HexGen HEX500-350HL六自由度定位系统

描述

设计特点

  • 六程度的自由度定位与线性行进至110mm和角行程至40°
  • 精密设计保证定位精度规格
  • 最小增量运动在XYZ 20纳米和0.2微弧度在θxθyθz
  • 灵活的配置和定制
  • 可根据要求提供真空准备
  • 强大的控制和与工作的可视化和刀具坐标系统软件

Aerotech的HexGen®六足代表六度的自由度(DOF)的定位性能的下一代。所述HEX500-350HL是高负载,超精密昆虫非常适用于X-射线衍射,传感器测试和高力设备操作的应用程序。

许多权衡在运动系统的设计和规范存在。凭借其高负荷容量,大行程,高速度和亚微米精度,HEX500-350HL不会强迫你的应用规范妥协。

高级结构设计

该HEX500-350HL进行激励是与精度预装轴承,滚珠丝杠和驱动部件内置六大高精确度的支柱。不同于由DC驱动的有竞争力的六足有刷伺服电机,该HEX500-350HL由交流无刷驱动,无槽伺服电机,最大限度地提高设备的使用寿命和性能。伺服电动机直接联接到所述致动器滚珠丝杠使增加的驱动刚度,更高的定位精度和更好的最小增量运动(在XYZ 20纳米和0.2微弧度为θxθyθz)时相比,有竞争力的设计,使用皮带,齿轮箱,或柔顺联轴器。支柱枢转接头设计,以提供低摩擦和高刚度提高整体性能六足。

设计灵活性

HEX500-350HL的设计考虑了灵活性和定制。可以使用特定于用户的特性或挂载模式轻松地修改平台和基础。对于需要不同行程或独特性能参数的应用程序,可以根据该标准定制设计的运动学和/或结构布局。

该HEX500-350HL可与为那些需要在启动时或功率损耗没有移动应用的绝对式编码器选项。底座和平台具有150毫米直径的通光孔径,以允许从底部工件的访问。基座被设计成安装孔直接适应英制或公制光学表。六足也可以真空苛刻同步加速器样品或光学调整,半导体制造和检查,或卫星传感器测试中的应用程序来制备。

强大的控制和软件

驾驶HEX500-350HL是Aerotech的获奖项目A3200运新万博英超h动控制软件。建立在多年的困难运动学应用经验,A3200控制器允许在六足的简单编程和控制多个用户定义的坐标具有直观接口与实时运动可视化系统。艾特航空的免费HexGen™选型软件提供了能够方便地模拟昆虫的可用行程和工作区。

产品规格

hex500 - 350 hl规范

机械规格 HEX500-350HL
X ÿ ž A(θX) B(θY) C(绕θz)
旅行(1) 100毫米 110毫米 54毫米 22℃下 22℃下 40度
轴定位精度(2,3) 在整个行程 标准 ±4微米 ±4微米 ±3微米 ±50微弧度
(±10.3 arc-sec)
±50微弧度
(±10.3 arc-sec)
25±μrad
(±5.2 arc-sec)
±1μm ±1μm ±0.75微米 ±10微弧度
(±2.1弧秒)
±10微弧度
(±2.1弧秒)
±5微弧度
(±1.0弧秒)
超过20毫米(X, Y, Z)或5度(A, B, C) 标准 ±1.25μm ±1.25μm ±1.25μm ±12.5μrad
(±2.6弧秒)
±12.5μrad
(±2.6弧秒)
±7.5微弧度
(±1.5 arc-sec)
±0.75微米 ±0.75微米 ±0.5μm ±5微弧度
(±1.0弧秒)
±5微弧度
(±1.0弧秒)
±2.5微弧度
(±0.5 arc-sec)
分辨率(最小增量运动) 20纳米 20纳米 20纳米 0.2μrad
(0.04弧秒)
0.2μrad
(0.04弧秒)
0.2μrad
(0.04弧秒)
双向可重复性,pk-pk(3) ±0.6微米 ±0.6微米 ±0.35微米 ±1个微弧度
(±0.2弧秒)
±1个微弧度
(±0.2弧秒)
±1个微弧度
(±0.2弧秒)
单向重复性,峰峰值 ±0.25μm ±0.25μm ±0.15μm ±0.5μrad
(±0.1弧秒)
±0.5μrad
(±0.1弧秒)
±0.5μrad
(±0.1弧秒)
最大速度(4) 50毫米/秒 50毫米/秒 25毫米/ s的 10度/秒 10度/秒 20度/秒
负载能力,所有位置(5) 垂直 200公斤(推送);120公斤(拉)
水平 35公斤
保持能力,断电(6) 165公斤
级质谱 49公斤
材料 阳极化铝平台及底座;用于接头和支柱内部的钢

注意:

  1. 旅行是互斥的。咨询我们的HexGen六足仪为详细的工作空间的大小。
  2. 测量的在50mm的移动平台上方的高度单轴移动。结果可以有效载荷和工作点依赖性的。
  3. X,Y,Z性能认证为标准。X,Y,Z,A,B,C性能ULTRA认证。
  4. 需要选择一个适当的放大器与足够的电压和电流。
  5. 集中加载-参考负载曲线。
  6. 水平底板,中心加载。参考负载曲线。

电气规格

驱动系统 精密滚珠丝杠,伺服电机无刷
反馈 非接触式编码器-增量和绝对选项
最大总线电压 80 VDC
限位开关 5v,正常关闭(位于每个支柱上)

推荐控制器

多轴 标准 十六进制钢筋混凝土
可选的 Npaq/NDRIVE CP/Ndrive对待
  • 精度曲线
  • 地块

外形尺寸

订购信息

HexGen hex500 - 350霍奇金淋巴瘤

反馈(必填)

选项 描述
e2 绝对编码器
e3 增量式编码器

性能级(可选)

选项 描述
-PL3 基本性能
-PL4 超高精度高性能,超

集成(必需)

Aerotech提供标准和定制集成服务,帮助您尽快使系统全面运行。以下标准集成选项可用于此系统。如果您不确定需要什么级别的集成,或者您希望系统提供定制集成支持,请咨询Aerotech。
μ-TAS 集成—作为系统进行测试
将一组组件作为一个完整的系统进行测试、集成和编制文档(例如:驱动器、控制器和工作台)。这包括参数文件生成、系统调优和系统配置文档。
-TAC 集成 - 测试的组件
测试项目和个人项目为船一起分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不能一起使用。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分。