描述

设计特点

• 集成XY型直线电机
• 在大型旅行格式中的纳米级性能
• 高分辨率（1个纳米），重复性（75纳米）和准确度（250 nm）的
• 位置稳定性<1 nm
• 抗蠕变交叉滚子轴承
• 与直驱技术的高动态性能
• ULTRA性能等级选项

介绍

该ANT130XY系列平台提供了在XY纳米级性能旅行达160毫米。集成的，流线型的设计提供的只有85毫米的非常低的轮廓。阶段带有专有直接驱动电机技术，非接触式线性编码器，限制，集成电缆管理系统，和三个性能等级。

超精密的舞台设计

所述ANT130XY设计允许关键元素，如正交性，直线度，和平整度进行优化，导致与特殊的几何公差的阶段。Aerotech的直接驱动技术具有无磁滞或反弹，使在X和Y尺寸都精确和可重复的纳米级运动。所有旅行选项（60毫米×60毫米，110毫米X110毫米160毫米×160毫米）来与85毫米轮廓高度。集成的线缆管理系统的设计，使用寿命长，以减少阻力。

非接触直接传动

只有非接触式直接驱动技术才能提供大量生产精密设备所必需的稳健、准确和高速定位。ANT130XY级采用Aerotech首创的先进直接驱动技术，实现最高水平的定位性能。这种直接驱动技术具有高性能、无齿槽、无接触、高速、高分辨率、高精度等特点。这种独特的驱动和轴承组合，包装在一个非常小的轮廓和足迹，提供了许多应用程序的优势，如高精度定位，磁盘驱动器制造，光纤对准，光学延迟元件驱动，传感器测试，和扫描过程，要求平稳和精确的运动。

多轴配置

该ANT130XY可以与其他的Aerotech ANT系列产品（垂直升降阶段，直接驱动的旋转开关，以及测角器）来创建独特的，高性能的，多轴系统相结合。

ULTRA性能等级选项

为了从我们的多轴纳米定位系统中获得尽可能高的系统精度，Aerotech开发了一种先进的动态轨迹校准系统。新万博英超h利用这个复杂的校准系统，机械系统必须完全组装，功能测试，并在我们最好的计量实验室校准。纳米级的系统精度只能在严格的环境条件下实现，使用最好的测试设备进行校准，使用最高精度的机械元件，并利用Aerotech行业领先的控制系统的超软件能力。通过使用ANT130XY实现超动态轨迹校准，我们能够保证±250nm或更高的二维精度。

在规格中提供的图说明一个标准ANT130XY和ULTRA版之间的性能差异。直线度误差，正交误差，并造成偏航阶段精度误差几乎消除。

产品规格

机械规范

1. 为-Base和-PLUS选项规格是每轴线测量25毫米桌面的上方。为 - 超规格XY测量25毫米桌面的上方。
2. 每个阶段的认证。
3. 需要使用的Aerotech控制器。
4. 需要选择一个适当的放大器与足够的电压和电流。
5. 位置抖动列表为3西格玛值
6. 列出了轴上加载的轴方向。

1. 为-Base和-PLUS选项规格是每轴线测量25毫米桌面的上方。为 - 超规格XY测量25毫米桌面的上方。
2. 每个阶段的认证。
3. 需要使用的Aerotech控制器。
4. 需要选择一个适当的放大器与足够的电压和电流。
5. 位置抖动列表为3西格玛值。
6. 列出了轴上加载的轴方向。

1. 为-Base和-PLUS选项规格是每轴线测量25毫米桌面的上方。为 - 超规格XY测量25毫米桌面的上方。
2. 每个阶段的认证。
3. 需要使用的Aerotech控制器。
4. 需要选择一个适当的放大器与足够的电压和电流。
5. 位置抖动列表为3西格玛值。
6. 列出了轴上加载的轴方向。

电气规格

推荐控制器

注：线性放大器需要达到上市规格。其他选项可供选择。

注意：为确保规格实现和可重复性的一段延长的时间，环境温度必须0.25℃/ 24小时内被控制。如果这是不可能的，替代的产品可供选择。请咨询艾特航空应用工程以获取更多信息。

外形尺寸

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订购信息

ANT130XY两轴XY直接驱动纳米定位阶段新万博英超h

旅游（必填）

连接器(必需)

注意:-CN1选项不适用于使用大于80v的总线电压的系统

电缆枭雄（必填）

安装板（可选）

性能等级(必需)

集成（必需）