ATS150机械轴承，丝杠驱动的直线运动平台

描述

设计特点

  • 长寿命直线运动导引轴承系统
  • 超精细分辨率
  • 一体的波纹管waycovers
  • 低调的紧凑型设计
  • 亚微米精度
  • 可选高精度线性编码器

在ATS150系列滚珠丝杠驱动的线性阶段提供高分辨率和用于半导体晶圆测试和制造所需的可重复性，自动显微镜检查系统和精密微加工应用。

结构特点

ATS150串联级是从一个特殊的铸造铝合金加工，以提供高的强度 - 重量比和长期稳定性。所述碱为箱设计，其提供优异的刚度和稳定性。

ATS150系列阶段采用精密研磨滚珠丝杠被预加载，以消除游隙，并且其螺母具有雨刷，以防止污染和保持整个阶段的寿命精度高。高品质，预装双轴承用于消除轴向间隙。

所有的ATS150系列平台集成了线性运动指南（LMG）轴承提供高负载能力和高刚度。的LMG设计提供了具有连续滑架支承在整个行程和良好的悬臂负载能力的小型的阶段。在轴承货车积分雨刷帮助确保舞台的旅行生活。高度精确的光学限位开关和端部挡块也是标准。

一体的波纹管型waycovers保护驱动和轴承系统不受污染。金属表面保护的有吸引力的清晰阳极氧化精加工。公制（标准）和英语安装和螺栓孔的图案可供选择。

线性编码器

非接触式线性编码器A的精度是一个选项。该编码器被安装到内部的阶段，保护它免受外部污染物和碎屑。

电机和驱动器

包括所有ATS150系列平台是Aerotech的BMS系列无刷旋转电机。这种电机具有所有的无刷电动机的优点 - 高加速度，无电刷磨损和下部加热 - 但具有零齿槽为极为平滑的运动和准确性。的Aerotech制造多种匹配驱动和控制，以提供一个完全集成的和优化的运动的解决方案。

产品规格

ATS150规格

模型 ATS150-100 ATS150-150 ATS150-200 ATS150-250
总行程 100毫米 150毫米 200毫米 250毫米
驱动系统 超精密研磨滚珠螺杆/无刷伺服电机（BMS60-A-D25-E1000H）
母线电压 高达160 VDC
连续电流 一个PK 高达2.3
一个RMS 高达1.6 A
反馈 非接触式旋转编码器（1000线）/可选高精度线性编码器
解析度 旋转编码器 为0.5μm@ 4000步/转电机分辨率
-E1线性编码器 0.001微米 - 0.2微米 N / A N / A
最高行驶速度 115毫米/ s的
最大负载（2） 横 45.0公斤
垂直 25.0公斤
侧 25.0公斤
准确性 旋转编码器 校准（3） ±1.0μm的
标准 + 2，-4微米 + 2，-5微米 + 2，-8微米 + 2，-10微米
-E1线性编码器 校准（3） ±1.0μm的 N / A N / A
标准 ±5.0微米 N / A N / A
重复性（双向） 旋转编码器 校准（3） ±0.5微米
标准 ±1.0μm的
-E1线性编码器 ±0.5微米 N / A N / A
直度 微分 -PL5（HALSF） 为1μm/ 25mm以上
标准 为2μm/ 25mm以上
最大
偏差		 -PL5（HALSF） ±1.0μm的 ±1.5微米 ±2.0微米 ±3.0微米
标准 ±2.0微米 ±3.0微米 ±4.0μm的 ±5.0微米
俯仰和偏航 8弧秒 10弧秒 12弧秒 14弧秒
标称重量期 少电机 6.2公斤 6.8公斤 6.9公斤 7.4公斤
随着汽车 7.3公斤 7.9公斤 8.0公斤 8.5公斤
施工 全铝车身/舞台和表;本色阳极氧化处理完成
  1. 过度的占空比可能会影响精度。
  2. 有效载荷规范是用于单轴系统和基于滚珠丝杠和行进2500公里轴承寿命。
  3. 可用Aerotech控制器。
  4. 规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
  • ATS150

外形尺寸

订购信息

ATS150系列机械轴承丝杠驱动的直线运动平台

旅游（必填）

选项 描述
-100 100毫米
-150 150毫米
-200 200毫米
-250 250毫米

真空制备（必需）

选项 描述
-HV 高真空制备10-6托

直接线性反馈（必填）

选项 描述
-E1 高精度增量线性编码器;1 VPP
    仅在100和150mm行进可用线性编码器选项

桌面（必需）

选项 描述
-TT1 桌面公制尺寸安装图案和孔
-TT2 桌面用英语尺寸安装模式和孔

滚珠丝杠（必填）

选项 描述
-BS1 2毫米/转精密研磨滚珠丝杠

电机（可选）

选项 描述
-M1 BMS60伺服电机W / 2500线编码器TTL
-M2 BMS60伺服马达瓦特/ 2500行TTL编码器和保持制动器
-M3 BMS60伺服马达瓦特/ 1000行的1个VPP编码器
-M4 BMS60伺服马达瓦特/ 1000行的1个VPP编码器和保持制动器
-M5 BM75伺服电机W / 2500线编码器TTL
-m6 BM75伺服马达瓦特/ 2500行TTL编码器和保持制动器
-M7 BM75伺服马达瓦特/ 1000行的1个VPP编码器
-M8 BM75伺服马达瓦特/ 1000行的1个VPP编码器和保持制动器
-M9 SM60步进电机，SM60-CN1-VT2
-M10 SM60步进电机瓦特/保持制动器，SM60-CN1-VT2-BK

返送（可选）

选项 描述
-FB1 折返试剂盒0.250英寸直径的轴23 NEMA马达
-FB2 折返试剂盒瓦特/制动器0.250英寸直径的轴23 NEMA马达

汽车方向（可选）

选项 描述
-2 底部电缆出口，可选定向
-3 左侧的线缆出口，标准方向
-4 顶部电缆出口，可选定向
-5 右侧电缆出口，可选定向
-8 右侧折返，标准方向
-12 左侧折返，可选定向

限制（必需）

选项 描述
-LI1 常闭限位开关;9针连接器d
-LI2 常闭限位开关;飞线
-LI3 常开限位开关;9针连接器d
-LI4 常开限位开关;飞线

连接器（可选）

选项 描述
-CP1 耦合为0.250英寸直径的轴
-CP2 耦合为0.375英寸直径的轴

计量（可选）

选项 描述
-PL1 计量，具有性能地块未校准
-PL2 计量，校准（HALAR）与性能曲线

计量 - HALSF（可选）

选项 描述
-PL5 计量，水平/垂直直线度校正（HALSF）

集成（必需）

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。

选项 描述
μ-TAS 集成 - 测试的系统
测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。

配件（订购作为单独的行项目）

选项 描述
ALIGN-NPA 非精密组装XY
ALIGN-NPAZ 非精密XZ或YZ组件
ALIGN-PA10 XY组件;10弧秒的正交性。对齐在7微米正交的短行程阶段。
ALIGN-PA10Z XZ或YZ与L形托架组件;10弧秒的正交性。对准在10微米正交的短行程阶段。
ALIGN-PA5 XY组件;5弧秒的正交性。排列在3个微米正交的短行程阶段。
ALIGN-PA5Z XZ或YZ与L形托架组件;5弧秒的正交性。对齐至5微米正交的短行程阶段之内。
HDZ2 英国直角L形托架;对于ATS150-100和ATS150-150只
HDZ2M 公制直角L形托架;对于ATS150-100和ATS150-150只