FiberMaxHP多轴光电定位系统

描述

设计特点

  • 基于高性能蚂蚁纳米定位器的第二代光子学对准平台
  • 精度的运动的高达6个轴
  • 24/7生产的可靠性
  • 非接触式,直接驱动的所有轴,使高通量的路线
  • 最小增量运动到直线运动为2nm和0.05微弧度上旋转运动
  • 与标准的扫描算法和虚拟枢轴点运动学强大控制
  • 灵活的设计与很多标准的配置和选项
  • 接口到工业标准电能表

Aerotech FiberMax棉的®生命值表示在大批量制造和光电子组件的测试显著突破。该FIBERMAX生命值反映了超过40年的经验,在设计先进的定位系统,为原始设备制造商和最终用户在高科技行业。该FIBERMAX生命值是第二代的三到六轴光电子建立在Aerotech的ANT纳米定位的产品线定位平台。新万博英超h它是专为满足在高度自动化,全天候生产环境,在速度,精度和分辨率不妥协的关键光电子对准的苛刻需求。

甲高度可重复的,精确的,和工业级的定位系统是用于大批量制造和光电子组件的测试的基础。FIBERMAX生命值其高可靠性、独特的驱动和控制技术确保了在高产量、24/7的制造环境中多年的免维护服务。

超精密直接传动

随着新的硅光子学器件使对准公差变小,对高速高精度对准的要求变得至关重要。FIBERMAX生命值非接触直接驱动技术实现了高精度的定位不牺牲生产产量。能够最小增量运动向下至2nm加上速度400毫米/秒,FIBERMAX的生命值满足调整下一代光子学组件的挑战。

FiberMax采用的直接驱动技术生命值提供一个显著精度和吞吐量的优势超过其他对准平台。

强大的运动学和扫描程序

艾特航空与多种智能相机和机器视觉系统,以帮助控制器工作方便第一光。我们的动力伺服扫描算法可以被调用以通过设备耦合优化功率。标准扫描程序包括快速对齐,爬山,螺旋,和栅格搜索在多达六个运动轴。

我们先进的运动学启用虚拟枢轴点旋转可以在空间中的任何用户定义的点发生,而不是FIBERMAX的物理旋转点生命值轴。这有助于速度和主动对准的精确度。我们有一个广泛的软件和硬件选项,以满足您的特定需求。

灵活的系统配置

该FIBERMAX生命值可提供三至六轴的直接驱动校直轴,允许使用应用程序所需的确切轴数指定平台。由于许多应用程序需要手动调整夹具和零件一次初始对准,FiberMax生命值配有一个到三个轴的手动角度校准轴与±2°的运动。这些手动调节轴直接安装在直接驱动平台上,并在不经常需要调节时提供更经济的校准方法。

Aerotech拥有多年为光电子行业提供解决方案的经验。新万博最新版本我们意识到您的应用程序可能是唯一的,需要定制。该FIBERMAX生命值是一个模块化的设计,可以很容易地定制特殊安排的轴,夹具和安装模式,以满足您的具体应用程序的需要。

产品规格

FIBERMAX生命值产品规格

FIBERMAX生命值 -ZXY -ZXYT -ZXYR -ZXYP
旅行 X: 50毫米
Ÿ为3mm
Z:50毫米
X: 50毫米
Ÿ为3mm
Z:50毫米
T:20℃下
X: 50毫米
Ÿ为3mm
Z:50毫米
R: 20度
X: 50毫米
Ÿ为3mm
Z:50毫米
P: 20度
精度(2,3) 基本性能(-PL1) X:±3.0μm的
Y:±2.0μm的
Z:μm±3.5
X:±4.2微米
Y:±2.0μm的
Z:μm±4.7
T:±25微弧度
X:±4.2微米
Y:±2.0μm的
Z:μm±4.7
R:±90微弧度
X:±4.2微米
Y:±2.0μm的
Z:μm±4.7
警:±90微弧度
PLUS性能(-PL3) X:±300海里
Y:±200nm的
Z:±300nm的
X:±300海里
Y:±200nm的
Z:±300nm的
T:±8微弧度
X:±300海里
Y:±200nm的
Z:±300nm的
接待员:±30μrad
X:±300海里
Y:±200nm的
Z:±300nm的
警:±30微弧度
分辨率(最小增量运动) 2纳米 X / Y / Z: 2海里
T:0.05微弧度
X / Y / Z: 2海里
R:0.25微弧度
X / Y / Z: 2海里
病人:0.25微弧度
双向重复性(3) ±150nm的 X / Z:±175海里
Y:±150海里
T:μrad±3.5
X / Z:±175海里
Y:±150海里
R:±18微弧度
X / Z:±175海里
Y:±150海里
警:±18微弧度
最大速度(4) X:400毫米/秒
Y:75毫米/ s的
Z:为200mm / s
X:400毫米/秒
Y:75毫米/ s的
Z:为200mm / s
T: 120度/秒
X:400毫米/秒
Y:75毫米/ s的
Z:为200mm / s
R:150度/秒
X:400毫米/秒
Y:75毫米/ s的
Z:为200mm / s
150度/秒
承载量(5) 2公斤 1.5公斤 1.5公斤 1.5公斤
级质谱 6.0公斤 7.5公斤 6.5公斤 6.5公斤
材料 阳极电镀铝
平均故障间隔时间 30000小时

笔记:

