ATX165SL/SLE机械轴承，螺旋驱动线性级

描述

设计特点

  • 旅行长度可达250毫米，抗蠕变交叉滚子轴承
  • 可选中心安装线性编码器直接位置反馈
  • 通用的功能和选项，使方便地集成到一个更大的机器或使用作为一个独立的定位轴
  • 可提供真空和洁净室兼容的版本
  • 可与ThermoComp®在不断变化的环境中可靠的性能
Aerotech的ATX165SL和ATX165SLE线性定位级结合了高精度交叉滚轴轴承定位器的性能和滚珠丝杆驱动机构的方便和简单。卓越的运动性能和各种先进的选项和功能提供了卓越的价值，使ATX165SL/SLE成为高性能应用的最佳选择。

卓越的运动性能

ATX165SL/SLE具有抗蠕变交叉滚子轴承和精确接地、细节距滚珠丝杠，具有卓越的几何性能和最小的角度误差运动。ATX165SL/SLE最大公称行程可达250毫米，与使用循环球轴承的其他阶段相比，它提供了优越的最小增量步长和位置稳定性。这使得ATX165SL/SLE成为许多高精度任务的理想选择，如传感器和摄像机的垂直定位、光学聚焦、以及波束测量和操作应用。

线性编码器选项

ATX165SLE提供了一个整体中心安装的线性编码器，在舞台的移动支架上提供直接的位置测量。当使用线性编码器作为位置反馈装置时，通常与螺杆驱动器相关的典型齿隙效应实际上被消除了。需要精确的工作点性能的应用程序可以从ATX165SL的直接线性编码器中获得极大的好处。选项可与增量(1 Vpp和数字TTL)或绝对输出信号。

设计和集成的灵活性

所述ATX165SL / SLE被设计为具有各种标准的功能和可用的选项，允许其被容易地集成到更大的子系统或机，或用作独立的定位轴。它安装到两个公制和英制光学平台，并设有在移动台车到其它定位阶段或设备可安装在通用的客户安装接口。无刷无槽伺服电机，具有或不具有保持制动，以及步进马达，是可用的选项。所述ATX165SL / SLE可以以减少的阶段的总长度被配备有可选马达折返套件。这是在垂直轴应用中的空间是有限的特别有用的。真空和洁净室兼容型号也可提供。

同型Thermocomp减少温度误差®

在精密机械中，温度变化和热效应往往是最有害的误差来源，而螺杆传动尤其容易受到影响。所有atx系列的级均可使用Aerotech的ThermoComp®功能，这是一种集成的温度补偿解决方案，在热扰动存在的情况下提供准确和可靠的定位性能。它保护舞台不受变温环境和摩擦引起的自热的影响，最终为用户的过程提供稳定性，即使在极端的工业环境中。

产品规格

ATX165SL / SLE规格

机械规格 ATX165SL / ATX165SLE
旅行 150毫米 200毫米 250毫米
精度（1） SL 未校准 ±8微米 ±8微米 ±9μm的
校准（2） ±1微米 ±1微米 ±1微米
SLE 未校准 ±4微米 ±5µm ±6µm
校准（2） ±0.4微米 ±0.5微米 ±0.5微米
分辨率（最小增量运动） SL

