PlanarDL两轴，机械轴承，直接驱动线性阶段
描述
设计特点
- 集成的，低轮廓，XY，线性电机阶段
- 优良的几何性能（直行到±0.4微米;平坦度为±1微米）
- 抗蠕变，精密交叉滚子轴承
- 大选择-九个模型在旅行和准确性
艾特航空的平面戴斯。莱纳姆:- 系列阶段提供在一个紧凑的，薄型封装优良的几何和动态性能。各种旅行和性能选项使该阶段的理想的应用范围从表面轮廓到LED晶片划片。
优越的舞台设计
的平面戴斯。莱纳姆:XY设计允许行业领先的平面几何性能在应用中，直线度和平直度的运动是至关重要的。高精度抗蠕变交叉滚子轴承，精密加工表面和Aerotech直线电机驱动通过轴的刚度中心，导致一个特殊的几何公差的定位阶段。
的平面戴斯。莱纳姆:结构元素优化高动态和高刚度要求的动态应用。能够达到1m /s的速度和1.5 g的加速度，平面戴斯。莱纳姆:能够实现高吞吐量、高精度的处理，从而获得优异的工艺成品率和较低的总拥有成本。与使用循环轴承的竞争性产品不同，本设计中使用的抗蠕变交叉滚子轴承允许平稳的运动，使其成为具有挑战性的扫描应用的理想阶段解决方案。
非接触直接传动技术
只有非接触式，直驱技术，提供高速并配上免维护，使用寿命长准确定位。在平面的心脏戴斯。莱纳姆:是Aerotech专有的直接驱动技术。这种驱动技术允许无与伦比的性能相比，其他竞争的螺旋和直线电机设计。
的平面戴斯。莱纳姆:-200XY和-300XY级均可提供一个或两个电机每轴，允许优化每个单独的轴为特定的应用和过程。无论选择多少个电机，产生的驱动力通过摩擦中心和刚度产生，从而获得优异的几何性能和精度。
电缆综合管理
平面上的电缆管理系统戴斯。莱纳姆:集成到舞台和优化为长寿命和性能。额外的标准选项可用于额外的伺服轴或真空卡盘或其他工艺气动的空气/真空管道。
极端的定位性能
的平面戴斯。莱纳姆:有三种定位性能选项。凭借数十年的系统级设计经验，不仅包括定位机制，还包括软件和电子技术，Aerotech已经开发出先进的技术来推动精度的极限。高性能的-PLUS和-ULTRA选项可使精度和直线度值下降到±400 nm，正交性下降到1角秒。
规范
机械规格
| 平面戴斯。莱纳姆:-100XY | 平面戴斯。莱纳姆:-200XY | 平面戴斯。莱纳姆:-300年xy | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 性能等级 | pl1 | -PL3(1) | -PL4(1) | pl1 | -PL3(1) | -PL4(1) | pl1 | -PL3(1) | -PL4(1) | |
| 旅行 | 100毫米x100毫米 | 200毫米x200毫米 | 300毫米×300毫米 | |||||||
| 准确性 | ±3 µm |
±0.4 µm |
±0.4 µm |
±4 µm |
±0.5 µm |
±0.5 µm |
±5 µm |
±0.75 µm |
±0.75 µm |
|
| 双向可重复性(2) | ±0.1µm | |||||||||
| 解析度 (最小增量运动) |
3海里 | |||||||||
| 平直度 | ±1微米 | ±0.4微米 | ±1.5µm | ±0.5µm | ±2µm | ±0.75µm | ||||
| 平整度 | ±1微米 | ±1.5µm | ±2µm | |||||||
| 沥青 | 12弧秒 | 15弧秒 | 18弧秒 | |||||||
| 卷 | 12弧秒 | 15弧秒 | 18弧秒 | |||||||
| 偏航 | 6弧秒 | 8弧秒 | 10弧秒 | |||||||
| 正交性 | 20弧秒 | 5弧秒 | 1角秒 | 20弧秒 | 5弧秒 | 1角秒 | 20弧秒 | 5弧秒 | 1角秒 | |
| 最大速度 | 500毫米/秒 | 750毫米/秒 | 1000毫米/秒 | |||||||
| 最大加速度 （无负载;上轴） |
将1.5g（无负载） | 1.0 g (x1电机) 将1.5g（X2马达） |
1.0 g (x1电机) 将1.5g（X2马达） |
|||||||
| 最大的力（连续） | 26 N | 31 N（X1马达） 62 N (x2电机) |
78 N（X1马达） 156 N (x2电机) |
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| 负载能力(3) | 横 | 15公斤 | 20公斤 | 30公斤 | ||||||
| 移动质量 | 上轴 | 2.9公斤 | 6.3 kg (-M1或-M3电动机) 7.4 kg (-M2或-M4电机) |