  1. 所列的值是每轴线测量20毫米关闭顶部安装的平台。
  2. 需要艾特航空控制器。
  3. 经各系统认证。
  4. 需要选择一个适当的放大器与足够的电压和电流。
  5. 在轴线的载荷。

FIBERMAX生命值 -ZXYTR -ZXYTP -ZXYTPR
旅行 X: 50毫米
Ÿ为3mm
Z:50毫米
T:20℃下
R: 20度
X: 50毫米
Ÿ为3mm
Z:50毫米
T:20℃下
P: 20度
X: 50毫米
Ÿ为3mm
Z:50毫米
T:20℃下
P: 20度
R: 20度
精度(2,3) 标准 X:μm±5.5
Y:±2.0μm的
Z:±6.0μm的
T:±25微弧度
R:±90微弧度
X:μm±5.5
Y:±2.0μm的
Z:±6.0μm的
T:±25微弧度
警:±90微弧度
X:μm±6.5
Y:±2.0μm的
Z:μm±7.0
T:±25微弧度
P / R:±90微弧度
+ X:±350海里
Y:±200nm的
Z:±350nm的
T:±8微弧度
接待员:±30μrad
X:±350海里
Y:±200nm的
Z:±350nm的
T:±8微弧度
警:±30微弧度
X:±400海里
Y:±200nm的
Z:±400nm的
T:±8微弧度
P / R:±30微弧度
分辨率(最小增量运动) X / Z:3纳米
Y:2纳米
T:0.05微弧度
R:0.25微弧度
X / Z:3纳米
Y:2纳米
T:0.05微弧度
病人:0.25微弧度
X / Z:4纳米
Y:2纳米
T:0.05微弧度
P / R: 0.25μrad
双向重复性(3) X / Z:±200nm的
Y:±150海里
T:μrad±3.5
R:±18微弧度
X / Z:±200nm的
Y:±150海里
T:μrad±3.5
警:±18微弧度
X / Z:±250海里
Y:±150海里
T:μrad±3.5
P / R:±18μrad
最大速度(4) X:400毫米/秒
Y:75毫米/ s的
Z:为200mm / s
T: 120度/秒
R:150度/秒
X:400毫米/秒
Y:75毫米/ s的
Z:为200mm / s
T: 120度/秒
150度/秒
X:400毫米/秒
Y:75毫米/ s的
Z:为200mm / s
T: 120度/秒
P / R:150度/秒
承载量(5) 1公斤 1公斤 1公斤
级质谱 8.0公斤 8.0公斤 9.0公斤
材料 阳极电镀铝
平均故障间隔时间 30000小时

    笔记:

    1. 所列的值是每轴线测量20毫米关闭顶部安装的平台。
    2. 需要艾特航空控制器。
    3. 经各系统认证。
    4. 需要选择一个适当的放大器与足够的电压和电流。
    5. 在轴线的载荷。

    电气规格

    驱动系统 无刷伺服电机
    反馈 非接触线性编码器
    最大总线电压 80 VDC
    限位开关 5 V,常闭
    家里的开关 市中心附近旅行

    推荐控制器

    A3200 Npaq混频器
    Npaq MR-MXH
    NDRIVE ML-MXH

    注:线性放大器需要达到上市规格。其他选项可供选择。

    • 模块化设计
      modular_design
    • ant - 95
      with_ant95

    外形尺寸

    订购信息

    FIBERMAX生命值多轴光子学对准系统

    轴配置(必需)

    选项 描述
    -ZXY 三轴平台(Z, X, Y)
    -ZXYT 四轴平台(Z, X, Y, Theta)
    -ZXYP 4轴平台(Z,X,Y,间距)
    -ZXYR 4轴平台(Z,X,Y,无障碍)
    -ZXYTP 5轴平台(Z,X,Y,θ,间距)
    -ZXYTR 五轴平台(Z, X, Y, Theta, Roll)
    -ZXYTPR 6轴平台(Z,X,Y,θ,俯仰,滚动)

    手动调节(可选)

    选项 描述
    -ADJ1 三轴手动角度调节(±2度),偏航/俯仰/横摇
    -ADJ2 2轴手动角度调节(±2度),俯仰/滚动
    -ADJ3 2轴手动角度调节(±2度),偏航/俯仰
    -ADJ4 2轴手动角度调节(±2度),偏航/横摇
    -ADJ5 1轴手动角度调节(±2度),俯仰
    -ADJ6 1-轴手动角度调节(±2度),无障碍

    安装板(可选)

    选项 描述
    mp1 用于光学表安装安装板

    性能水平(必需)

    选项 描述
    -PL1 基本性能
    -PL3 高精度的性能,再加上

    集成(必需)

    Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。

    选项 描述
    μ-TAS 集成—作为系统进行测试
    将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
    -TAC 集成 - 测试的组件
    测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。

    配件(订购作为单独的项目)

    选项 描述
    AP-ANT95R-ANT20G-50 适配器板,ANT95R到ANT20G-50
    美联社- ant95r ant20g - 90 适配器板,ANT95R到ANT20G-90
    手动角度调整阶段
    MADJ-AT1 1轴,俯仰或横滚(±2度)
    MADJ-AT2 2轴,俯仰/横滚(±2度)
    MADJ-AT3 2轴,偏航/音高或偏航/滚动(±2度)
    MADJ-AT4 3轴,偏航/俯仰/滚动(±2度)