Nmark AGV-HP(O)高精度、热稳定的Galvo扫描仪
描述
设计特点
- 最高精度的扫描仪可达到个位数，微米级精度的视野
- 光学反馈技术显著提高了热稳定性
- 业界最好的艾特航空的Nmark GCL控制器使用时> 24位分辨率
- 大范围的光圈和焦距
- 的镜表面处理许多选择用于各种激光波长的
精度和稳定性的极限
在AGV-HP扫描器系统中使用的高度可重复的和热稳定的反馈传感器可以在视场中被校准降至个位数，微米级的精度（参见下图）。与所述位置换能器的非常低的热增益漂移性能，即采取长时间来完成复杂的，高密度的激光加工应用将保持在进程的生存期一致微米级特征位置精度。同样地，高吞吐量的应用程序将保持一贯的部分到零件的质量，而无需部件之间的重新校正。对于热稳定性的最高水平，所述AGV-HP扫描器可以配有水冷却以稳定装置的操作温度变化的负载下，改变对所述输入孔径的环境温度或束限幅。
实时过程的可见性
可以实时捕获并分析AGV-HP(O)镜的位置。通过直接访问扫描仪的位置，用户不再需要编写延迟参数来补偿伺服系统中的滞后和跟踪误差。该工艺可在零件打标前进行优化，节省时间，减少材料浪费。激光的状态也可以根据位置和速度标准进行控制，进一步降低了编程的复杂性。
高级编程功能
AGV-HP(O)利用了Aerotech公司为传统基于伺服的激光处理应用开发的所有先进的运动和PSO(位置同步输出)功能。轮廓功能，如加速限制，可以用来自动降低速度在紧角或小半径，以尽量减少超调。利用粒子群优化算法，可以根据反射镜的位置反馈来触发激光，从而保证扫描速度变化时光斑重叠的一致性。Aerotech的无限视场(IFOV)功能无缝地结合了伺服和扫描仪运动，扩展了扫描仪在整个伺服阶段的标记能力，消除了在更传统的移动-曝光-重复过程中可能出现的拼接错误。
设计选择
该AGV-HP（O）家族是可用的10，14，20，与30mm的输入孔径，并且可以直接从的Aerotech配备有一个F-θ或远心透镜。用户还可以直接从与供给的Aerotech间隔环，以确保通过视神经该背反射不损坏扫描仪镜的可信赖的供应商获得的聚焦光学器件。镜面涂层适用范围广的UV，可见光，IR和CO 2波长的支持。超快激光器优化的涂层也可提供。
其他资源新万博活动
有关如何配置IFOV，请在这里。
有关先进的激光控制， 请离开在这里。
为了让我们的宣传册毫不费力地结合振镜扫描仪和伺服系统运动与景观的艾特航空的无限领域，请在这里。
振镜校正文件转换器(GCFC) -使用GCFC创建新的，优化现有的，或转换第三方校准文件与Nmark的CLS和操作Nmark SSAM。
此外，白皮书使用Galvo校准文件转换器与Nmark CLS轮廓的程序需要创建新的校准表，以及如何合并校准表为Nmark CLS。
你可能对Aerotech最近的网络直播感兴趣，组合扫描和伺服系统的精度。
摘要：线性执行器和旋转执行器常用于扩展扫描仪/galvo标记头的有效工作区域。本报告将讨论对齐、缩放、旋转和缝制引起的误差及其对最终产品质量的综合影响。先进的错误校正，路径规划和激光触发技术，以帮助尽量减少这些错误也将提出。
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规范
机械规范
| 模型 | AGV10HP (O) | AGV14HP（O） | AGV20HP (O) | AGV30HP（O） | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学性能 | ||||||
| 束孔径 | 10毫米 | 14毫米 | 20毫米 | 30毫米 | ||
| 最大扫描角 | ±20° | |||||
| 梁位移 | 13.0毫米 | 18.0毫米 | 25.1毫米 | 35.7毫米 | ||
| 反馈分辨率 | 0.007µrad(26位) | |||||
| 抖动(最小增量运动)(2) | 0.2微弧度RMS | |||||
| 准确性 | 50µrad pk-pk | |||||
| 可重复性(3) | 0.4µradRMS | |||||
| 增益误差 | 0.05 mrad |
|||||
| 非线性 | 0.005％ | |||||
| 动态性能 | ||||||
| 跟踪误差 | 0微秒 | |||||
| 峰值加速度（4,5） | 288000米/ s的2 | 224000米/ s的2 | 80000米/ s的2 | 56000米/秒2 | ||
| 连续的加速度(4、6) | 75200米/秒2 | 56000米/秒2 | 20800米/秒2 | 19200米/ s的2 | ||
| 定位速度(4) | 75米/秒 | 75米/秒 | 50米/秒 | 50米/秒 | ||
| 标记速度(4、7、8) | 5m / s的 | 5m / s的 | 5m / s的 | 5m / s的 | ||
