描述

设计特点

• 在一个大的行程格式纳米性能（25和50mm）的
• 高分辨率(2 nm)，可重复性(75 nm)，准确度(300 nm)
• 位置稳定性<2 nm
• 抗蠕动crossed-roller轴承
• 高动态性能

介绍

ANT95LZ交叉滚轮级在速度、精度、分辨率、重复性、可靠性和尺寸方面都是同类产品中最好的，并且有两个精度等级。

非接触直接传动

只有非接触式直接驱动技术才能提供稳健、准确和高速的定位，这是大规模生产精密设备所必需的。ANT95LZ平台采用了Aerotech公司首创的先进直接驱动技术，在高精度定位、磁盘驱动制造、光纤对准、光学延迟元件驱动、传感器测试和扫描等要求平滑和精确运动的过程中，实现了最高水平的定位性能。

ANT95LZ级采用一种几乎无摩擦的平衡机构来保持性能水平，同时尽量减少电机加热。配重可从0公斤到5公斤任意调整。

灵活的系统设计

该ANT95LZ家庭拥有通用的安装和桌面模式，允许便于系统集成。两个，三个或更多个轴可以很容易地实现灵活的系统设计和多轴配置进行组合。

系统特点

突出的精度、位置重复性和位置稳定性要求高的系统分辨率。ANT95LZ stage的业界领先的2nm最小步长增量提供了这种高水平的性能。高质量、抗蠕变、交叉滚子轴承，辅助优越的位置稳定性。在产品的整个生命周期中，该阶段提供几乎免费的维护操作。Aerotech的直接驱动技术没有滞后或反冲，可以实现精确和可重复的纳米级运动。

规范

机械规范

1. 每一阶段认证。
2. 位置抖动列表为3西格玛值。
3. 对于轴上载荷轴方向列出。
4. 空气供应必须保持清洁，干燥至0°F露点，并过滤到0.25微米或更好;在纯度99.9％的氮气推荐。供给压力由有效载荷由所述阶段中进行的量来确定。

•规格适用于桌面以上25毫米的单轴系统。组合多轴系统的性能取决于负载和工作点。对于多轴或非标准应用，请咨询工厂。
•-PLUS需要使用Aerotech控制器。

电气规格

推荐的控制器

1. 线性放大器需要达到上市规格。其他选项可供选择。

注意：为确保规格实现和重复性在一段时间环境温度必须0.25ºC/ 24小时内被控制，以延长的时间。如果这是不可能的，替代的产品可供选择。请咨询艾特航空以获取更多信息。

维

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订购信息

单轴Z直驱纳米定位阶段新万博英超h

旅游(必需)

Cable方向（必填）

性能等级（必填）

集成(必需)

以帮助艾特航空提供标准和定制集成服务你尽快系统全面投入运作。以下标准的集成选项可用于这个系统。请咨询艾特如果您不确定需要什么样的集成水平，或者如果你希望你的系统定制集成支持。