描述

设计特点

• 主轴精度：<0.6微弧度（<0.12弧秒）
• 最小增量步骤：0.035微弧度（0.007弧秒）
• 角度测量不确定度：<0.73微弧度，K = 2（<0.15弧秒扩展不确定度，K = 2）

Aerotech的角度和旋转校正的系统，所述μARC，设置需要长期稳定性和<1个微弧度（0.2弧秒）的角精度的用于角度和旋转装置的校准性能的新的工业标准。

该系统的设计为需要的步长大小范围为小于0.1微弧度，以连续旋转超精密测量能力的应用程序。应用包括角编码器，传感器，分度台，多边形和光学棱镜的校准。电光成像传感器，例如红外摄像机，卫星成像器和分光计可以这样相对于准直目标设备到测试传感器特性上被旋转如来看，像素的分辨率和透镜畸变场。

整个仪器是建立在从机器底座和地板通过被动空气隔离隔离的高精度花岗岩机结构。自定义的外壳隔离空气湍流，高频热波动和环境光的系统。系统电子封装的方式，以保持热和电噪声从敏感测量区域隔开。

空气轴承旋转轴大师

在μARC系统的心脏是ABRT-400- 一个大的旋转空气支承轴具有纳米级别的错误运动性能。这种高精确度的空气支承主动轴是用钢建造的密切匹配周围花岗石结构的CTE。空气轴承配备有非影响旋转接头和滑环通过真空或空气和电气服务于待测设备。该ABRT-400可以用作在高精度测量机的角度标准，X射线衍射，蛋白质晶体或高精度加工应用。

该μARC系统由Aerotech的A3200运动控制器控制。新万博英超h的定制菜单驱动的界面提供了与测试程序的控制容易，情节/报告生成用户，移动焦点到被测器件的测试（DUT），而不是机器操作的性能。该系统可以被容易地编程，以执行多个单向或双向测试周期和运动相关联的位置或速度与一个DUT输出期间可以捕捉的速率位置的数据长达8千赫。

产品规格

角度和旋转装置校准规范