威弗maxz机械轴承直接驱动升降台
描述
设计特点
- 低姿态的空间意识应用
- 非接触直接传动
- 高可重复性
- 积分气动平衡
- 为多轴应用程序轻松配置WaferMaxT
WaferMaxZ代表了一个重要的突破,在一个紧凑的封装中实现了高精度组件的垂直对齐。其优越的非接触式直线电机驱动采用高精度编码器直接位置反馈。当与Aerotech的MXH乘法器相结合时,它提供了亚纳米级的分辨率以及高速和准确性。
优越的机械设计
轴承元件是交叉滚子风格的最大平滑度和可靠性。这些安装在一个优化的基础和楔装配刚度和低质量/惯性,提高动态性能。
WaferMaxZ的所有关键元件都被选择在24/7的工业环境中工作,与螺旋或压电立式工作台不同,它不需要维护,并将确保多年的无故障运行。
无刷直驱
为了最大化定位性能,WaferMaxZ采用了Aerotech公司的blmuco系列无刷无槽直线电机。该电机具有无刷直接驱动电机的所有优点-无刷磨损,无齿轮传动保持和高加速度和高速度。由于这是一个无槽,无铁的设计,有零齿槽,这意味着绝对没有扭矩波纹。这使得WaferMaxZ理想的轮廓运动,平滑的扫描速度或精确的增量步骤。
准确的定位
性能保证与精密线性编码器,结果0.8纳米分辨率。电机和高性能线性编码器直接耦合,提高精度。
灵活的配置
Aerotech生产广泛的伺服放大器和先进的控制器,以提供一个完整的,集成的软件包。
规范
WaferMaxZ规范
模型 | WaferMaxZ | |
---|---|---|
旅行 | 5毫米 | |
电机类型 | 直接驱动无刷直线伺服电机 | |
总线电压 | 高达160伏直流电 | |
连续流 | 一个pk | 2.9 |
一个rms | 2.1 | |
编码器 | 20µm基本;放大正弦输出 | |
分辨率(最小增量运动) | 0.83纳米 | |
精度(1、3) | ±1.5µm | |
双向可重复性(3) | ±0.3µm | |
平直度(4) | ±2µm | |
卷 | 20弧秒 | |
球场 | 20弧秒 | |
偏航 | 20弧秒 | |
最大速度 | 4毫米/秒 | |
最大负载(5) | 10kg(要求使用整体气动平衡) | |
移动质量 | 1.0公斤 | |
楔率 | 12:1 | |
阶段质量 | 4.2公斤 | |
材料 | 铝 | |
完成 | 黑色阳极氧化硬盖;硬涂层(62洛氏硬度)台面 |
- 需要Aerotech控制器。
- 如果需要倒立操作,请咨询工厂。
- 每一阶段认证。
- 垂直于或平行于楔形方向的。
- 可能有更高的最大负载。详情请与工厂联系。
- 规格是每轴测量25毫米以上的桌面上没有一个有效载荷。性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用,请咨询工厂。
维
订购信息
集成(必需)
Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。
选项 | 描述 |
---|---|
助教 | 集成—作为系统进行测试 将一组组件作为一个完整系统一起使用的测试、集成和文档化(例如:驱动器、控制器和阶段)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。 |
tac | 集成——作为组件进行测试 将单个项目作为单独的组件一起进行测试和集成。这通常用于备件、替换件或不会一起使用的项目。这些组件可能是一个更大的系统的一部分,也可能不是。 |