ABRS空气轴承直接驱动旋转舞台

描述

Aerotech的ABRS系列旋转空气轴承阶段提供优良的角度定位，速度稳定性和误差运动性能在一个非常低轮廓包。所述ABRS旨在满足晶片检查，高精度计量，X射线衍射系统，光学检查和制造，以及MEMS /纳米器件制造的严格要求。

ABRS系列直接驱动旋转工作台的设计已进行了优化，以使工作台高度最小化。工作台的低轮廓降低了系统的有效工作高度，最大限度地减少了与“堆叠”相关的错误。除了低的整体高度，ABRS系列提供了一个清晰的孔径，可用于产品馈通，激光束传输，电缆间隙或应用的具体要求。

ABRS设计的特点是大的空气轴承表面高刚度和负载能力，不仅产生优秀的轴向和径向误差运动，但突出的倾斜误差运动，以及。由此产生的面误差运动明显优于其他旋转空气轴承表和主轴，极大地有利于需要特殊平面性能的应用。

为了最大化定位性能，ABRS系列采用了Aerotech公司的s系列无槽无刷电机。该电机采用先进的磁路设计，以产生最小的热量产生高扭矩输出。无槽设计是固有的零齿槽和扭矩波动自由。这使得ABRS阶段对于需要低速或高速平滑扫描速度的应用非常理想。

光学编码器是与标准ABRS。当与Aerotech的反馈乘法器和控制耦合，<0.03弧秒的分辨率实现的。新万博最新版本

在ABRS的定制版本可用于费率表和惯性制导测试台的应用。

模型		ABRS150MP	ABRS200MP	ABRS250MP	ABRS300MP
宽度		150毫米	200毫米	250毫米	300毫米
桌面直径		128.1毫米	178.1毫米	228.1毫米	278.1毫米
高度		80毫米	90毫米	100毫米	110毫米
孔径		8毫米	20毫米	35毫米	75毫米
总行程		360°连续
总线电压		80 VDC	340 VDC
基本编码器分辨率		3600行/牧师	8192行/牧师	11840行/牧师	18000行/牧师
最高速度⁽¹⁾		300 RPM	300 RPM	500转	500转
准确性⁽²⁾		±3弧秒	±2弧秒
双向可重复性		< 2弧秒	< 1角秒
最大负载⁽³⁾	轴向	8公斤	31公斤	66公斤	97公斤
	径向	4公斤	15公斤	36公斤	51公斤
	倾斜	3 N-m的	10 N-M	28 N-m的	45 n - m
轴向误差运动(同步)		< 175海里	<100nm的
径向误差运动(同步)		< 450海里	<250nm的
倾斜误差运动(同步)		< 9.7µrad (< 2.0弧秒)	< 3.4µrad （<0.7弧秒）	< 2.4µrad (< 0.5弧秒)	< 2.4µrad (< 0.5弧秒)
轴向误差运动（异步）		< 20海里
径向误差运动(异步)		< 20海里
倾斜误差运动（异步）		< 0.4µrad (< 0.08弧秒)	< 0.3µrad (< 0.06 ")	< 0.2µrad (< 0.04弧秒)	< 0.2µrad (< 0.04弧秒)
操作压力⁽⁵⁾		80 psig (5.5 bar) + 0 psig (0.0 bar)/-10 psig (0.7 bar)
耗气量⁽⁶⁾		<56.6 SLPM (<2 SCFM)
惯性	卸载	3850年kg-mm²	13800年kg-mm²	39100公斤毫米²	102000公斤毫米²
总质量		4.8公斤	9.1公斤	15.6公斤	24.5公斤
材料		铝
完		硬涂层(62洛氏硬度)

选项	描述
-E1	增量编码器，1个VPP
-E2	增量式编码器，TTL, x50插补

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。

选项	描述
助教	集成 - 测试的系统将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
tac	集成——作为组件进行测试将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。