ABS2000直接驱动主轴

描述

设计特点

  • 低损耗无刷伺服电机
  • 仪器级精度
  • 非接触式空气轴承
  • 平衡，以ISO 1940摹0.4
  • 在高速分弧秒分辨率
  • 自定义配置可用
  • 非常适合于数据存储、晶圆加工、金刚石车削和成像
Aerotech的ABS系列直接驱动的空气轴承心轴被设计成提供一种用于应用，包括数据存储，晶片处理，金刚石车削，和成像优越角度定位和速度控制。

优越的机械设计
所述ABS2000利用精密研磨空气轴承，以提供特殊的转动准确度具有非常高的刚度。这种设计允许较大的负荷容量和优异的性能在宽范围的操作速度。该ABS2000是平衡的，以ISO 1940摹0.4公差。

损耗低，不影响直驱电机
Aerotech自定义设计的低损耗电机产生>0.25 N-m(38盎司-英寸)的连续扭矩，电机损耗可忽略不计，无需散热片和/或外部冷却。无影响电机的设计最大限度地减少了寄生力在电机，提供了异常高水平的误差运动性能。这些电机具有无刷直接驱动电机的所有优点-无刷磨损，高加速度和高速度。

精确定位
Aerotech主轴的速度纹波<0.1%，异步误差运动=20 nm，总误差运动<100 nm，为高精度应用提供了优越的性能。高性能电机和旋转编码器直接耦合到一个共同的轴。当与Aerotech一起使用时A3200控制器和Npaq®驱动器架主轴分辨率可高达与没有速度的权衡0.05弧秒。这使得主轴适用于需要两个主轴操作和阶段的操作应用。

灵活的配置
各种编码器的分辨率，以及一种用于真空供应的可选新万博最新版本旋转接头，是可用的。其他选项包括机械或真空卡盘配置，接地球，和光学器件的安装。替代更高的转矩电机可用。的Aerotech制造广泛范围的伺服放大器和高级控制器以提供一个完整的，集成的运动包。

产品规格

ABS2000规范

基本模型 ABS2000
发动机 SF75-21-2X
连续电流，失速 一个pk 2.25
一个rms 1.6 A
反馈 直接耦合旋转编码器
决议 256 - 2048行/转速;其他可用行数
额定转速（1） 6000转
最大负载 径向 66ñ
轴向 178ñ
惯性（空载） 0.0015公斤·米2
同步误差运动（2） 径向 <100nm的
轴向 <100nm的
异步错误运动（2） 径向 20纳米
轴向 20纳米
速度脉动 <0.1％以6000rpm
平衡等级（3） ISO 1940摹0.4
轴承刚度 径向 50 N /微米
轴向 140 N /微米
块 6.0公斤
运营压力（4） 120磅
空气消耗量（5） <2 SCFM
材料 轴 钢
住房 铝（钢可用）
完成 化学镀镍或黑色硬质涂料可用
  1. 基于阶段能力最大速度;最大应用速度可由系统的数据速率和系统分辨率的限制。
  2. 关于与旋转接头选项ABS2000运动误差咨询艾特。
  3. 每ISO 1940，“机械振动 - 刚性转子的平衡质量要求”。
  4. 直列压力开关拴到运动控制器建议，以防止下压空气轴承。新万博英超h
  5. 空气供应必须保持清洁，干燥至0°F露点，并过滤到0.25微米或更好。建议在氮气纯度为99.9％。
  • ABS2000误差运动

外形尺寸

订购信息

排序的例子

ABS2000 e6 -RU1 -TAC

ABS2000高速空气轴承主轴选项

位置传感器选项

选项 描述
e1 256线/转直接耦合的旋转编码器
e2 512线/转直接耦合的旋转编码器
e3 1000线/转直接耦合的旋转编码器
e4 1024行/转直接耦合的旋转编码器
e5 2000行/转直接耦合的旋转编码器
e6 2048行/转直接耦合的旋转编码器

其他选项

选项 描述
-RU1 单端口旋转接头

集成（必需）

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。

选项 描述
μ-TAS 集成测试系统
测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。