AGV-SPO高性能单枢轴点检流计
描述
设计特点
- 与传统2D扫描仪相比，更大的视野简化了更大部件的处理
- 最小光斑的失真超过视图最小化的整个场处理的最高品质的激光加工部位变化
- 空气和水冷却选项提供热稳定性和提高长期精度
- 的镜表面处理许多选择用于各种激光波长的
大视场以最少现货失真
独特的光学设计有效地控制了光束入口光瞳与X、Y扫描器运动的一致性，提高了扫描器系统的有效数字孔径。这种设计直接为给定的焦距提供了更大的视野，并减少了整个工作区域的光斑畸变。这些优点意味着AGV-SPO能够更快地处理更大的部件，并且具有更好的一致性。
设计配置
该AGV-SPO可与选择的光学涂层和聚焦光学，以支持各种常用的激光波长和焦距。为了支持其他需求，Aerotech可以根据要求为AGV-SPO提供定制光学和光学安装功能。AGV-SPO可以配置气冷镜、水冷马达，或两者兼而有之。这些主动冷却功能有助于保持工作平面的准确性存在的热干扰造成的激光以及侵略性的运动轮廓。
高级编程功能
该AGV-SPO利用所有Aerotech的先进的运动和位置同步输出（PSO）已经与传统的振镜和伺服级激光加工应用开发的能力。轮廓功能，诸如加速度限制可以用来自动降低在急转弯或小半径速度最小化过冲。激光可以基于与PSO反射镜的位置反馈，以确保一致光斑交叠作为扫描器改变速度被触发。
Aerotech的无限视场(IFOV)功能无缝地结合了伺服和扫描仪运动，扩展了扫描仪在整个伺服阶段行程范围内的标记能力，消除了在更传统的移动-曝光-重复过程中可能出现的拼接错误。
产品规格
机械规格
| 模型 | AGV14SPO | ||
|---|---|---|---|
| 光学性能 | |||
| 光束孔径 | 14毫米 | ||
| 最大扫描角 | ±20° | ||
| 梁位移 | 35毫米 | ||
| 抖动（最小增量运动）（2） | 0.3微弧度RMS | ||
| 精度 | 50微弧度峰峰值 | ||
| 重复性（3） | 0.6µradRMS | ||
| 增益误差 | 0.05毫弧度 |
||
| 非线性 | 0.005％ | ||
| 动态性能 | |||
| 跟踪误差 | 0微秒 | ||
| 峰值加速度(4、5) | 60000米/ s的2 | ||
| 连续加速（4，6） | 20000米/ s的2 | ||
| 定位速度（4） | 50m / s的 | ||
| 处理速度（4，7，8） | 5米/ S5 | ||
| 跳跃和稳定时间为1毫米移动(4、9) | 700微秒 | ||
| 稳定性 | |||
| 长期漂移 | 抵消 | 10微弧度/ 12小时 | |
| 15微弧度/ 24小时 | |||
| 获得 | 为10ppm / 24小时 | ||
| 热漂移 | 抵消 | 20微弧度/℃ | |
| 获得 | 为1ppm /℃ | ||
| 机械规格 | |||
| 重量 | 5.1公斤 | ||
| 材料 | 铝(黑色阳极氧化和蓝色油漆) | ||
| 平均故障间隔时间 | 20000年 | ||
笔记：
1.除非另有说明，所有角度均为光学角度
2.在不空气冷却选项
3.初始3小时的预热，环境温度变化后<±0.5度
4. F =160毫米F-Theta物镜典型性能
5.基于最大额定电流的电动机的
6.根据电机的额定均方根电流选择水冷;在没有水冷却的情况下，最大持续加速度为该值的70%
7.可实现与<1％的速度误差超过移动的连续速度部分
8.打标速度取决于可允许的跟踪误差
9.移动距离控制在1%以内
10.所有规格每个轴，除非另有说明
电气规格
| 模型 | AGV14SPO |
|---|---|
| 驱动系统 | 无刷直流驱动原动机 |
| 反馈 | 非接触旋转编码器 |
| 最大总线电压 | ±40伏直流电 |
| 限位开关 | 光学限制开关和软件限制 |
| 家里的开关 | 在中心 |
外形尺寸
-
AGV14SPO 
放大图片
订购信息
AGV-SPO高性能单枢轴点振镜，孔径为14mm
镜面涂层的波长（必需的）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -W001 | 10.6微米波长涂层 |
| -W004 | 波长1064nm涂层 |
| -W006 | 波长532nm涂层 |
| -W008 | 波长355nm涂层 |
| -W009 | 343纳米波长涂层 |
注：其他波长可用;与厂家咨询。
F-Theta镜头(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -Lxx | 多种的f-theta透镜具有不同的焦距和波长的组合可用;与厂家来电咨询 |
风冷（可选）
| 选项 | 描述 |
| -AC | 气冷 |
水冷(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| wc | 水冷 |
性能等级(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL0 | 标准性能等级 |
集成（必需）
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| μ-TAS | 集成—作为系统进行测试 测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。 |
| -TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |