说明

设计特点

• 大而清晰的光圈
• 行程范围从100 mm x 100 mm到400 mm x 400 mm
• 高性能直线导轨
• 15弧秒正交性
• 高精度非接触式线性编码器

ATS3600满足了高精度、鲁棒性、开框架级的要求。这种双轴大口径开框工作台满足了扫描显微镜、晶圆和印刷电路板检测以及自动化装配的独特需求。

设计与施工

与其他由几块独立部件组装而成的设计不同，ATS3600是一种三件式设计。这使得关键部件，如正交性，直线度和平面度在初始加工过程中得到控制，从而形成一个具有特殊几何公差和固有正交性的阶段。

ATS3600采用高精度直线导轨(LMG)轴承，每轴共四辆卡车。这使得ATS3600成为快速重复操作的理想选择。LMG轴承还表现出特殊的刚度，高负荷能力和极低的摩擦。

高刚度的固有在这一阶段允许它是侧驱动，但仍然保持良好的性能特点。ATS3600是典型侧驱阶段的主要性能升级。

电机和驱动器

ATS3600包括两个高性能的NEMA 23 BMS系列无刷无槽电机和一个SM60步进电机。这款电机具有无刷电机的所有优点——高加速度、无刷磨损、低发热——但为了最终的平稳运行，它没有齿轮。

可选线性编码器反馈

一个高分辨率，非接触式线性编码器可作为一个选项。这种非接触式编码器提供了特殊的重复性和稳定的范围内的工作条件。数字和模拟输出版本都是可用的。数字版本的分辨率0.1µm,而模拟版本,可以耦合实现µm-level决议。新万博最新版本

备用配置

所有的舞台旅行都提供单轴和双轴设计，以及选择一个坚实的桌面。

规范

ATS3600规范

1. 过大的占空比可能影响级的精度。
2. 有效载荷规格基于滚珠丝杠和2500公里（1亿英寸）行程的轴承寿命。
3. 可与Aerotech控制器一起使用。
4. 规格为单轴系统，测量25毫米以上的桌面。多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。

维

• 放大的图像

订购信息

ATS3600系列机械轴承带孔螺杆驱动直线工作台

电动机(可选)

限制(必需)

直接线性反馈(可选)

联轴节（可选）

计量(必需)

整合

Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望与您的系统自定义集成支持，请咨询Aerotech。