ANT130LZ系列单Z轴直接驱动纳米定位平台新万博英超h
描述
设计特点
- 在一个大的行程格式纳米性能(35和60mm)
- 高分辨率(2 nm)时,可重复性(75纳米)和准确度(300纳米)
- 在位<2纳米的稳定性
- 抗蠕变交叉滚子轴承
- 高动态性能
介绍
Aerotech的ANT系列平台是世界上第一个纳米级的定位系统与大于25毫米的行程。该ANT130LZ交叉滚子阶段是最好的一流的综合速度,精度,分辨率,可重复性,可靠性和大小,并在两个精度等级可供。
非接触直接驱动
只有非接触直接驱动技术提供必要的大规模生产精密仪器的可靠,精确和高速的定位。ANT130LZ阶段利用由艾特率先实现定位性能为高精度的定位,磁盘驱动器制造中,纤维取向,光延迟元件致动时,传感器测试和扫描那些需要平滑和精确的运动过程中的最高水平先进的直接驱动技术。
该ANT130LZ阶段使用几乎无摩擦的制衡机制,以维持性能水平,同时尽量减少电机发热。的抗衡是用户从0至10kg调节。
灵活的系统设计
该ANT130LZ家庭拥有通用的安装和桌面模式,允许便于系统集成。两个,三个或更多个轴可以实现灵活的系统设计和多轴配置可以容易地组合。
系统特点:
出色的精度,重复定位精度和定位稳定性需要高系统分辨率。该ANT130LZ阶段业界领先的2nm的最小递增步长提供的性能这一高电平。卓越的定位稳定性是由高品质,抗蠕变,交叉滚子轴承的协助。在产品生命周期中的阶段提供了几乎免维护运行。Aerotech的直接驱动技术具有无磁滞或反弹,使精确和可重复的纳米级运动。
产品规格
机械规格
模型 | ANT130LZ-035 | ANT130LZ-060 | |
---|---|---|---|
旅行 | 35毫米 | 60毫米 | |
准确性(1) | 基本 | ±3微米 | ±3微米 |
加 | ±300nm的 | ±300nm的 | |
分辨率(最小增量运动) | 2纳米 | 2纳米 | |
双向重复性(1) | 基本 | ±100nm的 | ±100nm的 |
加 | ±75nm的 | ±75nm的 | |
单向重复性 | ±50nm的 | ±50nm的 | |
直线(1) | ±2.0微米 | ±2.0微米 | |
平整度(1) | ±2.0微米 | ±2.0微米 | |
沥青 | 10弧秒 | 10弧秒 | |
滚 | 10弧秒 | 10弧秒 | |
偏航 | 5弧秒 | 5弧秒 | |
最大速度 | 为200mm / s | 为200mm / s | |
最大加速度 | 将1克(无负载) | 将1克(无负载) | |
定位稳定性(2) | <2纳米 | <2纳米 | |
最大的力(连续) | 23 N | 23 N | |
承载量(3) | 垂直 | 10公斤 | 10公斤 |
移动质量 | 1.2公斤 | 1.4公斤 | |
级质谱 | 4.3公斤 | 5.2公斤 | |
材料 | 全铝车身/黑色硬膜完成 | ||
MTBF(平均故障间隔时间) | 30000小时 |
- 每个阶段的认证。
- 在位抖动上市是3西格马值。
- 对于轴上载荷轴方向列出。
- 空气供应必须保持清洁,干燥至0°F露点,并过滤到0.25微米或更好;在纯度99.9%的氮气推荐。供给压力由有效载荷由所述阶段中进行的量来确定。
•规格是用于测量25毫米桌面上述单轴系统。合并的多轴系统的性能是有效载荷和工作点依赖性的。咨询工厂多轴或非标准应用。
•-PLUS需要使用艾特航空控制器。
电气规格
驱动系统 | 无刷线性伺服电机 |
反馈 | 非接触式线性编码器 |
最大总线电压 | -CN,80 VDC -CN2:160 VDC |
限位开关 | 5 V,常闭 |
首页开关 | 近中心 |
推荐控制器
多轴 | A3200 | Npaq MXR Npaq MR-MXH NDRIVE ML-MXH |
合奏 | Epaq MXH Epaq MR-MXH 合奏ML-MXH |
|
单轴 | 独奏者 | 独奏ML-MXH |
- 线性放大器需要达到上市规格。其他选项可供选择。
注意:为确保规格实现和重复性在一段延长的时间,环境温度必须控制在内0.25ºC/ 24小时。如果这是不可能的,替代的产品可供选择。请咨询艾特航空以获取更多信息。
外形尺寸
订购信息
ANT130LZ单Z轴直接驱动纳米定位阶段新万博英超h
旅游(必填)
选项 | 描述 |
---|---|
-035 | 35毫米行程 |
-060 | 60毫米旅游 |
连接器(必需)
选项 | 描述 |
---|---|
-CN, | 单25针连接器d,25DU |
-CN2 | 两个连接器,4针HPD和25针d,4DU-25DU |
-
注:-CN,选项不适用于使用总线系统电压超过80伏
性能等级(必填)
选项 | 描述 |
---|---|
-PL1 | 基本性能 |
-PL2 | 高精度性能,PLUS |
集成(必需)
以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平,或者如果你希望你的系统定制集成支持。 | |
μ-TAS | 集成 - 测试的系统 测试,集成,和一组部件作为将要一起使用的完整体系的文件(例如:驱动器,控制器,和阶段)。这包括参数文件生成,系统调谐,以及系统结构的文档。 |
-TAC | 集成 - 测试的组件 测试项目和个人项目的分立元件的集成。这通常用于备件,零件,或项目,将不被使用或一起装运(例如:仅阶段)。这些组件可以是或可以不是一个较大系统的一部分 |