PlanarDLA二轴机械轴承直驱带孔级
描述
设计特点
- 集成的，低轮廓，XY，线性电机阶段，清净孔径
- 优秀的几何性能(±0.5µm平直度,平面度1.25±µm)
- 优化高动态应用
- 速度达到2m /s，加速到2g
- 集成线缆管理
- 大选择-九个模型在旅行和准确性
Aerotech的平面DLA-系列级在紧凑、低轮廓的封装中提供了清晰的孔径、高动态和卓越的几何性能。这些阶段对于从需要高动态和微米级直线度的双面LED晶圆片加工，到需要高精度和精确几何性能的准静态光学测量都是必不可少的。无论应用，平面DLA设计用于通过一系列可配置选项满足各种应用程序需求。
超精密的舞台设计
平达DLAXY设计提供了一种用于在直线度和运动的平坦度是关键的应用无与伦比平面几何性能。High-precision roller bearings, precision-machined surfaces, and noncontact direct-drive linear motors driving through the axes’ center-of-stiffness result in a positioning stage with exceptional geometric tolerances (straightness to ±0.5 µm and flatness to ±1.25 µm).
平达DLA结构元素是优化为高动态和高刚度的最苛刻的动态应用。用这种优化设计，平面DLA实现高伺服系统带宽，而在同一时间最大限度地提高通光孔径可用，整体高度保持在最低水平。能够实现2米/秒的速度和2g的加速度，所述平面的DLA能够实现高吞吐量、高精度的处理，从而获得更高的工艺良率和较低的总拥有成本。
非接触直接驱动技术
只有非接触式，直驱技术提供高速，再加上免维护，使用寿命长准确定位。在平面的心脏DLA是艾特航空专有的直接驱动技术。该驱动技术允许无与伦比的性能相比其他竞争螺杆型和线性马达设计。
所有的平面DLA阶段是可用的，每个为特定的应用和处理每个单独的轴的轴，允许优化的一个或两个电机。用两个电动机，所产生的驱动力作用，通过摩擦，并导致优异的几何性能和精度刚性的中心，而如果不要求高通量和最严格的定位性能每一个轴马达提供了更经济的选择。
电缆管理选项的品种
在平面标准的电缆管理系统DLA与舞台融为一体，优化设计，使用寿命长，性能好。对于附加的伺服轴、真空卡盘的空气/真空管路或其他工艺气动元件，有几种标准选项可供选择。
至尊定位性能
平达DLA有三种定位性能选项。凭借几十年的系统级设计经验，不仅包括定位力学，还包括软件和电子技术，Aerotech已经开发出先进的技术来推动精度的极限。高性能以上和超选项可以使精度和直线度值到±5µrad 500海里和正交性。
产品规格
机械规范
| 平面DLA-150年xy | 平面DLA-250年xy | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| -PL1 | -PL3（1,2） | -PL4（1,2） | -PL1 | -PL3（1,2） | -PL4（1,2） | |||
| 旅行 | 150毫米x150毫米 | 250毫米×250毫米 | ||||||
| 精度（2） | 单电机 | ±5.0微米 | ±0.7微米 | ±0.7微米 | ±6.0微米 | ±0.8µm | ±0.8µm | |
| 双马达 | ±4.0µm | ±0.4µm | ±0.4µm | ±5.0微米 | ±0.5微米 | ±0.5微米 | ||
| 双向重复性 | 单电机 | ±0.5微米 | ±0.5微米 | |||||
| 双马达 | ±0.25µm | ±0.25µm | ||||||
| 分辨率（最小增量运动）（3） | 3.0纳米 | 3.0纳米 | ||||||
| 直线 | 上轴 | -M1或-M3电机 | ±1.5微米 | ±1.5微米 | ±0.7微米 | ±2.0µm | ±2.0µm | ±0.7微米 |
| -M2或-M4电机 | ±1.0μm的 | ±1.0μm的 | ±0.5微米 | ±1.5微米 | ±1.5微米 | ±0.5微米 | ||
| 较低的轴 | -M1或-M2电动机 | ±2.5µm | ±2.5µm | ±0.7微米 | ±3.25微米 | ±3.25微米 | ±0.7微米 | |
| -M3或-M4电机 | ±2.0µm | ±2.0µm | ±0.5微米 | ±2.75µm | ±2.75µm | ±0.5微米 | ||
