磨具空气轴承直接驱动旋转台

描述

设计特点

  • 高扭矩输出，直接驱动，无槽无刷伺服电机
  • 零齿槽电机突出速度稳定性
  • 突出的误差运动和摆动性能
  • 直接耦合，高精度旋转编码器
  • 大口径透明孔径
  • 无机械接触

Aerotech公司的ABRT系列旋转空气轴承平台提供优越的角定位、速度稳定性和误差运动性能，以及令人印象深刻的有效载荷能力和突出的径向和轴向刚度。该晶圆磨具可满足晶圆检验、高精度计量应用、x射线衍射系统、光学检验与制造、MEMS/纳米器件制造等精密要求。

优越的机械设计

ABRT的设计特点是大的空气轴承表面和创新的预加载高刚度和负载能力，不仅产生优秀的轴向和径向误差运动，但突出的倾斜误差运动，以及。合成的性能明显优于其他旋转空气轴承表和主轴，大大有利于需要特殊平面性能的应用。此外，这个系列提供了一个清晰的孔径，可用于产品的馈通，激光束传输，电缆间隙或应用的具体要求。

无刷直驱

为了最大化定位性能，ABRT系列采用了Aerotech公司s系列无槽无刷电机的优化版本。该电机采用先进的磁路设计，以产生最小的热量产生高扭矩输出。无槽设计是固有的零齿槽和扭矩波动自由。这使得磨料阶段理想的应用要求平滑扫描速度在低或高的速度。

准确的定位

光学编码器的标准与ABRT。当与Aerotech的反馈乘法器和控制相结合时，小于0.03角秒的分辨率是可以实现的。新万博最新版本

自定义设计

定制版本的磨料磨具可满足率表和高精度惯性制导试验台的应用。其他功能，如滑环和旋转接头，是可用的。

灵活的配置

Aerotech生产广泛的伺服放大器和先进的控制器，以提供一个完整的，集成的软件包。

规范

ABRT规范

模型 ABRT150 ABRT200 ABRT260
宽度 146毫米 196毫米 260毫米
桌面直径 100毫米 145毫米 200毫米
高度 135毫米 165毫米 185毫米
孔径 20毫米 30毫米 50毫米
总旅行 360°连续
总线电压 340 VDC
基本编码器分辨率 11840行/牧师 18000行/牧师 23600行/牧师
最高速度(1) 1200转 800转 600转
精度(2) ±2弧秒
可重复性 < 1角秒
最大负载(3) 轴向 20公斤 41公斤 69公斤
径向 3公斤 6公斤 10公斤
倾斜 3.5纳米 8海里 18海里
轴向误差运动(同步) < 100海里
径向误差运动(同步) < 150海里
倾斜误差运动(同步) < 2.4µrad(< 0.5弧秒)
轴向误差运动(异步) < 20海里
径向误差运动(异步) < 20海里
倾斜误差运动(异步) < 0.2µrad(< 0.04弧秒)
操作压力(5) 80 psig (5.5 bar)±5 psig (0.3 bar)
空气消耗量(6) <56.6 SLPM (<2 SCFM)
惯性 卸载 2300公斤·毫米2 13500公斤·毫米2 46400公斤·毫米2
总质量 6.7公斤 14.7公斤 27.1公斤
材料 铝
完成 硬涂层(62洛氏硬度)

  1. 最大速度基于阶段能力。最大的应用程序速度可能受到系统数据速率和系统分辨率的限制。
  2. 每一阶段认证。需要使用Aerotech控制器。
  3. 最大负载是相互排斥的。
  4. 所有的误差运动规格在每分钟60转。
  5. 为了保护空气轴承不受压力影响，建议在运动控制器上安装一个在线压力开关。新万博英超h
  6. 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好。建议氮的纯度为99.9%。

维

订购信息

磨具空气轴承直接驱动旋转台

选项 描述
ABRT150 150毫米宽空气轴承直接驱动旋转台
ABRT200 200毫米宽空气轴承直接驱动旋转台
ABRT260 260毫米宽空气轴承直接驱动旋转台

反馈(必需)

选项 描述
e1 增量编码器，1 Vpp
e2 增量式编码器，TTL, x50插补

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。

助教 集成测试系统
将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac 集成——作为组件进行测试
将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。

附件(作为单独的行项目订购)

选项 描述
沛富 空气轴承过滤设备