描述
设计特点
- 长寿命直线导轨轴承系统
- 亚微米闭环定位
- 低成本、高性能的阶段
- 6, 13和25毫米的旅行模式
- 精密研磨滚珠丝杆
- 积分或可移动电机
Aerotech公司的AVS100/AVSI100系列级提供了一种解决方案,用于在水平面上需要非常小的增量运动的应用。低轮廓和精确的运动能力使这些阶段理想的用于半导体晶圆检验和测试,光纤装配和检验,自动化工具对准,机器视觉检验系统,和激光加工应用。
AVSI100系列阶段提供相同的性能,AVS100阶段,但在一个更小的足迹。AVSI100集成了电机直接与驱动螺钉没有电机耦合。这使得舞台的长度明显缩短。
质量设计性能优越,
AVS100/AVSI100系列提供了垂直平面上精确的载荷高程。将精密地滚珠丝杆的旋转运动转换为AVS100/AVSI100系列台面的垂直高度。
密封直线运动导向轴承与积分雨刷结合,提供良好的负载能力,长寿命,平稳,精确的运动。保证平台垂直平稳平行运动,不摇摆、不水平偏移。
细心的机械设计允许AVS100 / AVSI100系列达到亚微米级的分辨率,并仍然保持紧凑的轮廓。可选的HALAR工厂校准选项可用于进一步提高标准的精度和可重复性。
一个更好的方法,以垂直运动
垂直升降方式提供了一种替代传统的z平面导向阶段。AVS100/AVSI100系列不仅提供了一个较低的轮廓,而且负载也可以很容易地从任何一侧访问。通过使载荷在轴承上居中,没有悬臂效应。AVS100/AVSI100系列级提供了一个节省空间的替代传统的XYZ系统,同样适用于实验室和工业应用。可选择的阶段完成可用于各种环境,包括真空准备。
其他标准特性
所有AVS100/AVSI100系列级均配置标准配置的集成限位开关和机械硬停止装置。舞台桌面用聚四氟乙烯处理®-impregnated硬涂层(洛氏硬度62),其是耐刮擦,并提供在最恶劣的环境出色的保护。舞台本身具有黑色阳极氧化处理完成。
规范
AVS / AVSI100规范
模型 |
AVS100-06 / AVSI100-06 |
AVS100-13 / AVSI100-13 |
AVS100-25 / AVSI100-25 |
旅行 |
6毫米 |
13毫米 |
25毫米 |
驱动系统 |
精密滚珠螺杆/无刷伺服电动机 |
母线电压 |
高达160 VDC |
连续电流 |
一个PK |
2.3 |
一个RMS |
1.6 A |
解析度 |
用1000-线TTL编码 |
0.53µm @ 4000步/转速电动机分辨率 |
用1000-线1个VPP编码器 |
5.3纳米 - 0.106微米 |
2500行TTL编码 |
0.2µm @ 10000步/转速电动机分辨率 |
最大的旅行速度 |
50毫米/ s的 |
有效的领导 |
2.12毫米/牧师 |
最大负载(1) |
25.0公斤 |
准确性 |
未校准 |
±1.5µm |
±3.0微米 |
±5.0µm |
校准(2) |
±1.0µm |
双向可重复性 |
未校准 |
±1.0µm |
校准(2) |
±0.75µm |
直线度、平面度 (最大偏差) |
±1.5µm |
±3.0微米 |
±5.0µm |
俯仰和滚 |
±5弧秒 |
±7.5弧秒 |
±10弧秒 |
额定级重(带电动机) |
4.1公斤 |
6.1公斤 |
10.5公斤 |
建设 |
铝/黑色阳极电镀/硬盖表 |
维
订购信息
AVS100机械轴承螺旋驱动升降台
旅游(必填)
选项 |
描述 |
-06 |
6毫米的旅行 |
-13 |
13毫米旅游 |
-25 |
25毫米旅游 |
电动机(可选)
选项 |
描述 |
m1 |
BMS60伺服电机与2500线TTL编码 |
平方米 |
BMS60伺服电机2500行TTL编码器和保持制动器 |
m3 |
BMS60伺服电机1000行1 VPP编码器 |
m4 |
BMS60伺服电机1000线1 Vpp编码器和持有制动 |
m5 |
BM75伺服电机配2500线TTL编码器 |
m6 |
BM75伺服电机配置2500线TTL编码器和抱闸 |
m7 |
BM75伺服电机与1000线1 Vpp编码器 |
m8 |
BM75伺服电机带有1000line 1 Vpp编码器和抱闸 |
m9 |
SM60高电压步进电机 |
监听(可选)
选项 |
描述 |
-FB1 |
电机折叠式组件,用于直径为0.250英寸的轴 |
-FB2 |
电机折返套件制动为.250英寸直径的轴 |
运动方向(可选)
选项 |
描述 |
-2 |
海底电缆出口 |
-3 |
左侧出线(标准) |
-4 |
顶部电缆出口 |
-5 |
右侧电缆出口 |
-8 |
右侧折返 |
-12 |
左侧折返 |
限制(必需)
选项 |
描述 |
-LI1 |
常闭限位开关,9针d连接器 |
-LI2 |
常闭限位开关,飞线 |
-LI3 |
正常开启限位开关,9脚D型连接器 |
-LI4 |
正常开启限位开关,飞线 |
连接器(可选)
选项 |
描述 |
cp1 |
对于耦合0.250英寸直径的轴 |
-CP2 |
对于耦合0.375英寸直径的轴 |
计量(必需)
选项 |
描述 |
pl1 |
计量学,未用性能图校准 |
-PL2 |
使用性能图进行计量、校准(HALAR) |
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。
选项 |
描述 |
助教 |
集成 - 测试的系统 测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。 |
tac |
集成——作为组件进行测试 将单个项目作为离散组件进行测试和集成。这通常用于备品备件、替换件或不会一起使用或运输的物品(例如:阶段)。这些组件可能是一个更大的系统的一部分,也可能不是。 |
AVSI100机械,轴承综合电机螺杆驱动举升台
旅游(必填)
选项 |
描述 |
-06 |
6毫米的旅行 |
-13 |
13毫米旅游 |
-25 |
25毫米旅游 |
电动机(可选)
选项 |
描述 |
m1 |
BMS60伺服电机与2500线TTL编码 |
平方米 |
BMS60伺服电机2500行TTL编码器和保持制动器 |
m3 |
BMS60伺服电机1000行1 VPP编码器 |
m4 |
BMS60伺服电机1000线1 Vpp编码器和持有制动 |
运动方向(可选)
选项 |
描述 |
-3 |
左侧出线(标准) |
-5 |
右侧电缆出口 |
限制(必需)
选项 |
描述 |
-LI1 |
闭合限位开关 |
-LI3 |
常开限位开关 |
计量(必需)
选项 |
描述 |
pl1 |
计量学,未用性能图校准 |
-PL2 |
使用性能图进行计量、校准(HALAR) |
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。
选项 |
描述 |
助教 |
集成 - 测试的系统 测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。 |
tac |
集成——作为组件进行测试 将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分,也可能不是。 |