| 跳跃和稳定时间，1毫米移动（4,9） | 270年µsec | 270年µsec | 450微秒 | 700年µsec | ||
| 稳定 | ||||||
| 长期漂移(3) | 抵消 | 10µrad / 12小时 | ||||
| 15微弧度/ 24小时 | ||||||
| 获得 | 10 ppm / 24小时 | |||||
| 热漂移 | 抵消 | µrad / 10°C | ||||
| 获得 | 1 ppm /°C | |||||
| 机械规范 | ||||||
| 重量 | 4.0公斤 | 4.3公斤 | 5.0公斤 | 5.8公斤 | ||
| 材料 | 铝(黑色阳极氧化和蓝色油漆) | |||||
| 平均故障间隔时间 | 20000 | |||||
笔记：
1.除非另有说明，所有角度均为光学角度。
2.没有-AC空气冷却选项。
3.初始3小时预热后，环境温度变化<±0.5℃。
4.典型的性能以f =160毫米F-Theta物镜。
5.根据马达的最大额定电流。
6.根据电机的额定均方根电流选择-WC水冷却;在没有水冷却的情况下，最大持续加速度为该值的70%。
7.可实现的速度误差小于1%的连续速度部分的移动。
8.打标速度取决于可允许的跟踪误差。
9.移动距离控制在1%以内。
10.除非另有说明，否则所有规格都是按轴排列的。
电气规格
| 模型 | AGV10HP (O) | AGV14HP（O） | AGV20HP (O) | AGV30HP（O） |
|---|---|---|---|---|
| 驱动系统 | 无刷直流驱动原动机 | |||
| 反馈 | 非接触旋转编码器 | |||
| 最大总线电压 | 40±直流 | |||
| 限位开关 | 软件限制只 | |||
| 家里的开关 | 在中心 | |||
维
订购信息
Nmark AGV-HP(O)检流计扫描仪
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| AGV10HP (O) | 二轴电流计扫描仪与10毫米直径的光束孔径和积分高精度反馈 |
| AGV14HP（O） | 二轴电流计扫描仪与14毫米直径的光束孔径和积分高精度反馈 |
| AGV20HP (O) | 二轴电流计扫描仪与20毫米直径的光束孔径和积分高精度反馈 |
| AGV30HP（O） | 二轴电流计扫描仪与30毫米直径的光束孔径和积分高精度反馈 |
住房类型(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| - | 封闭式扫描仪外壳(AGVxxHP) |
| O | 开放式扫描仪外壳(AGVxxHPO) |
梁条目(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -BE1 | 右侧激光束入射(标准) |
| -BE2 | 左侧的激光束入口 |
镜面涂层波长(要求)
| 选项 | AGV10HP (O) | AGV14HP（O） | AGV20HP (O) | AGV30HP（O） |
| w1 | - | - | 10.6µm波长涂层 | |
| w26 | Durable-Silver涂布镜子,450 nm - 10.6µm | - | - | - |
| w3 | 1552 nm波长涂层 | - | ||
| w4 | 波长1064nm涂层 | |||
| -W5 | 1030nm波长涂层 | - | ||
| 将 | 532纳米波长的涂层 | - | ||
| 支w7 | 515nm波长涂层 | - | ||
| w8 | 355纳米波长的涂层 | - | ||
| -W9 | - | 波长为343纳米的涂层 | - | |
| -W10 | 1064、532和355纳米三波段涂层 | - | ||
| -W11 | 1030、515和343纳米三波段涂层 | - | - | |
注意：
- 定制的涂料。详情请与工厂联系。
- -W2(耐用银)选项仅适用于AGV10HP(O)-BE1。
- -W4 (1064 nm)选项不适用于AGV30HP(O)-BE2。
- -W9 (343 nm)和-W11 (1030/515/343 nm)选项不支持-BE2。
- AGV20HP（O）-BE2仅适用于-W1（CO2），-W4（1064纳米），和-W6（532纳米）的选项。
- 有限的工作电源。
F-Theta镜头(可选)(1、2)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 起立 | 看到见下表标准的选择 |
安装板（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -MP | 安装板 |
注意:mp选项仅适用于封闭扫描仪外壳(AGVxxHP)型号。
