光纤对准FA95e和FA130e系列直接驱动、多轴光子学对准系统
描述
设计特点
- 3- 6轴光子学对准
- 高分辨率(2 nm)，可重复性(100 nm)，准确度(300 nm)
- 抗蠕动crossed-roller轴承
- 非接触式直接驱动直线电机
- 直接驱动旋转和测角仪的选择
- 光栅、螺旋或功率峰值算法
- 接口到工业标准电表
介绍
Aerotech的增强FiberAlign®FAe系列是最新的高性能光子学调准系统，结合了一流的驱动和最先进的轴控技术。它建立在原来的FiberAlign系统的成功基础上，同时提高精度和缩小步长。模块化设计允许选择轴数、行程距离和负载能力，以精确适应应用程序，同时保持高速、分辨率和准确性。
自动化生产
随着对准精度的提高，对更高收益率的追求和设备容量的增加，对精确、可靠和可重复的运动系统的需求变得越来越重要。由于组件和制造过程的快速变化，系统配置的灵活性成为必须。Aerotech的FAe系列响应并满足所有这些要求。通过选择健壮的系统组件和数十年的精密运动经验，在24/7的制造环境中进行大批量生产已经成为现实。
先进的传动技术
只有非接触式直接驱动技术才能提供稳健、准确、高速和高分辨率的定位，这是大规模生产精密设备所必需的。Aerotech的最先进的驱动技术提供业界领先的分辨率，与旅行高达160毫米和定位速度高达200毫米/秒。利用超静音线性驱动和先进的控制技术，Aerotech的FAe系列产品提供了最佳的位置重复性、精度和位置稳定性，以满足更高产量的运动系统需求。
快速视觉对准和功率扫描算法
一个全面的软件工具包提供了对常用功能的简单访问。校准功能，如从功率表输入爬山，光栅，方形或圆形螺旋扫描很容易实现通过标准功能。除了自动化工具，操纵杆和屏幕上的慢跑控制都可用于手动操作。
FA95e还是FA130e -哪个更适合你?
为了满足光电子制造业的定位和加工需求，Aerotech同时提供FA95e和FA130e。这两种基本三轴模型都可以通过附加轴进行扩展，以满足在六个轴(X、Y、Z、T (yaw)、P (pitch)、R (roll)中控制运动的要求。
FA95e代表更紧凑的版本(FA130e体积的三分之一)，是空间有限的理想选择。可以附加额外的轴以提供高分辨率、高精度的旋转运动。
偏航旋转运动由Aerotech公司的ANT95-R直接驱动高分辨率旋转执行机构提供，俯仰和滚转运动由Aerotech公司先进的ANT-20G系列直接驱动高分辨率测向仪提供。该旋转设备提供20度角范围与行业领先的0.01弧秒的步长分辨率。
FA130e在结构上类似于FA95e，但在一个略大的外壳中提供更大的行程和更大的负载能力。X轴和Y轴的行程最多可选择160毫米。
FA130e还接受ANT95-R旋转驱动器和ANT-20G测角仪，提供多达6个运动控制轴。新万博英超h
规范
FA95e系列规范
| 机械规范 | FA95e-25XY-25Z | FA95e-25XY-50Z | FA95e-50XY-25Z | FA95e-50XY-50Z | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 数量的轴 | 25 x 25 x 25毫米 | 25 x 25 x 50毫米 | 50 x 50 x 25毫米 | 50 x 50 x 50毫米 | ||
| 精度(1) | XY | 性病 | ±2.5µm | |||
| + | ±250海里 | |||||
| Z | 性病 | ±4µm | ||||
| + | ±300海里 | |||||
| 决议 (最小增量运动)(1) |
2海里 | |||||
| 可重复性 (双向)(1) |
±100海里 | |||||
| 正交性 | XY | 性病 | 10 arc-sec | |||
| + | 3 arc-sec | |||||
| Z XY | 性病 | 10 arc-sec | ||||
| + | 10 arc-sec | |||||
| 最大速度(2) | 200毫米/秒 | |||||
| 稳定的位置(3) | < 2海里 | |||||
| 最大力量(连续) | XY | 7.75 N | 7.75 N | 9.5 N | 9.5 N | |
| Z | 7.75 N | 9.5 N | 7.75 N | 9.5 N | ||
| 负载能力 | 3.0公斤 | 3.0公斤 | 5.0公斤 | 5.0公斤 | ||
| 移动质量 | XY(低) | 3.0公斤 | 3.7公斤 | 4.0公斤 | 4.6公斤 | |
| XY(上) | 2.4公斤 | 3.0公斤 | 2.7公斤 | 3.3公斤 | ||
| Z | 0.46公斤 | 0.46公斤 | 0.52公斤 | 0.52公斤 | ||
| 阶段质量 | 3.7公斤 | 4.3公斤 | 5.1公斤 | 5.7公斤 | ||
| 材料 | 铝质外壳，黑色硬面漆 | |||||
| MTBF(平均时间 之间的失败) |
20000小时 | |||||
- 列出的值是每个轴。
- 要求选择适当的具有足够电压和电流的放大器。
- 位置稳定性列表是3西格玛值。
- z轴平衡空气供给必须干净,干燥,过滤0.25µm或更好。建议氮气的纯度为99.9%。供给压力由有效载荷的多少决定。
- -PLUS需要使用Aerotech控制器。
| 电气规格 | FA95e-XY-Z |
|---|---|
