HexGen HEX300-230HL六足六自由度定位系统

描述

设计特点

  • 六程度的自由度定位与线性行进至60mm和角行进到30度
  • 精密设计保证定位精度规格
  • 最小增量运动在XYZ 20纳米和0.2微弧度在θxθyθz
  • 灵活的配置和定制
  • 可根据要求的真空制备
  • 强大的控制和与工作的可视化和刀具坐标系统软件

艾特航空的HexGen®六足代表六度的自由度（DOF）的定位性能的下一代。该HEX300-230HL对于许多应用，从传感器检测到同步加速器样品处理的首要中等负荷，超精密六足。

性能以独特的市场

许多权衡在运动系统的设计和规范存在。凭借其高速和亚微米精度，HEX300-230HL消除损害的应用规范。艾特航空的HexGen六足有今天提供有保证的定位低于5微米的精度规格市场上唯一的六足。

高级结构设计

该HEX300-230HL动作与预装精密轴承，滚珠丝杠和驱动部件内置六大高精确度的支柱。不同于由DC驱动的有竞争力的六足有刷伺服电机，该HEX300-230HL由艾特航空的交流无刷驱动，无槽伺服电机，最大限度地提高设备的使用寿命和性能。使用皮带，齿轮箱，或柔顺联轴器相比有竞争力的设计当AC无刷伺服电机直接连接到所述滚珠螺杆使得能够增加驱动刚度，更高的定位精度和更好的最小增量运动（在XYZ 20纳米和0.2微弧度为θxθyθz）。特别设计的支柱枢轴关节提供低摩擦和高刚度提高整体性能六足。

设计灵活性

该HEX300-230HL的设计优化了用户的灵活性和定制选项。该平台和底座可以与用户特定的特征或安装图案来容易地修改。所述HEX300-230HL设有在所述平台的直径100毫米的通光孔径，而在底部的直径60毫米的通光孔径允许从底部工件的访问。底座安装孔直接适应英制或公制光学表。

真空选项可用

的Aerotech六足可以是用于高要求的应用，如同步样本或光学操纵，半导体制造和检查，或卫星传感器测试制备真空。

功能强大的控制系统和软件

驾驶HEX300-230HL是艾特航空的获奖A3200运新万博英超h动控制软件。建立在多年的困难运动学的应用经验，A3200控制器允许简单的编程和昆虫的控制中的任何用户自定义坐标系。

艾特航空的HexSim™软件使用户能够方便地可视化和模拟的工作区。HexSim™和A3200运动控制器之间的紧密集成提供任何用户定义的坐标系中的实时运动可视化。新万博英超h坐标系统，用于简单的虚拟枢轴点编程和运动活性的直观的图形界面允许选择。

产品规格

HEX300-230HL产品规格

机械规格

HEX300-230HL
轴 X ÿ ž A（θX） B（θY） C（绕θz）
旅行（1） 55毫米 60毫米 25毫米 15度 15度 30度
轴定位精度（2,3） 在整个行程 标准 ±4微米 ±4微米 ±3微米 ±50微弧度
（±10.3弧秒）		 ±50微弧度
（±10.3弧秒）		 ±25微弧度
（±5.2弧秒）
超 ±1微米 ±1微米 ±0.75微米 ±10微弧度
（±2.1弧秒）		 ±10微弧度
（±2.1弧秒）		 ±5微弧度
（±1.0弧秒）
过任意的10毫米（X，Y，Z）或3度（A，B，C） 标准 ±1.25微米 ±1.25微米 ±1.25微米 ±12.5微弧度
（±2.6弧秒）		 ±12.5微弧度
（±2.6弧秒）		 ±7.5微弧度
（±1.5弧秒）
超 ±0.75微米 ±0.75微米 ±0.5微米 ±5微弧度
（±1.0弧秒）		 ±5微弧度
（±1.0弧秒）		 ±2.5微弧度
（±0.5弧秒）
分辨率（最小增量运动） 20纳米 20纳米 20纳米 0.2微弧度
（0.04弧秒）		 0.2微弧度
（0.04弧秒）		 0.2微弧度
（0.04弧秒）
双向重复性，峰峰值（3） ±0.75微米 ±0.75微米 ±0.35微米 ±2微弧度
（±0.4弧秒）		 ±2微弧度
（±0.4弧秒）		 ±2微弧度
（±0.4弧秒）
单向重复性，峰峰值 ±0.35微米 ±0.35微米 ±0.15微米 ±1个微弧度
（±0.2弧秒）		 ±1个微弧度
（±0.2弧秒）		 ±1个微弧度
（±0.2弧秒）
最大速度（4） 50毫米/ s的 50毫米/ s的 25毫米/ s的 15度/秒 15度/秒 30度/秒
负载能力，所有职位（5） 垂直 45公斤（推送）;40公斤（拉）
横 21公斤
保持能力，断电（6） 14公斤
级质谱 12.0公斤
材料 阳极化铝平台和底座;钢用在关节和内部的柱子

注意：

  1. 游记是相互排斥的。咨询我们HexGen六足仪为详细的工作空间的大小。
  2. 测量的在50mm的移动平台上方的高度单轴移动。结果可以有效载荷和工作点依赖性的。
  3. X，Y，Z性能认证为标准。X，Y，Z，A，B，C性能ULTRA认证。
  4. 需要具有足够的电压和电流的适当放大器的选择。
  5. 中心配载 - 咨询负荷曲线。
  6. 水平底板，中心加载 - 协商负荷曲线。

电气规格

驱动系统 精密滚珠丝杠，伺服电机无刷
反馈 非接触式编码器 - 增量和绝对选项
最大总线电压 80 VDC
限位开关 5 V，常闭（位于每个支柱）

推荐控制器

多轴 标准 HEX RC
可选的 Npaq/NDRIVE CP/NDRIVE HLE
  • 地块

外形尺寸

订购信息

HexGen HEX300-230HL

反馈（必填）

选项 描述
-E1 增量式编码器
-E2 绝对编码器

性能级（可选）

选项 描述
-PL3 基本性能
-PL4 超高精度高性能，超

集成（必需）

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。
μ-TAS 集成 - 测试的系统
测试，集成，和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件（例如：驱动器，控制器，和阶段）。这包括参数文件生成，系统调谐，以及系统结构的文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件，零件，或项目，将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。