16.3公斤（-M1或-M3马达） 19.1公斤（-M2或-M4马达） |
||||||
| 下轴 | 8.4公斤 | 16.8公斤（-M1马达） 17.8 kg (-M2或-M3电动机) 19.0公斤（-M4马达） |
45.0 kg (-M1电机) 48.1 kg (-M2或-M3电机) 50.9公斤（-M4马达） |
|||||||
| 级质谱(4) | 11公斤 | 第23 - 25公斤 | 53 - 63公斤 | |||||||
| 材料 | 黑色阳极电镀铝 | |||||||||
| MTBF（平均故障间隔时间） | 30000小时 | |||||||||
- 该-PL3和-PL4选项需要使用艾特航空控制器。
- 重复性规范假定为20nm或更小的反馈分辨率。
- 轴上加载的方向列出。
- 级质谱是电机配置的函数。
- 为-PL1和-PL3选项规格是每轴线测量25毫米桌面的上方。对于-PL4规格XY测量25毫米桌面的上方。
电气规格
| 平面戴斯。莱纳姆:-100XY | 平面戴斯。莱纳姆:-200XY | 平面戴斯。莱纳姆:-300年xy | |
|---|---|---|---|
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电动机 | ||
| 反馈 | 非接触式线性编码器 | ||
| 最大总线电压 | 340 VDC | ||
| 限位开关 | 5v，常闭 | ||
| 首页开关 | 近中心XY旅行 | ||
推荐的控制器
| 多轴 | A3200 | Ndrive CP NDRIVE HLE/HPe Npaq |
| 合奏 | 乐团CP 整体对待/HPe |
|
| 单轴 | 独奏者 | 独奏CP 独奏HLE/HPe |
-
PlanarDL负荷曲线 
维
订购信息
平面戴斯。莱纳姆:两轴机械，轴承直接驱动线性阶段
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 平面戴斯。莱纳姆:-100XY | 两轴机械轴承直接驱动直线工作台，100×100毫米行程 |
| 平面戴斯。莱纳姆:-200XY | 两轴机械轴承直接驱动直线工作台，200×200毫米行程 |
| 平面戴斯。莱纳姆:-300年xy | 两轴机械轴承直接驱动直线工作台，300×300毫米行程 |
电机（必填） - 不适用于平面戴斯。莱纳姆:-100XY
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| m1 | 1个电机上轴;1个马达上下轴 |
| 平方米 | 2个电动机在上轴;1个马达上下轴 |
| m3 | 1个电机上轴;2个电机上下轴 |
| m4 | 2个电动机在上轴;2个电机上下轴 |
反馈(必需)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -E1 | 增量编码器，1 Vpp上下轴 |
| -E2 | 增量编码器，0.1μm的数字RS422在上轴，1个VPP上下轴 |
| -E3 | 增量编码器，1 VPP在上轴，0.1μm的数字RS422上下轴 |
| -E4 | 增量编码器，0.1μm的数字RS422上上部和下部轴 |
电缆管理(可选)
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -CMS1 | 空气/真空线的电缆管理 |
| -CMS2 | 空气/真空线和三轴电机/反馈的电缆管理 |
性能等级（必填）
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| pl1 | 基本性能 |
| -PL3 | 高精度性能，PLUS |
| -PL4 | 超高精度的2D性能，超 |
-
注：-PL3和-PL4性能等级要求艾特航空控制器。
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 助教 | 集成 - 测试的系统 测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。 |
| tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为一起发布的离散组件进行测试和集成。这通常用于备用零件、替换零件或不会一起使用的项目。这些组件可能是，也可能不是更大系统的一部分。 |