ABL3600空气轴承直接驱动开架直线工作台
描述
设计特点
- 大光圈
- 所有轴上的全预紧力
- 双线性电机驱动的X轴和Y轴
- 高精度非接触式线性编码器
ABL3600双轴、大口径、开放式框架、空气轴承台满足了扫描显微镜、掩模和晶片检测的独特需求。
设计和施工
高刚度空气轴承和双线性电机驱动轴的组合提供了一个具有卓越性能的XY开放式框架舞台。ABL3600是对传统机械轴承开架阶段性能的重大提升。
与所有的Aerotech空气轴承系统一样，独特的制造技术用于生产具有无与伦比的几何特性的级，包括直线度、平直度、俯仰、滚动和偏航。ABL3600是在Aerotech最先进的生产设备中制造的，使用传统方法无法达到的精确公差进行加工。
无刷线性伺服电动机
ABL3600采用大功率直线电机，以满足最苛刻的应用需求。这导致在一个阶段与所有优势的直接驱动机制:零反弹，无发条，特殊的加速度，零摩擦和突出的伺服刚度。许多应用要求极端稳定的运动只能满足线性电机驱动。由于驱动系统具有零摩擦和无再循环元件，ABL3600是扫描、成像或任何其他精密应用的理想选择。
高精度线性编码器反馈
标准的反馈装置是一个高分辨率，非接触式，线性编码器。这种非接触式编码器提供了特殊的重复性和稳定的范围内的工作条件。数字和模拟输出版本都是可用的。
有线电视管理
多年的研究已经形成了业界公认的最好的电缆管理系统(CMS)。我们精心优化电缆弯曲半径，只使用最高质量的电缆，以确保多年的无故障运行。在不太可能发生的故障情况下，Aerotech的模块化设计使电缆更换快速、简单，停机时间最短。为了方便集成到最终的系统，我们在CMS包中包含了客户所需的所有电缆、空气软管等。两端完全连接，以便简单地集成到客户的机器中。
自定义设计
Aerotech已经设计和制造了定制的高性能系统，以满足客户的需求和各种应用程序的规范。我们可以借鉴超过35年的运动控制和定位系统经验，为您的应用提供理新万博英超h想的解决方案。
规范
ABL3600规范
| 基本模型 | ABL36025 | |
|---|---|---|
| 旅行 | 250毫米x250毫米 | |
| 驱动系统 | 线性无刷伺服电机(下轴:BLM-142-A;顶部轴:blm - 142 a) | |
| 总线电压 | 高达160伏直流电 | |
| 连续电流(桥架和龙门架轴) | 一个pk | 直到3.10 A |
| 一个rms | 直到2.19 A | |
| 反馈 | 非接触线性编码器 | |
| 决议 | 0.001µm - 0.2µm | |
| 最大的旅行速度(1) | 200毫米/秒 | |
| 最大线性加速度 | 0.25 g(空载) | |
| 最大负载(2) | 水平 | 30.0公斤 |
| 精度(3) | LN | ±1µm |
| 可重复性(3) | ±0.2µm | |
| 平直度 | 最大偏差 | ±0.5µm |
| 平面度 | 最大偏差 | ±1µm |
| 沥青/转 | 3弧秒 | |
| 偏航 | 0.5弧秒 | |
| 标称台重(包括整体花岗岩底座) | 1105公斤 | |
| 移动质量 | 上轴 | 37.3公斤 |
| 较低的轴 | 96.5公斤 | |
| 正交性 | 5弧秒 | |
| 操作压力(4) | 60psi (+0， - 5psi) | |
| 空气消耗量(5) | 66 SLPM (2.3 SCFM) | |
| 材料 | 铝 | |
| 完成 | 硬涂层(62洛氏硬度) | |
- 最大速度基于舞台能力;最大的应用程序速度可能受到系统数据速率和系统分辨率的限制。
- 基于承载能力的最大载荷;最大的应用程序负载可能受到加速度要求的限制。
- 可与航空技术控制器和HALAR校准选项。
- 为了保护空气轴承不受压力影响，建议在运动控制器ESTOP输入端安装一个在线压力开关。新万博英超h
- 空气供给必须清洁,干燥为0°F露点和过滤0.25µm或更好;建议氮的纯度为99.9%。
- 需要真空预加载。
- 规格为单轴系统，测量25毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。