描述

设计特点

• 3至6轴光子学对齐
• 高分辨率（2nm），可重复性（100nm），准确（300nm）
• 防蠕变交叉滚子轴承
• NONCONTACT直驱线性电机
• 直接驱动旋转和测筒仪选项
• 光栅，螺旋或功率峰值算法
• 与行业标准电表的界面

介绍

Aerotech的增强纤维成本^®FAE系列是最新的高性能光子仪调整系统，采用了一流的驱动器和最先进的轴控制技术。它构建了原始光纤系统的成功，同时提高了准确性和缩小步骤尺寸。模块化设计允许选择轴的数量，行进距离和负载能力，以完全适合应用，同时保持高速，分辨率和准确性。

自动化生产

作为对准精度，追求更高产量和设备量增加，需要一种精确，可靠，可重复的运动系统变得越来越重要。由于部件和制造过程的性质快速变化，系统配置中的灵活性成为必须的。Aerotech的Fae系列响应并满足所有这些要求。随着鲁棒系统组件的选择和数十年的精密运动经验，24/7制造环境中的大批量生产已成为现实。

先进的驱动技术

只有NonContact Direct-Drive技术只提供精密器件的大规模生产所需的稳健，准确，高速和高分辨率定位。Aerotech的最先进的驱动技术提供行业领先的分辨率，与高达160毫米的行程和最高速度高达200毫米/秒。Aerotech的Fae系列利用超静电的线性驱动和先进的控制技术，提供了最佳的位置可重复性，准确性和位置稳定，以满足更高产量的运动系统要求。

快速视觉对准和功率扫描算法

全面的软件工具包可轻松访问常用的功能。通过标准功能轻松实现从功率计输入和光栅，方形或圆形螺旋扫描等爬坡等对准功能。除了自动化工具外，操纵杆和屏幕慢跑控制都可用于手动操作。

FA95E或FA130E - 适合您？

为了满足光子制造业的持续定位和处理需求，Aerotech提供FA95E和FA130E。两个基本的三轴模型都可以用附加轴扩展，以满足控制六个轴中的运动的要求：x，y，z，t（偏航），p（音调），r（卷）。

FA95E代表更紧凑的版本（FA130E的三分之一），是空间有限的理想选择。额外的轴可以连接以提供高分辨率，高精度的旋转运动。

偏航旋转运动由Aerotech的Ant95-R直接驱动，高分辨率旋转致动器提供，而Aerotech先进的Ant-20g系列直接驱动，高分辨率测电仪提供俯仰和滚动运动。旋转装置提供20度的角度范围，具有0.01秒的行业领先的步骤分辨率。

FA130E在施工中类似于FA95E，但在稍大的封套中提供更大的行程和更大的负载承载能力。X和Y轴的行程可选择高达160毫米。

FA130E还接受ANT95-R旋转致动器和ANT-20G测功仪，提供多达六个运动控制轴。新万博英超h

规格

FA95E系列规格

1. 列出的值是每轴。
2. 需要选择具有足够电压和电流的适当放大器。
3. 在位置稳定列表是3个Σ值。
4. Z轴平衡空气供应必须清洁，干燥，过滤至0.25μm或更好。建议使用99.9％纯度氮。供应压力由阶段的有效载荷量决定。
5. -plus需要使用Aerotech控制器。

1. 线性放大器需要实现所列规格。其他选择可供选择。

FA130E系列规格

1. 列出的值是每轴。
2. 需要选择具有足够电压和电流的适当放大器。
3. 在位置稳定列表是3个Σ值。
4. Z轴平衡空气供应必须清洁，干燥，过滤至0.25μm或更好。建议使用99.9％纯度氮。供应压力由阶段的有效载荷量决定。
5. -plus需要使用Aerotech控制器。

1. 列出的值是每轴。
2. 需要选择具有足够电压和电流的适当放大器。
3. 在位置稳定列表是3个Σ值。
4. Z轴平衡空气供应必须清洁，干燥，过滤至0.25μm或更好。建议使用99.9％纯度氮。供应压力由阶段的有效载荷量决定。
5. -plus需要使用Aerotech控制器。

注意：为确保在延长的时间段内规格的成就和可重复性，环境温度必须控制在0.25°C / 24小时内。如果无法实现这一点，则可用备用产品。请咨询Aerotech。

尺寸

• 放大图像

• 放大图像

订购信息

FA95E系列排序示例

订购选项

FA95E直接驱动，多轴光子对齐系统

XY轴

Z轴

Z轴电缆出口

可选的旋转轴

注意：可应要求提供其他轴组合。

轴方向

可选精度等级

FA130E订购示例

订购选项

FA130E直接驱动，多轴光子对齐系统

XY轴

Z轴

可选的旋转轴

注意：可应要求提供其他轴组合。

轴方向

可选精度等级