0.05µm（3）
0.1微米（4）
SLE 0.025微米（-E1反馈选项）（6）
为0.1μm（-E2反馈选项）
0.2µm (e3反馈选项)
双向重复性（1） SL ±0.5微米
SLE ±0.15µm ±0.2微米 ±0.25µm
水平直线度（1） ±1.75µm ±2.0µm ±2.25微米
垂直直线（1） ±1.75µm ±2.0µm ±2.25微米
球场 80年µrad (16 arc-sec) 85微弧度（17弧秒） 90年µrad (18 arc-sec)
偏航 80年µrad (16 arc-sec) 85微弧度（17弧秒） 90年µrad (18 arc-sec)
最大速度（5） 伺服电机（-M1，-M2，-M5，-m6） 100毫米/秒
伺服电机（-M3，-M4，-M7，-M8） 130毫米/秒
步进电机(m9) 25毫米/ s的
装载能力 水平 40公斤
一边 25公斤
纵向(轴向) 20公斤
移动质量 3.4公斤 3.8公斤 4.1公斤
舞台质量(无电机) 12.3公斤 13.7公斤 15.0公斤
材料 阳极氧化铝
  1. 每个阶段的认证。
  2. 可用Aerotech控制器。
  3. 利用Aerotech旋转电机实现放大正弦编码器。规范是单向的。
  4. 用万线的Aerotech旋转马达实现/转数字编码器。规范是单向的。
  5. 需要选择一个适当的放大器与足够的电压和电流。
  6. 需要电机与1 Vpp放大正弦编码器(-M3， -M4， -M7， -M8电机选项)和线性放大器。
  7. 上市规格适用于非折返套件可供选择。当折返套件选件（-FBx）订购请联系工厂规范。

电气规格 ATX165SL / ATX165SLE
驱动系统 无刷旋转伺服电机(-M1至-M8)
步进电机(m9)
反馈（线性编码器 - SLE版本） 增量:1 Vpp (e1反馈选项)或0.05μm TTL (e2反馈选项)
绝对：2.2的EnDat（-E3反馈选项）
反馈（旋转编码器）

增量：10,000线TTL（-M1，-M2，-M5，-m6电机选项）
或1000线1 VPP（-M3，-M4，-M7，-M8马达选项）
最大总线电压 320 VDC
限位开关 5 V，常闭
  • ATX165SL图表

外形尺寸

订购信息

ATX165SL / SLE系列机械轴承，丝杠驱动的直线运动平台

直接线性反馈（必填）

选项 描述
SL 没有直接的线性反馈
SLE-E1 增量线性编码器，1 Vpp
SLE-E2 增量线性编码器,0.05µm数字TTL输出
SLE-E3 绝对线性编码器

旅游（必填）

选项 描述
-150 150毫米行程
-200 200毫米旅游
-250 250毫米行程

电机（可选）

选项 描述
-M1 BMS60无刷伺服电机和10000线TTL编码器
-M2 BMS60无刷伺服电机，10000线TTL编码器，刹车
-M3 BMS60无刷伺服电动机和1000行的1个VPP编码器
-M4 BMS60无刷伺服电机，1000line 1 Vpp编码器，刹车
-M5 BM75无刷伺服电机和10000线TTL编码器
-m6 BM75无刷伺服电机，10000行TTL编码器，刹车
-M7 BM75无刷伺服电动机和1000行的1个VPP编码器
-M8 BM75无刷伺服电机，1000线1 Vpp编码器，刹车
-M9 SM60步进电机，高压

返送设备(可选)

选项 描述
-FB1 折返试剂盒0.250英寸直径的轴23 NEMA马达（标准）
-FB2 折返试剂盒0.375英寸直径的轴23 NEMA马达

汽车方向（可选）

选项 描述
2 底部电缆出口，可选方向
3 左侧的线缆出口，标准方向
5 右侧电缆出口，可选方向
-8 右侧折返，标准方向
9 右侧折返与底部电缆出口，可选定向
-12 左侧折返，可选定向
-13 左侧折返与底部电缆出口，可选定向

连接器（可选）

选项 描述
-CP1 耦合为0.250英寸直径的轴
-CP2 耦合为0.375英寸直径的轴，需要BMS100 / BM130马达

提升硬件(可选)

选项 描述
-LF1 提手
-LF2 吊环

ThermoComp(可选)

选项 描述
tcmp 型Thermocomp集成热补偿

计量（必需）

选项 描述
-PL1 计量学，未用性能图校准
-PL2 用性能图校准(HALAR)的计量学

集成（必需）

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。

选项 描述
μ-TAS 集成—作为系统进行测试
测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。