ATS100机械轴承，螺旋驱动线性级
描述
设计特点
- 长寿命直线导轨轴承系统
- 超细的分辨率
- 一体的波纹管waycovers
- 低调简洁的设计
- 包括无刷无槽电机
ATS100系列电机驱动的线性级提供高分辨率和可重复性要求的半导体晶圆测试和制造，自动化显微镜检查系统和精密微加工应用。
优秀施工特点
ATS100系列采用特殊铸造铝合金加工而成，具有高的强度重量比和长期稳定性。基础是一个盒子设计，提供了非凡的刚度和稳定性。
ATS100系列阶段采用精密研磨滚珠丝杠预加载，以消除游隙，并且其螺母具有雨刷，以防止污染和保持整个阶段的寿命精度高。高品质，预装双轴承用于消除轴向间隙。
所有的ATS100系列级结合线性运动指南(LMG)轴承提供高负荷能力和高刚度。LMG设计提供了一个紧凑的阶段，在整个行程中提供连续的车厢支持和良好的悬臂负载能力。轴承卡车上的整体式雨刷有助于确保舞台运行寿命。高度精确的光学限位开关和终端停止也是标准。
一体的波纹管型waycovers保护驱动和轴承系统不受污染。金属表面保护的有吸引力的清晰阳极氧化精加工。公制（标准）和英语安装和螺栓孔的图案可供选择。
精度高
ATS100在一个紧凑的封装中设置了精确性能的标准。-PL2选项,ATS100能够亚微米精度和令人印象深刻的0.3µm的可重复性。
电机和驱动器
包括在ATS100系列平台是Aerotech的BMS系列无刷旋转电机。这种电机具有所有的无刷电动机的优点 - 高加速度，无电刷磨损和下部加热 - 但具有零齿槽为极为平滑的运动和准确性。的Aerotech制造多种匹配驱动和控制，以提供一个完全集成的和优化的运动的解决方案。
选项
标准选项包括用于多轴组件和真空制备〜10的精度直角支架-6托。
规范
ATS100规范
| 模型 | ATS100-050 | ats100 - 100 | ATS100-150 | ats100 - 200 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 旅行 | 50毫米 | 100毫米 | 150毫米 | 200毫米 | ||
| 最大的旅行速度(1) | 100毫米/ s的 | |||||
| 最大负载(2) | 横 | 25.0公斤 | ||||
| 垂直 | 10.0公斤 | |||||
| 侧 | 10.0公斤 | |||||
| 准确性 | 校准(3) | ±0.5µm | ±0.5µm | ±0.75µm | ±1.0µm | |
| 标准 | ±2.0微米 | ±3.0µm | ±5.0µm | ±6.0µm | ||
| 重复性（双向） | 校准(3) | ±0.3μm的 | ||||
| 标准 | ±0.7µm | |||||
| 直线度、平面度 | 微分 | HALSF | 1.0µm / 25毫米 | |||
| 标准 | 2.0µm / 25毫米 | |||||
| 最大 偏差 |
HALSF | ±0.5µm | ±1.0μm的 | ±1.5µm | ±1.75微米 | |
| 标准 | ±1.0µm | ±2.0微米 | ±2.0微米 | ±3.0微米 | ||
| 俯仰和偏航 | 5弧秒 | 8弧秒 | 10弧秒 | 12弧秒 | ||
| 标称重量期 | 更少的汽车 | 1.6公斤 | 1.8公斤 | 1.9公斤 | 2.1公斤 | |
| 随着汽车 | 2.7公斤 | 2.9公斤 | 3.0公斤 | 3.2公斤 | ||
| 建设 | 铝制机身/舞台及工作台;清晰的阳极电镀完成 | |||||
- 过大的占空比可能会影响级的精度。
- 有效载荷规格单轴系统和基于滚珠丝杠和行程2500公里（亿英寸）轴承的使用寿命。
- 可用Aerotech控制器。
- 规格为单轴系统测量桌面以上25毫米。多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。
-
ATS100悬臂荷图 
维
订购信息
ATS100系列机械轴承螺杆驱动直线工作台
旅游(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -050 | 50毫米 |
| -100年 | 100毫米 |
| -150 | 150毫米 |
| -200年 | 200毫米 |
真空制备(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -HV | 高真空制备10-6托 |
桌面(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -TT1 | 桌面公制尺寸安装图案和孔 |
| -TT2 | 桌面用英语尺寸安装模式和孔 |
电动机(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| m1 | BMS60伺服电机W / 2500线编码器TTL |
| 平方米 | BMS60伺服电机w/2500线TTL编码器及抱闸 |
| m3 | BMS60伺服马达瓦特/ 1000行的1个VPP编码器 |
| m4 | BMS60伺服马达瓦特/ 1000行的1个VPP编码器和保持制动器 |
| m5 | BM75伺服电机w/2500线TTL编码器 |
| m6 | BM75伺服电机w/2500线TTL编码器及抱闸 |
| m7 | BM75伺服电机w/1000线1 Vpp编码器 |
| m8 | BM75伺服马达w/1000线1 Vpp编码器和抱闸 |
| m9 | SM60步进电机，SM60-CN1-VT2 |
| -M10 | SM60步进电机瓦特/保持制动器，SM60-CN1-VT2-BK |
监听(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -FB1 | 折返试剂盒0.250英寸直径的轴23 NEMA马达 |
| -FB2 | 用于。250英寸直径轴NEMA 23电机的折叠背衬组件/制动器 |
运动方向(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -2 | 底部电缆出口，可选定向 |
| -3 | 左侧电缆出口，标准方向 |
| -4 | 顶部电缆出口，可选方向 |
| -5 | 右侧电缆出口，可选定向 |
| -8 | 右侧折返，标准方向 |
| -12年 | 左侧可折叠，可选方向 |
限制(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -LI1 | 正常闭合限位开关，9脚D型连接器 |
| -LI2 | 常闭限位开关;飞线 |
| 李 | 常开限位开关，9针连接器d |
| 合谷 | 常开限位开关，飞线 |
连接器（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| cp1 | 0.250英寸直径轴的联轴节 |
| -CP2 | 0.375英寸直径轴的联轴节 |
安装板(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -MP1 | 安装板,规 |
| -MP2 | 安装板，英文 |
计量(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| pl1 | 计量，具有性能地块未校准 |
| -PL2 | 计量，校准（HALAR）与性能曲线 |
计量- HALSF(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL5 | 计量，水平/垂直直线度校正（HALSF） |
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 助教 | 集成 - 测试的系统 将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。 |
附件(作为单独的行项目订购)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| ALIGN-NPA | 非精密组装XY |
| ALIGN-NPAZ | 非精密XZ或YZ组装 |
| ALIGN-PA10 | XY组件;10弧秒的正交性。对齐在7微米正交的短行程阶段。 |
| ALIGN-PA10Z | 带l形支架的XZ或YZ总成;10角秒正交性。短行程级对准到10微米内的正交角。 |
| ALIGN-PA5 | XY组件;5弧秒的正交性。排列在3个微米正交的短行程阶段。 |
| ALIGN-PA5Z | 带l形支架的XZ或YZ总成;5弧秒的正交性。对齐至5微米正交的短行程阶段之内。 |
| HDZ1 | 英国直角L形托架;只适用于ATS100-050及ATS100-100 |
| HDZ1L | 英国直角L形托架;只适用于ATS100-150及ATS100-200 |
| HDZ1M | 公制直角l形支架;只适用于ATS100-050及ATS100-100 |
| HDZ1LM | 公制直角l形支架;只适用于ATS100-150及ATS100-200 |