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电动机 |
| 反馈 | 非接触线性编码器 |
| 最大总线电压 | 40±直流 |
| 限位开关 | 5 V,穆 |
| 家里的开关 | 近行程中心 |
| 推荐的控制器 | FA95e-XY-Z | |
|---|---|---|
| 多轴 | A3200 | Npaq-MXR Npaq MR-MXR Ndrive ML-MXH |
| 系综 | Epaq-MXH Epaq MR-MXH 合奏ML-MXH |
|
| 单轴 | 独奏者 | 独奏者ML-MXH |
- 线性放大器需要达到所列的规格。还有其他选择。
FA130e系列规范
| 机械规范 | FA130e-60XY-35Z | FA130e-60XY-60Z | fa130e - 110 - xy - 35 - z | fa130e - 110 - xy - 60 - z | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 数量的轴 | 60 x 60 x 35毫米 | 60 x 60 x 60毫米 | 110x110x35毫米 | 110 x 110 x 60毫米 | ||
| 精度(1) | XY | 性病 | ±2.5µm | ±2.5µm | ±4.0µm | ±4.0µm |
| + | ±250海里 | ±250海里 | ±300海里 | ±300海里 | ||
| Z | 性病 | ±3µm | ||||
| + | ±300海里 | |||||
| 决议 (最小增量运动)(1) |
2海里 | |||||
| 可重复性 (双向)(1) |
±100海里 | |||||
| 正交性 | XY | 性病 | 10 arc-sec | |||
| + | 3 arc-sec | |||||
| Z XY | 性病 | 10 arc-sec | ||||
| + | 10 arc-sec | |||||
| 最大速度(2) | 200毫米/秒 | |||||
| 稳定的位置(3) | < 2海里 | |||||
| 最大力量(连续) | XY | 23 N | ||||
| Z | 23 N | |||||
| 负载能力 | 8.0公斤 | |||||
| 移动质量 | XY(低) | 8.5公斤 | 9.4公斤 | 10.0公斤 | 10.9公斤 | |
| XY(上) | 5.8公斤 | 6.7公斤 | 6.4公斤 | 7.3公斤 | ||
| Z | 1.2公斤 | 1.4公斤 | 1.2公斤 | 1.4公斤 | ||
| 阶段质量 | 9.8公斤 | 10.7公斤 | 11.7公斤 | 12.6公斤 | ||
| 材料 | 铝质外壳，黑色硬面漆 | |||||
| MTBF(平均时间 之间的失败) |
20000小时 | |||||
- 列出的值是每个轴。
- 要求选择适当的具有足够电压和电流的放大器。
- 位置稳定性列表是3西格玛值。
- z轴平衡空气供给必须干净,干燥,过滤0.25µm或更好。建议氮气的纯度为99.9%。供给压力由有效载荷的多少决定。
- -PLUS需要使用Aerotech控制器。
| 机械规范 | fa130e - 160 - xy - 35 - z | fa130e - 160 - xy - 60 - z | ||
|---|---|---|---|---|
| 数量的轴 | 160 x 160 x 35毫米 | 160 x 160 x 60毫米 | ||
| 精度(1) | XY | 性病 | ±5.0µm | ±5.0µm |
| + | ±300海里 | |||
| Z | 性病 | ±3µm | ||
| + | ±300海里 | |||
| 决议 (最小增量运动)(1) |
2海里 | |||
| 可重复性 (双向)(1) |
±100海里 | |||
| 正交性 | XY | 性病 | 10 arc-sec | |
| + | 3 arc-sec | |||
| Z XY | 性病 | 10 arc-sec | ||
| + | 10 arc-sec | |||
| 最大速度(2) | 200毫米/秒 | |||
| 稳定的位置(3) | < 2海里 | |||
| 最大力量(连续) | XY | 23 N | ||
| Z | 23 N | |||
| 负载能力 | 8.0公斤 | |||
| 移动质量 | XY(低) | 11.2公斤 | 12.1公斤 | |
| XY(上) | 6.7公斤 | 7.6公斤 | ||
| Z | 1.2公斤 | 1.4公斤 | ||
| 阶段质量 | 13.2公斤 | 14.1公斤 | ||
| 材料 | 铝质外壳，黑色硬面漆 | |||
| MTBF(平均时间 之间的失败) |
20000小时 | |||
- 列出的值是每个轴。
- 要求选择适当的具有足够电压和电流的放大器。
- 位置稳定性列表是3西格玛值。
- z轴平衡空气供给必须干净,干燥,过滤0.25µm或更好。建议氮气的纯度为99.9%。供给压力由有效载荷的多少决定。
- -PLUS需要使用Aerotech控制器。
| 电气规格 | FA130e-XY-Z |
|---|---|
| 驱动系统 | 无刷线性伺服电动机 |
| 反馈 | 非接触线性编码器 |
| 最大总线电压 | 40±直流 |
| 限位开关 | 5 V,穆 |
| 家里的开关 | 近行程中心 |