| 平面度 | ±1.25µm | ±1.75µm | ||||||
| 球场 | 39微弧度（8弧秒） | 58µrad(12秒弧) | ||||||
| 滚 | 39微弧度（8弧秒） | 58µrad(12秒弧) | ||||||
| 偏航 | 单电机 | 39微弧度（8弧秒） | 49µrad(10弧秒) | |||||
| 双马达 | 29µrad(6弧秒) | 39微弧度（8弧秒） | ||||||
| 正交 | 97微弧度 （20弧秒） |
24µrad (5弧秒) |
5微弧度 （1弧秒） |
97微弧度 （20弧秒） |
24µrad (5弧秒) |
5微弧度 （1弧秒） |
||
| 最大速度（4） | 1.5米/秒 | 2.0米/ s的 | ||||||
| 最大加速度 （无负载，上轴）（4） |
将1.0克（-M1或-M3马达） 将2.0g（-M2或-M4马达） |
将1.0克（-M1或-M3马达） 将2.0g（-M2或-M4马达） |
||||||
| 最大的力 - 连续，1.4巴（20 psi）的空冷 | 上轴 | 47 N（-M1或-M3马达） 94 N（-M2或-M4马达） |
120n (-M1或-M3电动机) 240 N（-M2或-M4马达） |
|||||
| 较低的轴 | 120n (-M1或-M2电动机) 240 N（-M3或-M4马达） |
250 N（-M1或-M2马达） 500n (-M3或-M4电机) |
||||||
| 装载能力（5） | 水平 | 20公斤 | 30公斤 | |||||
| 移动质量 | 上轴 | 4.3 kg (-M1或-M3电动机) 4.5 kg (-M2或-M4电机) |
6.9 kg (-M1或-M3电动机) 7.2公斤（-M2或-M4马达） |
|||||
| 较低的轴 | 18.1 kg (-M1电机) 20.0公斤（-M2马达） 18.5公斤（-M3马达） 20.6公斤（-M4马达） |
33.7 kg (-M1电机) 38.1 kg (-M2电机) 34.6公斤（-M3马达） 39.0 kg (-M4电机) |
||||||
| 阶段质量（6） | kg-36 30公斤 | 60公斤-67公斤 | ||||||
| 材料 | 黑色阳极氧化铝 | |||||||
| MTBF（平均故障间隔时间） | 30000小时 | |||||||
- -PL3和-PL4选项需要使用Aerotech控制器。
- 规格-PL1和-PL3的选择是每个轴测量25毫米以上的桌面。-PL4的规格是XY测量在桌面上方25毫米。
- 指定双转子电动机。联系工厂单电机布置。
- 要求选择适当的具有足够电压和电流的放大器。
- 在轴线的载荷进行定向上市。
- 级质谱是电机配置的函数。
| 平面DLA-330年xy | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| -PL1 | -PL3（1,2） | -PL4（1,2） | |||
| 旅行 | 330毫米X 330毫米 | ||||
| 精度（2） | 单电机 | ±8微米 | ±1µm | ±1µm | |
| 双马达 | ±6µm | ±0.7微米 | ±0.7微米 | ||
| 双向重复性 | 单电机 | ±0.5微米 | |||
| 双马达 | ±0.25µm | ||||
| 分辨率（最小增量运动）（3） | 3纳米 | ||||
| 直线 | 上轴 | -M1或-M3电机 | ±2.5µm | ±2.5µm | ±0.8µm |
| -M2或-M4电机 | ±2.0µm | ±2.0µm | ±0.6微米 | ||
| 较低的轴 | -M1或-M2电动机 | ±4.0µm | ±4.0µm | ±0.8µm | |
| -M3或-M4电机 | ±3.5微米 | ±3.5微米 | ±0.6微米 | ||
| 平面度 | ±2.5µm | ||||
| 球场 | 68微弧度（14弧秒） | ||||
| 滚 | 68微弧度（14弧秒） | ||||
| 偏航 | 单电机 | 58µrad(12秒弧) | |||
| 双马达 | 49µrad(10弧秒) | ||||
| 正交 | 97微弧度 （20弧秒） |
24µrad (5弧秒) |
5微弧度 （1弧秒） |
||
| 最大速度（4） | 2.0米/ s的 | ||||
| 最大加速度(空载，上轴)（4） | 将1.0克（-M1或-M3马达） 将2.0g（-M2或-M4马达） |
