描述
设计特点
- 独特的Z级设计，采用全预装空气轴承
- 小于或等于±2弧秒滚动，俯仰和偏航在整个行程
- 亚微米闭环定位
- 旅行选择从50至150mm
- 精密地面滚珠螺杆传动，无需特殊的平衡装置
Aerotech公司的AirLift 115系列级提供了理想的解决方案，适用于需要非常严格的Z方向定位，同时在整个行程中保持非常严格的角性能的应用。应用领域包括半导体晶圆检验和测试、非接触式计量、光学检验系统和激光加工应用。
独特的设计
Aerotech公司的AirLift 115的设计是为了解决传统楔形垂直升降阶段的最大限制——角性能。尽管楔形Z型工作台提供了一个紧凑的工作平面下的解决方案，但它们通常具有有限的俯仰和滚动刚度，这限制了它们的角性能。AirLift 115独特的空气轴承设计，在更大的行程中提供优越的角性能，同时利用创新的驱动机制，消除了平衡机制的需求。
气升式115直接解决应用，其中：
- 对于传统楔形Z型台阶(如50毫米)来说，太大的行程范围要求有较好的角性能。
- 工作平面的无阻碍视图是必需的
- 足迹必须保持在最低限度
- 需要一个故障安全制动器
电机和驱动器
包括空运115系列阶段是Aerotech的BMS系列无刷旋转电机。这款电机具有无刷电机的所有优点——高加速度，无刷磨损和低加热——但却没有齿轮，运动极其平稳和准确。Aerotech生产广泛的匹配驱动器和控制器，提供一个完全集成和优化的运动解决方案。
规范
机械规范
| 模型 |
airlift115 - 050 |
AirLift115-100 |
AirLift115-150 |
| 旅行 |
50毫米 |
100毫米 |
150毫米 |
| 准确性(1) |
标准 |
±2.0微米 |
±4.0µm |
±6.0µm |
| 校准 |
±1.0µm |
±1.25微米 |
±1.5µm |
| 分辨率(最小增量运动) |
0.05微米 |
| 双向可重复性(1) |
±0.5µm |
| 平直度(2) |
±0.25微米 |
±0.35µm |
±0.45µm |
| 沥青(2) |
±1角秒 |
±1.25弧秒 |
±2弧秒 |
| 卷(2) |
±1角秒 |
±1.25弧秒 |
±2弧秒 |
| 偏航(2) |
±1角秒 |
±1.25弧秒 |
±2弧秒 |
| 最大速度 |
为5毫米/转 |
50毫米/ s的 |
| 最大加速度 |
0.25克 |
| 负载能力(3) |
垂直 |
15公斤 |
| 操作压力 |
80磅 |
| 耗气量 |
≤40 SLPM |
| 材料 |
铝 |
| MTBF（平均故障间隔时间） |
15000小时 |
电气规格
| 驱动系统 |
无刷旋转伺服电动机 |
| 反馈 |
非接触式线性编码器 |
| 最大总线电压 |
高达160 VDC |
| 限位开关 |
5v，常闭 |
推荐的控制器
-
AirLift115Spec
维
订购信息
115气轴承垂直平移阶段
旅行
| 选项 |
描述 |
| -050 |
50 mm旅行 |
| -100年 |
百毫米行程 |
| -150年 |
150毫米的旅行 |
电动机
| 选项 |
描述 |
| m1 |
带有连接器和制动器的无刷伺服电机 |
| 平方米 |
BMS100无刷伺服电机带连接器和制动器 |
电机方向
| 选项 |
描述 |
| -MT1 |
安装方向表面垂直于轴线的运动 |
| 是 |
取向面平行安装到轴运动 |
度量衡学
| 选项 |
描述 |
| pl1 |
计量，具有性能地块未校准 |
| -PL2 |
计量，校准（HALAR）与性能曲线 |
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。
| 选项 |
描述 |
| 助教 |
集成 - 测试的系统
将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
| tac |
集成——作为组件进行测试
将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分，也可能不是。 |