空气冷却(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| - ac | 空气冷却 |
注：空气冷却在封闭的外壳型号。
水冷(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| wc | 水的冷却 |
注:水冷仅适用于封闭的外壳型号。
性能等级(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL0 | 标准性能等级 |
| -PL9 | 超性能等级 |
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 助教 | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| tac | 集成——作为组件进行测试 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |
镜头安装适配器(单独订购)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| LM10HP-XXX | AGV10HP(O)镜头安装适配器;标准版本支持Aerotech提供的镜头配置;可根据要求提供自定义版本 |
| LM14HP-XXX | 镜头安装适配器AGV14HP（O）;标准版本支持Aerotech提供的镜头配置;可根据要求提供自定义版本 |
| LM20HP-XXX | 镜头安装适配器AGV20HP（O）;标准版本支持Aerotech提供的镜头配置;可根据要求提供自定义版本 |
| LM30HP-XXX | 用于AGV30HP(O)的镜头安装适配器;标准版本支持Aerotech提供的镜头配置;可根据要求提供自定义版本 |
F-Theta镜头(可选)(1、2)
| 波长 | 焦距 | AGV10HP (O) | AGV14HP（O） | AGV20HP (O) | AGV30HP（O） |
| 10.6µm | 100毫米 远心的 |
- | - | 10.6微米波长 百毫米焦距 38.6 x 38.6毫米FOV 远心的 （-L1） |
- |
| 160毫米 | - | - | 10.6微米波长 焦距160毫米 76.0 X76.0毫米FOV 非远心 （-L2） |
- | |
| 255毫米 | - | - | 10.6微米波长 255毫米焦距 163.8 x 163.8毫米FOV 非远心 （-L3） |
10.6微米波长 255毫米焦距 104.4 x 104.4毫米FOV 非远心 （-L1） |
|
1552海里 |
100毫米 远心的 |
1552 nm波长 百毫米焦距 55.2 x 55.2 mm FOV 远心的 （-L1） |
1552 nm波长 百毫米焦距 49.4 X49.4毫米FOV 远心的 （-L3） |
- | - |
| 163毫米远心的 | 1552 nm波长 163mm焦距 93.8 X93.8毫米FOV 远心的 （-L2） |
1552 nm波长 163mm焦距 93.8 X93.8毫米FOV 远心的 （-L） |
- | - | |
| 1064纳米 | 100毫米 | 1064纳米波长 百毫米焦距 66.9 X66.9毫米FOV 非远心 (l3) [3] |
1064纳米波长 百毫米焦距 37.0 x 37.0毫米 非远心 (l5) [3] |
- | - |
| 100毫米远心的 | 1064纳米波长 百毫米焦距 69.8 x 69.8毫米FOV 远心的 （-L）[3] |
1064纳米波长 百毫米焦距 61.6 x 61.6毫米FOV 远心的 (16种)[3] |
1064纳米波长 百毫米焦距 44.0 x 44.0毫米FOV 远心的 （-L） |
- | |
| 160毫米 | 1064纳米波长 焦距160毫米 107.6 X107.6毫米FOV 非远心 (l5) [3] |
1064纳米波长 160毫米焦距78.4 x 78.4毫米FOV 非远心 （-L7）[3] |
- | - | |
| 163毫米 | - | - | 1064纳米波长 163mm焦距 72.4 X72.4毫米FOV 非远心 (l5) [3] |
- | |
| 163毫米远心的 | 1064纳米波长 163mm焦距 92.0 x 92.0毫米FOV 远心的 （-L6） |
1064纳米波长 163mm焦距 85.2 X85.2毫米FOV 远心的 (18) |
1064纳米波长 163mm焦距 71.6 x 71.6 mm FOV 远心的 （-L6） |
- | |
| 170毫米 | - | 1064纳米波长 170毫米焦距 110.8 X110.8毫米FOV 非远心 (-L9) [3] |
- | - | |
| 200毫米 | - | - | - | 1064纳米波长 200mm焦距 68.0 x 68.0毫米FOV 非远心 (l2) [3] |