||||
| 最大的力 - 连续，1.4巴（20 psi）的空冷 | 上轴 | 173 N（-M1或-M3马达） 346 N（-M2或-M4马达） |
|||
| 较低的轴 | 302 N（-M1或-M2马达） 604 N（-M3或-M4马达） |
||||
| 装载能力（5） | 水平 | 50公斤 | |||
| 移动质量 | 上轴 | 13.4公斤（-M1或-M3马达） 14.0公斤（-M2或-M4马达） |
|||
| 较低的轴 | 57.0 kg (-M1电机) 65.3公斤（-M2马达） 58.1公斤（-M3马达） 66.5公斤（-M4马达） |
||||
| 阶段质量（6） | 93公斤 - 109公斤 | ||||
| 材料 | 黑色阳极氧化铝 | ||||
| MTBF（平均故障间隔时间） | 30000小时 | ||||
- -PL3和-PL4选项需要使用Aerotech控制器。
- 规格-PL1和-PL3的选择是每个轴测量25毫米以上的桌面。-PL4的规格是XY测量在桌面上方25毫米。
- 指定双转子电动机。联系工厂单电机布置。
- 要求选择适当的具有足够电压和电流的放大器。
- 在轴线的载荷进行定向上市。
- 级质谱是电机配置的函数。
电气规格
| 平面DLA | |
|---|---|
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电机 |
| 反馈 | 非接触式线性编码器 |
| 最大总线电压 | 340 VDC |
| 限位开关 | 5 V，常闭 |
| 家里的开关 | XY移动的中心附近 |
推荐控制器
| PlanarDLA | ||
|---|---|---|
| 多轴 | A3200 | NDRIVE CP Ndrive对待/NDRIVE HPE Npaq |
| 系综 | 乐团CP 乐团HLE/乐团HPE |
-
PlanarDLA情节 
外形尺寸
订购信息
平面DLA两轴机械，轴承直接驱动阶段，光圈
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 平面DLA-150年xy | 直线电机XY表w/开孔;150毫米x150毫米行程 |
| 平面DLA-250年xy | 直线电机XY表w/开孔;250毫米x250毫米行程 |
| 平面DLA-330年xy | 直线电机XY表w/开孔;330毫米x330毫米行程 |
电动机(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -M1 | 1个电机在下轴，1个电机在上轴 |
| -M2 | 1个电机下部轴，2个电机上上轴 |
| -M3 | 2个电机上下轴，1个电机上上轴 |
| -M4 | 2个电机上下轴，2个电机上上轴 |
反馈（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| e1 | 增量编码器，1 VPP上上部和下部轴 |
| e2 | 增量编码器，上轴0.1 um TTL，下轴1 Vpp |
| e3 | 增量编码器，1 Vpp在上轴，0.1 um TTL在下轴 |
| e4 | 增量编码器，上、下轴0.1 um TTL |
电缆枭雄（可选）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -CMS1 | 电缆管理用于空气/真空线 |
| -CMS2 | 电缆管理用于空气/真空管线和第三轴电动机/反馈 |
性能等级(必需)*
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -PL1 | 基本性能 |
| -PL3 | 高精度的性能,再加上 |
| -PL4 | 超高精度的2D性能，超 |
-
*注：-PL3和-PL4性能等级要求艾特航空控制器。
集成（必需）
| Aerotech提供标准和定制集成服务，帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成，或者您希望系统提供定制集成支持，请咨询Aerotech。 | |
| μ-TAS | 集成测试系统 将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| -TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。 |