注:为确保在较长时间内达到和重复规范，环境温度必须控制在0.25°C/24小时内。如果这是不可能的，替代产品是可用的。请咨询Aerotech。
| 推荐的控制器 | FA130e-XY-Z | |
|---|---|---|
| 多轴 | A3200 | Npaq-MXR Npaq MR-MXR Ndrive ML-MXH |
| 系综 | Epaq-MXH Epaq MR-MXH 合奏ML-MXH |
|
| 单轴 | 独奏者 | 独奏者ML-MXH |
维
订购信息
FA95e系列订货实例
| FA95e | -25年xy | -25 z | rh | - t | ——一个 | 以上 |
排序选项
| 系列 | XY轴 | Z轴 | z轴电缆出口 | 可选旋转坐标轴 | 轴的方向 | 精度等级 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| FA95e | -25年xy -50年xy |
-25 z | rh 韩 |
- t - p - r |
——一个 - b - c |
以上 |
FA95e直驱多轴光子学对准系统
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| FA95e | 专利直驱电机技术，基于线性编码器的光纤转换器;XYZ轴与10弧秒正交 |
XY轴
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -25年xy | 25毫米x25毫米XY行程 |
| -50年xy | 50mm x 50mm XY行程 |
Z轴
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -25 z | 25毫米Z轴行程 |
z轴电缆出口
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| rh | z轴右侧电缆出口 |
| 韩 | z轴左向电缆出口 |
可选旋转坐标轴
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 轴方向是X,Y,Z从下到上轴。X是底部轴，Y是中间轴，Z是顶部(垂直)轴。 | |
| - t | 单旋转轴定向偏航;绕y轴旋转(ANT95-20-R) |
| - p | 以俯仰为导向的单轴测角仪;绕y轴旋转(ANT-20G) |
| - r | 单轴测角仪以滚轴为导向;绕x轴旋转(ANT-20G) |
注:其它轴组合可根据要求提供。
轴的方向
| 轴方向的字母对应于Aerotech多轴组装规范中详细描述的标准XYZ配置。字母表示垂直轴(Z)相对于底部轴(X)的方向。 | |
| ——一个 | XY电缆出口在后方;垂直轴桌面平行于中间轴(Y)面向前方 |
| - b | XY电缆出口在后方;垂直轴桌面平行于底部轴(X)面向左侧 |
| - c | XY电缆出口在后方;与向右的下轴(X)平行的垂直轴桌面 |
可选的精度等级
| 以上 | 高精度的版本 |
FA130e排序的例子
| FA130e | -60年xy | -35 z | - t | ——一个 | 以上 |
排序选项
| 系列 | XY轴 | Z轴 | 可选旋转轴线 | 轴的方向 | 精度等级 |
|---|---|---|---|---|---|
| FA130e | -60年xy -110年xy -160年xy |
-35 z -60 z |
- t - p - r |
——一个 - b - c |
以上 |
FA130e直驱多轴光子学对准系统
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| FA130e | 专利直驱电机技术，基于线性编码器的光纤转换器;XYZ轴与10弧秒正交 |
XY轴
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -60年xy | 60毫米x60毫米XY行程 |
| -110年xy | 110毫米x100毫米XY行程 |
| -160年xy | 160毫米x160毫米XY行程 |
Z轴
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| -35 z | 35毫米Z轴行程 |
| -60 z | 60毫米Z轴行程 |
可选旋转坐标轴
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 轴方向是X,Y,Z从下到上轴。X是底部轴，Y是中间轴，Z是顶部(垂直)轴 | |
| - t | 单旋转轴定向偏航;绕y轴旋转(ANT95-20-R) |
| - p | 以俯仰为导向的单轴测角仪;绕y轴旋转(ANT-20G) |
| - r | 单轴测角仪以滚轴为导向;绕x轴旋转(ANT-20G) |
注:其它轴组合可根据要求提供。
轴的方向
| 选项 | 描述 |
|---|---|
| 轴方向的字母对应于Aerotech多轴组装规范中详细描述的标准XYZ配置。字母表示垂直轴(Z)相对于底部轴(X)的方向。 | |
| ——一个 | XY电缆出口在后方;垂直轴桌面平行于中间轴(Y)面向前方 |
| - b | XY电缆出口在后方;垂直轴桌面平行于底部轴(X)面向左侧 |
| - c | XY电缆出口在后方;与向右的下轴(X)平行的垂直轴桌面 |
可选的精度等级
| 以上 | 高精度的版本 |