吞吐量模块)选项有助于改善平面等高动态运动系统的定位性能高清通过直接测量机座不需要的运动，并将其反馈给控制器。通过与动态控制工具箱和Aerotech控制器协同工作，ETM显著提高了移动和稳定时间和轮廓性能，增加了现有和新机器的吞吐量，并大大降低了帧运动对伺服系统的影响。
规范
PlanarHD规范
| 基本模型 | 平面高清 | |
|---|---|---|
| 旅行(7) | 扫描轴 | 500毫米 |
| 一步轴 | 500毫米 | |
| 准确度(零膨胀刻度)(1) | ±300海里 | |
| 重复性(长期) | ±50纳米 | |
| XYZ位置稳定性(空中) | 20海里 | |
| 花岗岩基厚度 | 250毫米 | |
| 额定负载(维护动态规范) | 5公斤 | |
| 最大有效载荷(2) | 30公斤 | |
| 最大速度与额定负载(3) | 扫描轴 | 2000毫米/秒 |
| 额定负载的峰值加速度 | 扫描轴 | 5克 |
| RMS加速与额定负载 | 扫描轴 | 1.25克 |
| 刚度，第一固有频率，额定有效载荷 | > 330赫兹 | |
| 球场 | 2弧秒 | |
| 卷 | 2弧秒 | |
| 偏航 | 2弧秒 | |
| XY正交性(4) | 1角秒 | |
| 平均故障间隔 | > 40000小时 | |
- 可与Aerotech控制器和校准。
- 基于承载能力的最大负荷;最大的应用程序负载可能会受到加速度要求的限制。
- 基于级能力的最大速度;最大的应用程序速度可能受到系统数据速率和系统分辨率的限制。
- 需要校准。
- 为了保护空气轴承不受压力影响，建议在运动控制器ESTOP输入端安装一个在线压力开关。新万博英超h
- 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。
- 差旅可以定制，以满足特定于应用程序的需求。咨询Aerotech，了解其他旅行选择。
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