与业界的减少节点的尺寸调整你的检测和计量流程和吞吐量利用我们的运动控制技术的要求更高。新万博英超h我们的工程团队将与您一起选择，设计和部署对您的工艺要求面向的解决方案。下面是一些我们擅长的领域：
- 测量薄膜
- 光学式晶圆检查（缺陷检测，计量，缺陷检查，临界尺寸）
- 电子/离子束检测
- 显微镜（扫描电子显微镜（SEM），原子力显微镜（AFM））
- 光罩/掩模检查
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快速修复 - 更好的控制 即使你的定位机制是不理想A3200运新万博英超h动控制器和高级驱动器硬件可以提高你的系统的运动能力。我们的控制器不仅艾特航空机械师也由其他供应商提供第三方设备运行良好。对于一个快速和可靠的方式来提高你的进程尝试我们的控制系统技术。 |
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硅片台 - 串行堆积选项
- 您的工艺要求，使我们能够引导你走向一个阶段组件工作。我们能帮你：
- 拧紧误差预算和公差
- 提高机器产能
- 增加有效载荷能力
- 纳米级的稳定性和增量运动位置
- 添加旋转和升降级的自动化程度更高的自由度和赔偿
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晶圆阶段 - 低配置文件选项
- 你的机器可能需要紧凑的运动控制。新万博英超h我们能帮你：
- 配合力学到固定体积
- 通过降低阶梯高度降低工作点错误
- 通过使用开放式框架孔设计从晶片下面处理
- 具有优良的几何性能的位置。包括改进的平直度和运动的平坦度。
- 添加旋转和升降级的自动化程度更高的自由度和赔偿
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集成晶片阶段和计量 艾特航空技术提供适合于最先进的晶圆处理系统。以除去大部分运动引起的晶片平面定位误差我们部署加上直接激光干涉平面空气轴承运动系统。
- 空气轴承提供最佳的几何性能
- 激光干涉去除归因于运动平面与晶片平面之间的偏移误差
- 来自激光器的反馈信号被直接馈送到我们的控制器允许我们位置准确且可重复地
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更好地集中 - 光学聚焦模块 检查过程很少在晶片台上单独的铰链。我们帮助客户提高他们的重点模块以及。我们提供以下内容：
- 改善的稳定性，递增步长的功能，和步骤和沉降运动
- 各种技术和形式因素，以满足您的光学有效载荷和工艺要求
- 亚纳米定位为最薄的成像层的
- 快速直接驱动技术时吞吐量储蓄事项每毫秒
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先进的制造能力
- 让我们为您提供清洁，可靠的运动控制设备新万博英超h
- 我们利用组装阶段和计量大型洁净室设备
- 清洁到ISO 14644-1 CLASS 6
- 细胞具体到ISO 5级
- 专用产品转移和装袋区
- 这也是用于组件的理想环境，要求真空定位设备的测试
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