|
| 255毫米 | - | - | 1064纳米波长 255毫米焦距 154.2 x 154.2 mm FOV 非远心 （-L7）[3] |
1064纳米波长 255毫米焦距 91.6 X91.6毫米FOV 非远心 (l3) [3] |
|
| 500毫米 | - | - | - | 1064纳米波长 500毫米焦距 233.2 X233.2毫米FOV 非远心 （-L） |
|
| 1030海里 | 100毫米远心的 | 1030 nm波长 百毫米焦距 41.6 X41.6毫米FOV 远心的 （-L7） |
1030 nm波长 百毫米焦距 34.8 x 34.8毫米FOV 远心的 （-L 10 -R） |
- | - |
| 163毫米远心的 | 1030 nm波长 163mm焦距 92.0 x 92.0毫米FOV 远心的 (18) |
1030 nm波长 163mm焦距 85.0 x 85.0毫米FOV 远心的 （-L11） |
- | - | |
| 532海里 | 100毫米 | 532 nm波长 百毫米焦距 57.2 x 57.2 mm FOV 非远心 (-L9) [3] |
- | - | - |
| 100毫米远心的 | 532 nm波长 百毫米焦距 64.6 x 64.6 mm FOV 远心的 （-L 10 -R）[3] |
532 nm波长 百毫米焦距 57.0 X57.0毫米FOV 远心的 （-L12）[3] |
- | - | |
| 160毫米 | 532 nm波长 焦距160毫米 107.0 x 107.0毫米FOV 非远心 (不断化解)[3] |
532 nm波长 焦距160毫米 77.2 x 77.2 mm FOV 非远心 （-L13）[3] |
- | - | |
| 163毫米远心的 | 532 nm波长 163mm焦距 79.6 x 79.6毫米FOV 远心的 （-L12） |
532 nm波长 163mm焦距 66.0 X66.0毫米FOV 远心的 (-L14) |
- | - | |
| 170毫米 | - | 532 nm波长 170毫米焦距 103.8 x 103.8毫米FOV 非远心 (课时)[3] |
- | - | |
| 255毫米 | - | - | 532 nm波长 255毫米焦距 148.0 x 148.0 mm FOV 非远心 （-L8）[3] |
- | |
| 515海里 | 100毫米远心的 | 515 nm波长 百毫米焦距 41.4×41.4毫米FOV 远心的 (-L13) |
515 nm波长 百毫米焦距 34.6 x 34.6 mm FOV 远心的 (-L16) |
- | - |
| 163毫米远心的 | 515 nm波长 163mm焦距 79.2 x 79.2 mm FOV 远心的 (-L14) |
515 nm波长 163mm焦距 65.8 X65.8毫米FOV 远心的 (-L17) |
- | - | |
| 355海里 | 53毫米远心的 | 355纳米波长 53毫米焦距 17.2 X17.2毫米FOV 远心的 (课时) |
355纳米波长 53毫米焦距 8.2 x 8.2 mm FOV 远心的 (就是) |
- | - |
| 100毫米远心的 | 355纳米波长 百毫米焦距 51.6 X51.6毫米FOV 远心的 (-L16) |
- | - | - | |
| 160毫米 | 355纳米波长 焦距160毫米 92.4 X92.4毫米FOV 非远心 (-L17) |
- | - | - | |
| 163毫米远心的 | 355纳米波长 163mm焦距 80.8 x 80.8毫米FOV 远心的 (就是) |
355纳米波长 163mm焦距 74.6 X74.6毫米FOV 远心的 (由于) |
- | - | |
| 255毫米 | 355纳米波长 255毫米焦距 143.0 X143.0毫米FOV 非远心 (由于) |
355纳米波长 255毫米焦距 119.4 x 119.4毫米FOV 非远心 （-L20） |
- | - | |
| 343海里 | 53毫米远心的 | - | 343 nm波长 53毫米焦距 8.0×8.0毫米FOV 远心的 （-L21） |
- | - |
| 163毫米远心的 | - | 343 nm波长 163mm焦距 74.0 X74.0毫米FOV 远心的 （-L22） |
- | - | |
| 255毫米 | - | 343 nm波长 255毫米焦距 118.4 x 118.4毫米FOV 非远心 （-L23） |
- | - |
笔记：
- 假设输入光束直径等于扫描头入口孔径1/e2高斯配置文件
- 报告的场大小是基于零束晕实现的最小值。
- F-Theta镜头不推荐用于短脉冲激光(ps和fs脉冲持续时间)。请咨询工厂以获得与短脉冲激光兼容的镜头选项。
- 定制的涂料。详情请与工厂联系。