ABRT400空气轴承直接驱动旋转台
描述
设计特点
- 精度:<0.6 microradian(<0.12弧秒)
- 最小增量步:0.035微辐(0.007弧秒)
- 重复性:<0.4 microradian(<0.08弧秒)
- 轴向误差运动:< 50nm同步;< 10 nm异步
- 径向误差运动:< 75nm同步;< 10 nm异步
空气轴承旋转主轴
ABRT400是Aerotech的核心µARC角度和旋转设备校准系统。ABRT400是一个具有纳米级误差运动性能的大型旋转空气轴承轴。这种高精度空气轴承主轴钢构造密切匹配CTEµARC周围的花岗岩结构。空气轴承装有一个不影响旋转接头和滑环，以通过真空或空气和电气服务到被测设备。
ABRT400可作为高精度测量机、x射线衍射、蛋白质结晶学或高精度加工应用的角度标准。
规范
旋转空气轴承阶段比较
| 模型 | ABRT260 | ABRT400 | ABRT400 |
|---|---|---|---|
| 性能版本 | 标准 | 标准 | 高精度 |
| 精度 | 19.4µrad(4弧秒) | 9.7µrad(2弧秒) | 0.6µrad(0.12弧秒) |
| 可重复性 | < 4.9µrad(< 1角秒) | < 4.9µrad(< 1角秒) | 0.4µrad(0.08弧秒) |
| 轴向误差运动(同步) | < 100海里 | < 100海里 | < 50纳米 |
| 径向误差运动(同步) | < 150海里 | < 250海里 | < 75海里 |
| 倾斜误差运动(同步) | < 2.4µrad(< 0.5弧秒) | < 2.4µrad(< 0.5弧秒) | < 0.5µrad(< 0.1弧秒) |
| 轴向误差运动(异步) | < 20海里 | < 20海里 | 小于10纳米 |
| 径向误差运动(异步) | < 20海里 | < 20海里 | 小于10纳米 |
| 倾斜误差运动(异步) | 0.19µrad(0.04弧秒) | 0.19µrad(0.04弧秒) | 0.05µrad(0.01弧秒) |
| 轴向载荷能力 | 69公斤 | 110公斤 | 200公斤 |
| 径向负荷能力 | 10公斤 | 90公斤 | 50公斤 |
| 滑环 | 可选 | 可选 | 可选 |